플라즈마 처리 시스템에 사용하기 위한 자기 클립 및 기판 홀더 document_id 1020100009416

[청구항 2] 제 1 항에 있어서,상기 힌지는 상기 제 1 본체 부재와 기계적으로 연결되는 제 1 부분 및 상기 제 1 부분에 피벗식으로 연결된 제 2 부분을 갖고, 상기 제 1 본체 부재는 상기 제 1 클램핑면과 상기 힌지의 상기 제 1 부분 사이에 제 1 비클램핑면을 포함하고, 상기 제 1 자석은 상기 제 1 비클램핑면 상위치되는클립. [청구항 3] 제 2 항에 있어서,상기 제 2 본체 부재는 상기 제 2 클램핑면과 상기 힌지의 상기 제 2 부분 사이에 제 2 비클램핑면을 포함하고, 상기 제 2 자석은 상기 제 2 비클램핑면 상위치되는클립. [청구항 4] 제 3 항에 있어서,상기 제 2 본체 부재는 상기 제 2 비클램핑면으로부터 외향으로 돌출되는 플랜지를 추가로 포함하고, 상기 제 2 클램핑면은 상기 플랜지 상에 위치되고, 상기 제 2 비클램핑면은 상기 플랜지와 상기 힌지의 상기 제 2 부분 사이위치되는클립. [청구항 5] 제 2 항에 있어서,상기 제 1 본체 부재는 상기 제 1 비클램핑면과 상기 제 1 클램핑면 사이에 정지면을 추가로 포함하고, 상기 정지면은 상기 기판의 에지 구역에서 종료하는 에지에 접촉하여 상기 제 2 본체 부재가 상기 개방 위치로부터 상기 폐쇄 위치로 이동할 때 상기 기판의 에지가 상기 제 1 비클램핑면으로 연장하는 것을 방해하여 상기 제 1 및 제 2 클램핑면 사이에상기패널의에지구역위치시키도록구성되는클립. [청구항 6] 제 1 항에 있어서,상기 제 1 본체 부재는 상기 제 1 클램핑면과 상기 힌지 사이에 제 1 비클램핑면과, 상기 제 1 클램핑면과 상기 제 1 비클램핑면 사이에 정지면을 포함하고, 상기 제 1 자석은 상기 제 1 비클램핑면 상에 위치되고, 상기 정지면은 상기 기판의 에지 구역에서 종료하는 에지에 접촉하여 상기 클립이 상기 패널과 결합될 때 상기 기판의 에지가 상기 제 1 비클램핑면으로 연장하는 것을방해하도록구성되는클립. [청구항 7] 제 6 항에 있어서,상기 제 2 본체 부재는 제 2 비클램핑면 및 상기 제 2 비클램핑면으로부터 외향으로 돌출하는 플랜지를 추가로 포함하고, 상기 제 2 클램핑면은 상기 플랜지 상에 위치되고, 상기 제 2 자석은 상기 제 2 비클램핑면 상위치되는클립. [청구항 8] 제 7 항에 있어서,상기 제 2 본체 부재는 상기 플랜지와 상기 제 2 클램핑면을 측방향으로 절두 원추형으로 형성하는 리세스를 추가로 포함하고, 상기 리세스는 상기 폐쇄 위치로부터 상기 개방 위치로 상기 제 2 본체 부재를 이동시키기 위해 상기 제 2 본체 부재로의 개방력의 인가를 위한 접근을 제공하도록치수설정되고성형되는클립. [청구항 10] 제 9 항에 있어서,상기 제 1 본체 부재는 상기 프레임 요소를 수용하도록 치수 설정되고 성형된 오목부, 상기 본체 부재를 통해 상기 오목부로 연장하는 나사산 형성 개구 및 상기 나사산 형성 개구 내에 수용되는 나사산 형성 부재를 포함하고, 상기 나사산 형성 부재는, 상기 프레임 요소에 접촉하고 상기 프레임 요소를 향해 전진할 때 상기 프레임 요소에 대해 상기 제 1 본체 부재를 이동시켜 상기 제 1 본체 부재의 부분과 상기 프레임 요소에 대한 상기 제 1 본체 부재의 위치를 고정하는 상기 프레임 요소의 부분 사이의 접촉 관계를 제공하는 부분포함하는기판 