문맥 (context)
[청구항 1]
기판 반송로로 반송되는 기판을 일시적으로 수용하여, 상기 기판 반송로로부터 퇴피시키는 기판 버퍼 유닛에 있어서,
상기 기판 반송로의 도중에 설치되어, 기판을 적재하는 적재부를 갖는 동시에, 상기 기판 반송로로부터 벗어난 소정 위치로 이동 가능하게 설치된 상자 형상의 선반부와,
상기 상자 형상의 선반부의 상면 또는 측면에 설치되어, 정화된 청정 공기를 공급하는 청정 공기 공급 수단과,
상기 청정 공기 공급 수단과 상기 선반부의 일측면을 접속하는 통풍로를 구비하고,
상기 청정 공기 공급 수단으로부터 공급된 청정 공기는 상기 상자 형상의 선반부의 일측면에 형성된 공기 도입구로부터 상기 적재부로 공급되고, 상기 상자 형상의 선반부에 있어서의 상기 공기 도입구와는 반대측의 측면에 형성된 공기 도출구로부터 배기되는 것을 특징으로 하는, 기판 버퍼 유닛
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 상자 형상의 선반부는 내부에 복수의 상기 적재부가 다단으로 설치된 상자 형상의 케이싱을 갖고,상기 케이싱의 일측면에 있어서, 상기 공기 도입구는 다단으로 형성된 각 적재부에 대응하여 복수 형성되고,청정 공기를 상기 복수의 공기 도입구에 분배하는 분배 정류 부재가상기통풍로설치되어있는것을특징으로 하는,기판 버퍼 유닛.
[청구항 3]
제1항 또는 제2항에 있어서,상기 공기 도입구에 설치되어, 상기 공기 도입구로부터 상기 적재부 상으로 공급되는 청정 공기를 부채 형상으로 퍼지게 하는확장정류 부재구비하는것을특징으로 하는,기판 버퍼 유닛.
[청구항 4]
제1항 또는 제2항에 있어서,상기 공기 도출구는 상기 상자 형상의 선반부에 있어서의 상기 공기 도입구와는 반대측의 측면에 복수 형성되는 동시에, 그 단면은 중공 구조이며,상기 상자 형상의 선반부는,상기 적재부에 대한 기판의 반입출을 행하기 위한 기판 반송 수단과,상기 적재부 상에 공급되는 청정 공기의 하류측에 설치되어, 상기 기판 반송 수단을 구동하는 반송 구동 수단과,상기 중공 구조의 공기 도출구와 분리되어, 상기 반송 구동 수단에 공급된 청정 공기만을 배기하는구동계배기수단구비하는것을특징으로 하는,기판 버퍼 유닛.
[청구항 5]
제4항에 있어서,상기 복수의 공기 도출구에는 각각 상기 공기 도출구를 흐르는 공기 유량을 제한하는유량조리개수단설치되어있는것을특징으로 하는,기판 버퍼 유닛.
[청구항 6]
제1항 또는 제2항에 있어서,적어도 상기 선반부의 케이싱을 덮는 하우징을 구비하고, 상기 하우징과 상기 선반부의 케이싱 사이의 간극 공간에 있어서,상기 공기 도입구와 상기 공기 도출구가 각각 형성된 선반부의 일측면과, 상기 일측면에 대향하는 상기 하우징의 내측면 사이의 간극 공간을 각각 독립으로 형성하기 위한 구획 부재가,상기하우징의내벽설치되는것을특징으로 하는,기판 버퍼 유닛.
[청구항 7]
제1항 또는 제2항에 있어서,적어도 상기 선반부의 케이싱을 덮는 하우징을 구비하고, 상기 하우징과 상기 선반부의 케이싱 사이의 간극 공간에 있어서,상기 공기 도입구와 상기 공기 도출구가 각각 형성된 선반부의 일측면과, 상기 일측면에 대향하는 상기 하우징의 내측면 사이의 간극 공간을 각각 독립으로 형성하기 위한 구획 부재가,상기케이싱의외벽설치되는것을특징으로 하는,기판 버퍼 유닛.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
기판 버퍼 유닛에서 청정 공기가 공급되는 경로와, 공급된 공기가 선반부 내부를 통과하여 배기되는 방식은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
-
1과제 해석
task_interpretation기판 버퍼 유닛 내에서 청정 공기가 공급되는 경로와 선반부 내부를 통과하여 배기되는 전체적인 절차를 파악해야 한다.
