문맥 (context)
[청구항 2]
제 1 항에 있어서,2개 이상의 상기 제 1 가스 통로가 하나의 상기 제 2 가스 통로와 유체연통되는,샤워헤드 전극 어셈블리.
[청구항 3]
제 2 항에 있어서,2개의 상기 제 1 가스 통로 및 하나의 상기 제 2 가스 통로가 각각의 상기 전극 및 상기 백킹 부재의 중심에 대해 상이한 반경 위치배치되는,샤워헤드 전극 어셈블리.
[청구항 4]
제 2 항에 있어서,2개의 상기 제 1 가스 통로 및 하나의 상기 제 2 가스 통로가 각각의 상기 전극 및 상기 백킹 부재의 중심에 대해 실질적으로 동일한 반경 위치 및 상이한 각도 위치배치되는,샤워헤드 전극 어셈블리.
[청구항 5]
제 1 항에 있어서,상기 전극은 실리콘, 그라파이트, 또는 실리콘 탄화물구성되는,샤워헤드 전극 어셈블리.
[청구항 6]
제 1 항에 있어서,상기 백킹 부재는 알루미늄, 그라파이트 또는 실리콘 탄화물구성되는,샤워헤드 전극 어셈블리.
[청구항 7]
제 1 항에 있어서,상기 하나 이상의 제 1 플리넘들은 상기 전극에 대면하는 상기 백킹 부재의 표면형성되는,샤워헤드 전극 어셈블리.
[청구항 8]
제 1 항에 있어서,상기 전극으로부터 이격되어 대면하는 상기 백킹 부재의 표면에 형성된 하나 이상의 제 2 플리더 포함하는,샤워헤드 전극 어셈블리.
[청구항 9]
제 8 항에 있어서,상기 제 1 플리넘들 및 상기 제 2 플리넘들은 방사상으로 이격된 환형 채널들인,샤워헤드 전극 어셈블리.
[청구항 10]
제 8 항에 있어서,상기 제 1 플리넘들및상기제2플리연속되거나분절되는,샤워헤드 전극 어셈블리.
[청구항 12]
제 11 항에 있어서,상기 금속성 백킹 부재는 알루미늄 또는 알루미늄 합금구성되는,샤워헤드 전극 어셈블리.
[청구항 13]
제 11 항에 있어서,상기 제 1 플리넘들을 정의하는 상기 금속성 백킹 부재의 표면은 양극처리 (anodized) 된 알루미늄, 세라믹 또는 폴리머 재료코팅되는,샤워헤드 전극 어셈블리.
[청구항 14]
제 11 항에 있어서,상기 실리콘 전극으로부터 이격되어 대면하는 상기 금속성 백킹 부재의 표면에 형성된 하나 이상의 제 2 플리넘들을 더 포함하며, 각각의 상기 제 2 플리넘은 하나 이상의 상기 제 2 가스 통로와 유체연통되는,샤워헤드 전극 어셈블리.
[청구항 15]
제 11 항에 있어서,상기 금속성 백킹 부재에 부착된 열 제어판더 포함하는,샤워헤드 전극 어셈블리.
[청구항 16]
제 14 항에 있어서,상기 제 1 플리넘들및상기제2플리연속되거나분절되는,샤워헤드 전극 어셈블리.
[청구항 17]
제 15 항에 있어서,상기 열 제어판 내에 형성된 하나 이상의 제 3 플리넘들을 더 포함하고, 각각의 상기 제 3 플리넘은 하나 이상의 상기 제 2 가스 통로와 유체연통되는,샤워헤드 전극 어셈블리.
[청구항 23]
제 22 항에 있어서,상기 제 1 부재는실리콘 전극인,샤워헤드 전극 어셈블리.
[청구항 24]
제 23 항에 있어서,상기 제 2 부재는 금속성 백킹 부재인,샤워헤드 전극 어셈블리.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
샤워헤드 전극 어셈블리에서 제 2 가스 통로와 유체연통되는 제 2 플리넘들은 어떤 구성요소의 표면에 형성되며, 이들은 무엇과 유체연통되는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation제 2 가스 통로와 유체연통되는 제 2 플리넘이 형성된 표면의 구성요소와 유체연통되는 대상을 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 14에서 제 2 플리넘이 금속성 백킹 부재의 표면에 형성되어 있으며, 제 2 가스 통로와 유체연통된다는 정보를 추출한다.
- 상기 금속성 백킹 부재의 표면에 형성된 하나 이상의 제 2 플리넘들을 더 포함하며, 각각의 상기 제 2 플리넘은 하나 이상의 상기 제 2 가스 통로와 유체연통되는
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3근거 선택
evidence_selection제 2 플리넘의 위치와 유체연통 관계를 명시한 청구항 14의 구절을 선택한다.
- 상기 금속성 백킹 부재의 표면에 형성된 하나 이상의 제 2 플리넘들을 더 포함하며, 각각의 상기 제 2 플리넘은 하나 이상의 상기 제 2 가스 통로와 유체연통되는
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4논리 통합
logical_integration제 2 플리넘은 금속성 백킹 부재의 표면에 형성되어 있고, 이 플리넘은 제 2 가스 통로와 유체연통된다.
- 상기 금속성 백킹 부재의 표면에 형성된 하나 이상의 제 2 플리넘들을 더 포함하며, 각각의 상기 제 2 플리넘은 하나 이상의 상기 제 2 가스 통로와 유체연통되는
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5결론 도출
conclusion_formulation제 2 플리넘은 금속성 백킹 부재의 표면에 형성되며, 제 2 가스 통로와 유체연통된다.
- 상기 금속성 백킹 부재의 표면에 형성된 하나 이상의 제 2 플리넘들을 더 포함하며, 각각의 상기 제 2 플리넘은 하나 이상의 상기 제 2 가스 통로와 유체연통되는
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6답변 생성
answer_generation질문에 따라 제 2 플리넘이 형성된 구성요소(금속성 백킹 부재)와 유체연통되는 대상(제 2 가스 통로)을 정리하여 답변을 생성한다.
- 상기 금속성 백킹 부재의 표면에 형성된 하나 이상의 제 2 플리넘들을 더 포함하며, 각각의 상기 제 2 플리넘은 하나 이상의 상기 제 2 가스 통로와 유체연통되는
최종 답변 (final_answer)
제 2 플리넘들은 금속성 백킹 부재의 표면에 형성되며, 이들은 하나 이상의 제 2 가스 통로와 유체연통된다.
핵심 해석 (core_interpretation)
샤워헤드 전극 어셈블리에서 제 2 플리넘이 금속성 백킹 부재의 표면에 배치되어 제 2 가스 통로와 유체연통됨으로써 가스 흐름을 제어하는 구조를 나타낸다.