원자층 증착장치의 서셉터 유닛 document_id 1020090132797

[청구항 2] 제1항에 있어서,상기 기판이면증착 방지부와 상기 부압 형성부를 연통시키는 복수의 연통홀형성된원자층 증착장치의 서셉터 유닛. [청구항 3] 제2항에 있어서,상기 기판이면증착 방지부는 상기 서셉터 포켓 바닥면에서 상기 기판 이면과 연통되도록 개방된 형태를 갖고, 상기 서셉터 포켓의 직경 방향을 따라 방사상으로 형성된 복수 개의 제1 직선 유로포함하는원자층 증착장치의 서셉터 유닛. [청구항 4] 제3항에 있어서,상기 부압 형성부는 상기 서셉터 유닛의 내부를 관통하여 형성되며 상기 서셉터 유닛의 직경 방향을 따라 방사상으로 형성된 복수 개의 제2 직선 유로를 포함하고,상기 연통홀은상기제1직선유로와상기제2직선유로연통시키도록형성된원자층 증착장치의 서셉터 유닛. [청구항 5] 제1항에 있어서,셉터 포켓의 내부에서 상기 기판 에지에 대응되는 위치에는 상기 부압 형성부와 연통되어 베르누이 효과에 의해 상기 기판 에지를 처킹하는 복수의 기판 처킹홀형성된원자층 증착장치의 서셉터 유닛. [청구항 6] 제1항에 있어서,셉터 유닛의 구동축을 관통하여 상기 기판이면증착 방지부와 상기 부압 형성부에 상기 처킹가스를 제공하기 위한 공급 유로형성된원자층 증착장치의 서셉터 유닛. [청구항 8] 제7항에 있어서,상기 제1 직선 유로를 연통시키도록 상기 서셉터 포켓의 둘레를 따라 형성된 제1 연통 유로가 형성되고, 상기 연통홀은상기제1연통유로따라형성된원자층 증착장치의 서셉터 유닛. [청구항 9] 제8항에 있어서,상기 연통홀은 상기 제1 직선 유로가 상기 연통홀과 연결된 부분과 어긋난 위치형성된원자층 증착장치의 서셉터 유닛. [청구항 10] 제8항에 있어서,셉터 포켓의 내부에서 상기 기판 에지에 대응되는 위치에는 상기 부압 형성부와 연통되어 베르누이 효과에 의해 상기 기판 에지를 처킹하는 복수의 기판 처킹홀형성된원자층 증착장치의 서셉터 유닛. [청구항 11] 제10항에 있어서,상기 기판 처킹홀은 상기 부압 형성부를 향해 하향 경사진 형태갖는원자층 증착장치의 서셉터 유닛. [청구항 12] 제10항에 있어서,상기 기판 처킹홀은 상기 서셉터 포켓의 원주 방향을 따라 상기 연통홀과 교번적형성된원자층 증착장치의 서셉터 유닛. [청구항 13] 제12항에 있어서,상기 연통홀과 상기 기판 처킹홀은 서로 일정 간격으로 교번적으로 형성되며,상기 제2 직선 유로는 상기 연통홀 및 상기 기판 처킹홀과 각각 연통되는 복수의 직선 유로형성된원자층 증착장치의 서셉터 유닛. [청구항 14] 제8항에 있어서,셉터 유닛의 구동축을 관통하여 상기 기판이면증착 방지부와 상기 부압 형성부에 상기 처킹가스를 제공하기 위한 공급 유로형성된원자층 증착장치의 서셉터 유닛. [청구항 15] 제14항에 있어서,상기 공급유로는,상기 구동축의 중심을 관통하여 형성되며 상기 기판이면증착 방지부에 처킹가스를 제공하는 제1 공급 유로; 및상기 제1 공급 유로와 편심된 위치에 형성되며 상기 부압 형성부에 처킹가스를 제공하는 제2 공급 유로포함하는원자층 증착장치의 서셉터 유닛.