문맥 (context)
[청구항 2]
제 1 항에 있어서,상기 기판 홀더는 기판이 안착되는 공간을 제공하는 기판 지지대, 상기 기판 지지대를 이동시키기 위한 홀더 이송부 및 상기 홀더 이송부를 제어하기 위한 홀더 구동부포함하는비정질 실리콘 결정화 장치.
[청구항 3]
제 2 항에 있어서,상기 기판 지지대는 진공 펌프와 연결되는 하나 또는 다수의 진공 홀포함하는비정질 실리콘 결정화 장치.
[청구항 4]
제 2 항에 있어서,상기 기판 지지대는 상기 기판의 크기를 감지하기 위한 다수의 센서포함하는비정질 실리콘 결정화 장치.
[청구항 5]
제 4 항에 있어서,상기 제어부는 상기 다수의 센서에 의해 감지된 기판의 크기에 따라상기제1전극과제2전극사이의거리조절하는것을특징으로 하는비정질 실리콘 결정화 장치.
[청구항 6]
제 4 항에 있어서,상기 다수의 센서는 상기 기판의 위치를 감지하고, 상기 제어부는 상기 다수의 센서에 의해 감지된 기판의 위치에 따라상기제1전극및제2전극의위치조절하는것을특징으로 하는비정질 실리콘 결정화 장치.
[청구항 7]
제 2 항에 있어서,상기 홀더 이송부는 상기 기판 지지대를 좌우로 이동시키기 위한 제 1 홀더 이송부 및 상기 기판 지지대를 상승 또는 하강시키기 위한 제 2 홀더 이송부포함하는비정질 실리콘 결정화 장치.
[청구항 8]
제 1 항에 있어서,상기 전원전압인가부는 상기 제 1 전극을 이동시키기 위한 제 1 전극 이송부, 상기 제 2 전극을 이동시키기 위한 제 2 전극 이송부 및 상기 제 1 전극 이송부와 제 2 전극 이송부의 이동 경로를 제공하는 이동 가이드를 포함하고,상기 제1 전극 이송부는 상기 제 1 전극과 상기 이동 가이드 사이에 결합되며, 상기 제2 전극 이송부는 상기 제 2 전극과 상기 이동 가이드 사이결합되는비정질 실리콘 결정화 장치.
[청구항 9]
제 8 항에 있어서,상기 이동 가이드는 상기 제 1 전극 이송부의 이동 경로를 제공하는 제 1 이동 가이드 및 상기 제 2 전극 이송부의 이동 경로를 제공하는 제 2 이동 가이드를 포함하며,상기 제 1 이동 가이드와 제 2 이동 가이드는일정거리이격있는것을특징으로 하는비정질 실리콘 결정화 장치.
[청구항 10]
제 9 항에 있어서,상기 제 1 이동 가이드 및 제 2 이동 가이드는 동일 방향으로일정길이가지는것을특징으로 하는비정질 실리콘 결정화 장치.
[청구항 11]
제 9 항에 있어서,상기 제 1 이동 가이드 및 제 2 이동 가이드는 각각 상기 제 1 이동 가이드 및 제 2 이동 가이드의 길이 방향으로 형성된 가이드 홈을 포함하고, 상기 제 1 전극 이송부 및 제 2 전극 이송부는 상기 가이드 홈에 대응되도록 형성되는 돌출부포함하는비정질 실리콘 결정화 장치.
[청구항 12]
제 8 항에 있어서,상기 이동 가이드는 상기 제 1 전극 및 제 2 전극의 길이 방향인 제 1 방향과 수직한 제 2 방향으로일정길이가지는것을특징으로 하는비정질 실리콘 결정화 장치.
지시문 (instruction)
주어진 특허 청구항을 읽고 구성요소의 기능과 역할을 분석하여 질문에 답하라. 문맥에 제시된 표현을 중심으로 답하라.
질문 (question)
비정질 실리콘 결정화 장치에서 다수의 센서가 기판의 크기를 감지했을 때, 제어부는 제1전극과 제2전극의 관계를 어떻게 조절하는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation비정질 실리콘 결정화 장치에서 다수의 센서가 기판 크기를 감지했을 때, 제어부가 제1전극과 제2전극의 관계를 어떻게 조절하는지 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 4와 5를 통해 기판 지지대에 다수의 센서가 포함되어 있으며, 제어부가 기판 크기에 따라 전극 간의 관계를 조절한다는 정보를 추출한다.
- 상기 기판 지지대는 상기 기판의 크기를 감지하기 위한 다수의 센서포함, 상기 제어부는 상기 다수의 센서에 의해 감지된 기판의 크기에 따라 상기 제1전극과 제2전극사이의거리조절
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3근거 선택
evidence_selection제어부가 기판 크기에 따라 제1전극과 제2전극 사이의 거리를 조절한다는 구절을 핵심 근거로 선택한다.
- 상기 제어부는 상기 다수의 센서에 의해 감지된 기판의 크기에 따라상기제1전극과제2전극사이의거리조절
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4논리 통합
logical_integration다수의 센서가 기판의 크기를 감지하면, 제어부는 그 감지된 값에 대응하여 제1전극과 제2전극 사이의 거리를 조절하는 메커니즘을 가진다.
- 상기 다수의 센서에 의해 감지된 기판의 크기에 따라상기제1전극과제2전극사이의거리조절
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5결론 도출
conclusion_formulation제어부는 감지된 기판의 크기에 따라 제1전극과 제2전극 사이의 거리를 조절한다.
- 상기제1전극과제2전극사이의거리조절
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6답변 생성
answer_generation질문에 대한 직접적인 답변으로 '제1전극과 제2전극 사이의 거리를 조절한다'를 도출한다.
- 상기제1전극과제2전극사이의거리조절
최종 답변 (final_answer)
상기 제1전극과 제2전극 사이의 거리를 조절한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
기판의 크기를 감지하는 센서를 통해 측정된 데이터에 기반하여, 제어부가 제1전극과 제2전극 사이의 간격을 최적화하여 조절하는 기술이다.