-
2정보 추출
information_extraction청정 공기 공급 수단, 통풍로, 공기 도입구, 적재부, 공기 도출구의 관계를 추출한다.
- 청정 공기 공급 수단과 상기 선반부의 일측면을 접속하는 통풍로를 구비하고, 상기 청정 공기 공급 수단으로부터 공급된 청정 공기는 상기 상자 형상의 선반부의 일측면에 형성된 공기 도입구로부터 상기 적재부로 공급되고, 상기 상자 형상의 선반부에 있어서의 상기 공기 도입구와는 반대측의 측면에 형성된 공기 도출구로부터 배기되는 것을 특징으로 하는
-
3근거 선택
evidence_selection공급 경로(공급 수단 -> 통풍로 -> 공기 도입구 -> 적재부)와 배기 경로(적재부 -> 공기 도출구)에 관한 구절을 선택한다.
- 청정 공기 공급 수단과 상기 선반부의 일측면을 접속하는 통풍로를 구비하고, 상기 청정 공기 공급 수단으로부터 공급된 청정 공기는 상기 상자 형상의 선반부의 일측면에 형성된 공기 도입구로부터 상기 적재부로 공급되고, 상기 상자 형상의 선반부에 있어서의 상기 공기 도입구와는 반대측의 측면에 형성된 공기 도출구로부터 배기되는
-
4논리 통합
logical_integration공급 수단에서 나온 공기가 통풍로를 거쳐 도입구를 통해 적재부로 들어가고, 반대편 도출구를 통해 나가는 흐름을 연결한다.
- 청정 공기 공급 수단과 상기 선반부의 일측면을 접속하는 통풍로를 구비하고, 상기 청정 공기 공급 수단으로부터 공급된 청정 공기는 상기 상자 형상의 선반부의 일측면에 형성된 공기 도입구로부터 상기 적재부로 공급되고, 상기 상자 형상의 선반부에 있어서의 상기 공기 도입구와는 반대측의 측면에 형성된 공기 도출구로부터 배기되는
-
5결론 도출
conclusion_formulation청정 공기는 공급 수단에서 통풍로를 통해 선반부의 공기 도입구로 유입되어 적재부에 공급되며, 이후 도입구 반대측의 공기 도출구를 통해 배기된다.
- 청정 공기 공급 수단과 상기 선반부의 일측면을 접속하는 통풍로를 구비하고, 상기 청정 공기 공급 수단으로부터 공급된 청정 공기는 상기 상자 형상의 선반부의 일측면에 형성된 공기 도입구로부터 상기 적재부로 공급되고, 상기 상자 형상의 선반부에 있어서의 상기 공기 도입구와는 반대측의 측면에 형성된 공기 도출구로부터 배기되는
-
6답변 생성
answer_generation질문에 명시된 공급 경로와 배기 방식을 정리하여 최종 답변을 작성한다.
- 청정 공기 공급 수단과 상기 선반부의 일측면을 접속하는 통풍로를 구비하고, 상기 청정 공기 공급 수단으로부터 공급된 청정 공기는 상기 상자 형상의 선반부의 일측면에 형성된 공기 도입구로부터 상기 적재부로 공급되고, 상기 상자 형상의 선반부에 있어서의 상기 공기 도입구와는 반대측의 측면에 형성된 공기 도출구로부터 배기되는
최종 답변 (final_answer)
청정 공기는 청정 공기 공급 수단으로부터 공급되어 선반부의 일측면을 접속하는 통풍로를 거친 후, 선반부 일측면에 형성된 공기 도입구를 통해 적재부로 공급된다. 이후 공급된 공기는 공기 도입구의 반대측 측면에 형성된 공기 도출구를 통해 배기된다.
핵심 해석 (core_interpretation)
기판 버퍼 유닛의 선반부 내부로 청정 공기를 유입시키기 위해 통풍로와 공기 도입구를 이용하며, 도입구의 반대측에 공기 도출구를 배치하여 공기가 적재부를 통과하여 흐르도록 하는 공기 순환 구조를 특징으로 한다.