홀더. [청구항 11] 제 9 항에 있어서,상기 제 1 본체 부재는 탱을 포함하고, 상기 프레임 요소는 간극을 갖고 상기 탱을 수용하도록 구성되어 상기 제 1 및 제 2 본체 부재가 채널을 따라 위치되도록 미끄럼 가능하게 이동될 수 있도록 하는 채널포함하는기판 홀더. [청구항 12] 제 9 항에 있어서,상기 힌지는 상기 제 1 본체 부재가 상기 프레임 요소와 기계적으로 결합되고 상기 제 2 본체 부재가 인가된 힘의 부재시에 상기 개방 상태로 유지되도록 하는 운동 범위구성되는기판 홀더. [청구항 13] 제 12 항에 있어서,상기 제 1 본체 부재에 대한 상기 제 2 본체 부재의 상기 운동 범위초과하는기판 홀더. [청구항 14] 제 9 항에 있어서,상기 힌지는 상기 제 1 본체 부재와 기계적으로 연결되는 제 1 부분과, 상기 제 1 부분에 피벗식으로 연결되는 제 2 부분을 갖고, 상기 제 1 본체 부재는 상기 제 1 클램핑면과 상기 힌지의 상기 제 1 부분 사이에 제 1 비클램핑면을 포함하고, 상기 제 1 자석은 상기 제 1 비클램핑면 상위치되는기판 홀더. [청구항 15] 제 14 항에 있어서,상기 제 2 본체 부재는 상기 제 2 클램핑면과 상기 힌지의 상기 제 2 부분 사이에 제 2 비클램핑면을 포함하고, 상기 제 2 자석은 상기 제 2 비클램핑면 상위치되는기판 홀더. [청구항 16] 제 15 항에 있어서,상기 제 2 본체 부재는 상기 제 2 비클램핑면으로부터 외향으로 돌출되는 플랜지를 추가로 포함하고, 상기 제 2 클램핑면은 상기 플랜지 상에 위치되고, 상기 제 2 비클램핑면은 상기 플랜지와 상기 힌지의 상기 제 2 부분 사이위치되는기판 홀더. [청구항 17] 제 14 항에 있어서,상기 제 1 본체 부재는 상기 제 1 비클램핑면과 상기 제 1 클램핑면 사이에 정지면을 추가로 포함하고, 상기 정지면은 상기 기판의 에지 구역에서 종료하는 에지에 접촉하여 상기 제 2 본체 부재가 상기 개방 위치로부터 상기 폐쇄 위치로 이동할 때 상기 기판의 에지가 상기 제 1 비클램핑면으로 연장하는 것을 방해하여 상기 제 1 및 제 2 클램핑면 사이에상기패널의에지구역위치시키도록구성되는기판 홀더. [청구항 18] 제 9 항에 있어서,상기 제 1 본체 부재는 상기 제 1 클램핑면과 상기 힌지 사이에 제 1 비클램핑면과, 상기 제 1 클램핑면과 상기 제 1 비클램핑면 사이에 정지면을 포함하고, 상기 제 1 자석은 상기 제 1 비클램핑면 상에 위치되고, 상기 정지면은 상기 기판의 에지 구역에서 종료하는 에지에 접촉하여 상기 클립이 상기 패널과 결합될 때 상기 기판의 에지가 상기 제 1 비클램핑면으로 연장하는 것을방해하도록구성되는기판 홀더. [청구항 19] 제 18 항에 있어서,상기 제 2 본체 부재는 제 2 비클램핑면 및 상기 제 2 비클램핑면으로부터 외향으로 돌출하는 플랜지를 추가로 포함하고, 상기 제 2 클램핑면은 상기 플랜지 상에 위치되고, 상기 제 2 자석은 상기 제 2 비클램핑면 상위치되는기판 홀더. [청구항 20] 제 19 항에 있어서,상기 제 2 본체 부재는 상기 플랜지와 상기 제 2 클램핑면을 측방향으로 절두 원추형으로 형성하는 리세스를 추가로 포함하고, 상기 리세스는 상기 폐쇄 위치로부터 상기 개방 위치로 상기 제 2 본체 부재를 이동시키기 위해 상기 제 2 본체 부재로의 개방력의 인가를 위한 접근을 제공하도록치수설정되고성형되는기판 홀더.