문맥 (context)
[청구항 1]
링 형상으로 제공되는 회전 벨트
상기 회전 벨트의 내측에 위치하고, 상기 회전벨트의 내측면과 접촉하여 상기 회전벨트에 회전력을 전달하는 복수개의 회전 롤러들
상기 회전 벨트의 일 면에 제공되며, 기판을 세정하는 브러쉬를 포함하는 것을 특징으로 하는 브러쉬 유닛
[청구항 2]
제 1 항에 있어서,상기 브러쉬는상기 회전 롤러의 회전축 방향과 나란한상기회전벨트의일면제공되는것을특징으로 하는브러쉬 유닛.
[청구항 3]
제 2 항에 있어서,상기 회전 롤러들은제1롤러;상기 제1롤러와 동일 높이에 위치하며, 상기 제1롤러와 나란하게 배치되는제2롤러가지는것을특징으로 하는브러쉬 유닛.
[청구항 4]
제 3항에 있어서,기판과 대향하는 상기 회전벨트의 영역 중 상기 기판에 인접하게 제공되는 영역에 제공된 상기 브러쉬가 기판과 접촉하도록 상기 제1롤러와 상기 제2롤러 사이에 위치하는접촉유지 부재더포함하는것을특징으로 하는브러쉬 유닛.
[청구항 5]
제 1 항에 있어서,상기 브러쉬는상기 회전 롤러의 회전축 방향과 수직한상기회전벨트의일면제공되는것을특징으로 하는브러쉬 유닛.
[청구항 6]
기판을 이송하는 복수개의 이송 샤프트들; 및
기판과 접촉하여 기판 표면에 잔류하는 이물질을 제거하는 브러쉬 유닛을 포함하되,
상기 브러쉬 유닛은
링 형상으로 제공되는 회전 벨트
상기 회전 벨트의 내측에 위치하고, 상기 회전벨트의 내측면과 접촉하여 상기 회전 벨트에 회전력을 전달하는 복수개의 회전 롤러들
상기 회전 벨트의 일 면에 제공되며, 기판을 세정하는 브러쉬를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 세정 장치
[청구항 7]
제 6 항에 있어서,상기 회전 롤러들은상기 브러쉬는 상기 회전 롤러의 회전축 방향과 나란한상기회전벨트의일면제공되는것을특징으로 하는기판 세정 장치.
[청구항 8]
제 7 항에 있어서,상기 회전 롤러들은상부에서 바라볼 때, 그 길이방향이 상기 이송 샤프트의 길이방향에수직방향배치되는것을특징으로 하는기판 세정 장치.
[청구항 9]
제 6 항 또는 제 7 항에 있어서,상기 회전 롤러들은제1롤러;상기 제1롤러와 동일 높이에 위치하며, 상기 제1롤러와 나란하게 배치되는제2롤러포함하는것을특징으로 하는기판 세정 장치.
[청구항 10]
제 9 항에 있어서,상기 기판 세정 장치는상기 브러쉬에 세정액을 공급하는세정액분사노즐더포함하는것을특징으로 하는기판 세정 장치.
[청구항 11]
제 10 항에 있어서,상기 세정액 분사노즐은 기판과 대향하는 상기 회전벨트의 영역 중 상부에 위치하는 영역의 에지영역으로세정액공급하는것을특징으로 하는기판 세정 장치.
[청구항 12]
제 9 항에 있어서,상기 브러쉬 유닛은 ,기판과 대향하는 상기 회전벨트의 영역 중 상기 기판에 인접하게 제공되는 영역에 제공된 상기 브러쉬가 기판과 접촉하도록 상기 제1롤러와 상기 제2롤러 사이에 위치하는접촉유지 부재더포함하는것을특징으로 하는브러쉬 유닛.
[청구항 13]
제 6 항에 있어서,상기 회전 롤러들은그 길이방향이 상하방향으로 배치되며,상기 브러쉬는상기 회전 롤러의 회전축 방향과 수직한상기회전벨트의일면제공되는것을특징으로 하는기판 세정 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
브러쉬 유닛에서 브러쉬가 기판과 접촉할 수 있도록 제1롤러와 제2롤러 사이에 위치하는 구성 요소는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation브러쉬 유닛 내에서 브러쉬가 기판과 접촉할 수 있도록 제1롤러와 제2롤러 사이에 위치하는 구성 요소를 찾는 것이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 4와 청구항 12에서 브러쉬의 기판 접촉을 위해 제1롤러와 제2롤러 사이에 위치하는 구성 요소에 대한 언급을 추출한다.
- 상기 브러쉬가 기판과 접촉하도록 상기 제1롤러와 상기 제2롤러 사이에 위치하는접촉유지 부재
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3근거 선택
evidence_selection질문에서 요구하는 위치(제1롤러와 제2롤러 사이)와 목적(브러쉬가 기판과 접촉하도록 함)에 부합하는 구절을 선택한다.
- 상기 브러쉬가 기판과 접촉하도록 상기 제1롤러와 상기 제2롤러 사이에 위치하는접촉유지 부재
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4논리 통합
logical_integration추출된 구성 요소인 '접촉유지 부재'가 제1롤러와 제2롤러 사이에 위치하여 브러쉬의 기판 접촉을 돕는다는 논리적 관계를 확인한다.
- 상기 브러쉬가 기판과 접촉하도록 상기 제1롤러와 상기 제2롤러 사이에 위치하는접촉유지 부재
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에 대한 직접적인 답변으로 '접촉유지 부재'를 도출한다.
- 접촉유지 부재
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6답변 생성
answer_generation추출된 답변 형식을 사용하여 최종 답변을 생성한다.
- 접촉유지 부재
최종 답변 (final_answer)
접촉유지 부재
핵심 해석 (core_interpretation)
브러쉬 유닛에서 브러쉬가 기판에 적절히 접촉하여 세정 성능을 유지할 수 있도록, 제1롤러와 제2롤러 사이에 배치되는 접촉유지 부재의 구성을 정의하고 있다.