문맥 (context)
[청구항 2]
제 1 항에 있어서,상기 척의 상기 상부를 향해 린싱 유체를 보내도록 위치된 하나 이상의 유체 분배기 (fluid dispenser) 들을 더 포함하는, 기판의 무전해 도금실시하기 위한시스템.
[청구항 3]
제 1 항에 있어서,상기 척의 상기본체부 및 상기 본체 구조물 내부의 상기 공동의 표면 사이의 영역에 직접 린싱 유체를 공급하도록 위치된 하나 이상의 유체 분배기를 더 포함하는, 기판의 무전해 도금실시하기 위한시스템.
[청구항 4]
제 1 항에 있어서,상기 척에 접속되고 상기 본체 구조물 내의 상기 공동의 저부 영역의 입구 (access) 를 통해 연장되는 샤프트; 및상기 척 및 상기 샤프트의 수직 방향으로의 움직임을 초래하고 수평 (level) 에 대해 상기 척의 상기 상부의 각도를 제어하도록 설계된 기계적 액츄에이터를 더 포함하는, 기판의 무전해 도금실시하기 위한시스템
[청구항 5]
제 1 항에 있어서,상기 본체 구조물 내의 상기 공동을 정의하는 상기 내부 영역 형상은 콘 (cone) 형상인, 기판의 무전해 도금실시하기 위한시스템.
[청구항 6]
제 1 항에 있어서,상기 척 및 상기 본체 구조물의 온도를 섭씨약 1 도의 허용오차 내로 제어하도록 설계된 온도 제어부를 더 포함하는, 기판의 무전해 도금실시하기 위한시스템.
[청구항 7]
제 1 항에 있어서,상기 시스템은 기판 처리를 위한 클러스터 아키텍쳐 (cluster architecture) 내의 모듈로서 구현되는, 기판의 무전해 도금실시하기 위한시스템.
[청구항 9]
제 8 항에 있어서,상기 척을 향해 린싱 유체를 보내어 존재하는 경우 상기 기판의 상기 상부 표면이 상기 린싱 유체에 의해 충돌되도록 위치된 하나 이상의 유체 분배기들더 포함하는,기판의 무전해 도금용 장치.
[청구항 10]
제 8 항에 있어서,상기 척과 상기 용기의 상기 공동 표면 사이의 영역에 상기 무전해 도금 용액을 공급하도록 배치된 밸브 작동 공급 라인 (valve actuated supply line) 을더 포함하는,기판의 무전해 도금용 장치.
[청구항 11]
제 8 항에 있어서,상기 척과 상기 용기의 상기 공동 표면 사이의 영역으로부터 유체를 배출하도록 배치된 밸브 작동 드레인 라인더 포함하는,기판의 무전해 도금용 장치.
[청구항 12]
제 8 항에 있어서,상기 척과 상기 용기의 상기 공동 표면 사이의 영역에 린싱 유체를 직접 공급하도록 위치된 하나 이상의 유체 분배기더 포함하는,기판의 무전해 도금용 장치.
[청구항 13]
제 8 항에 있어서,상기 척은 존재하는 경우 상기 기판의 에지가 상기 척의 주변부를 오버행 (overhang) 하도록 설계되고, 상기 척의 상기 주변부와 상기 용기의 내부 공동 표면 사이의 상기 갭이, 상기 기판이 존재하는 경우 상기 무전해 도금 용액을 위한 흐름 경로를 유지하기에 충분한 사이즈갖는,기판의 무전해 도금용 장치.
[청구항 14]
제 8 항에 있어서,상기 척 및 상기 용기의 온도를 섭씨약 1 도의 허용오차 내로 제어하도록 설계된 온도 제어부더 포함하는,기판의 무전해 도금용 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
기판의 무전해 도금용 장치에서 척의 주변부와 용기의 내부 공동 표면 사이의 갭(gap)은 어떠한 역할을 수행하도록 설계되었는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
-
1과제 해석
task_interpretation기판의 무전해 도금용 장치에서 척의 주변부와 용기 내부 공동 표면 사이의 갭(gap)이 수행하는 설계 목적(역할)을 찾는 것이다.
-
2정보 추출
information_extraction청구항 13에서 척의 주변부와 용기의 내부 공동 표면 사이의 갭에 관한 설명을 추출한다.
- 상기 척의 상기 주변부와 상기 용기의 내부 공동 표면 사이의 상기 갭이, 상기 기판이 존재하는 경우 상기 무전해 도금 용액을 위한 흐름 경로를 유지하기에 충분한 사이즈갖는
-
3근거 선택
evidence_selection갭의 역할이 명시된 구절인 '상기 무전해 도금 용액을 위한 흐름 경로를 유지하기에 충분한 사이즈갖는'을 선택한다.
- 상기 척의 상기 주변부와 상기 용기의 내부 공동 표면 사이의 상기 갭이, 상기 기판이 존재하는 경우 상기 무전해 도금 용액을 위한 흐름 경로를 유지하기에 충분한 사이즈갖는
-
4논리 통합
logical_integration갭의 크기가 기판이 있을 때 무전해 도금 용액이 흐를 수 있는 경로를 확보하는 역할을 한다는 것을 파악한다.
- 상기 무전해 도금 용액을 위한 흐름 경로를 유지하기에 충분한 사이즈갖는
-
5결론 도출
conclusion_formulation갭은 기판이 존재하는 경우 무전해 도금 용액을 위한 흐름 경로를 유지하는 역할을 수행하도록 설계된다.
- 상기 무전해 도금 용액을 위한 흐름 경로를 유지하기에 충분한 사이즈갖는
-
6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 질문에 대한 직접적인 답변을 작성한다.
- 상기 무전해 도금 용액을 위한 흐름 경로를 유지하기에 충분한 사이즈갖는
최종 답변 (final_answer)
상기 기판이 존재하는 경우 상기 무전해 도금 용액을 위한 흐름 경로를 유지하기에 충분한 사이즈를 갖도록 설계된다.
핵심 해석 (core_interpretation)
본 발명은 척의 주변부와 용기 공동 표면 사이의 갭을 통해 기판이 장착된 상태에서도 무전해 도금 용액이 원활하게 흐를 수 있는 경로를 확보하는 기술적 특징을 포함한다.