문맥 (context)
[청구항 2]
제 1 항에 있어서,상기 챔버 덮개는 상기 챔버의 측벽에 의해 둘러싸이는 원통형의 덮개 몸체를 포함하며,상기 덮개 몸체의 저면에 일정 간격으로 설치되고, 기판의 저면을 지지하는지지부재들더포함하는것을특징으로 하는기판 건조 장치.
[청구항 3]
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 챔버 덮개는 상기 지지부재들에 놓여진 기판의 가장자리를 척킹하는 척킹부재들을 더 포함하되;상기 척킹부재들은 자력에 의해구동되는것을특징으로 하는기판 건조 장치.
[청구항 4]
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 챔버 덮개는 상기 지지부재들에 놓여진 기판의 가장자리를 척킹하는 척킹부재들을 더 포함하되;상기 척킹부재들 각각은자력에 의해 이동되는 이동블럭;상기 이동블럭에 설치되고 상기 챔버 덮개의 저면으로부터 노출되어 상기 이동 블럭의 이동에 의해 기판을 척킹할 수 있는 위치로 이동되는 척킹핀; 및상기 자력이 없어지면 상기 척킹핀이 언척킹 위치로 이동되도록 상기 이동블럭에 탄성력을 제공하는탄성부재포함하는것을특징으로 하는기판 건조 장치.
[청구항 5]
제 4 항에 있어서,상기 이동블럭은 제1자석을 갖고,상기 챔버는 상기 제1자석을 대향되는 위치에제2자석갖는것을특징으로 하는기판 건조 장치.
[청구항 6]
제 1 항에 있어서,상기 제1자석은 상기 챔버 덮개의 가장자리 측면에 인접하도록 상기 이동블럭에 제공되며,상기 제2자석은상기 챔버 덮개가 기판 처리를 위한 위치로 하강하였을때 상기 제1자석과 마주하도록 상기 챔버에 제공되고,상기 척킹핀은 기판 로딩/언로딩시 기판의 출입이 용이하도록 기판 중심부 바깥방향으로 위치 이동되며, 상기 챔버 덮개가 기판 처리를 위한 위치로 하강하였을때 상기 제2자석과 상기 제1자석간의 자력에 의해 기판 중심부 안쪽방향으로 밀려나면서기판킹하는것을특징으로 하는기판 건조 장치.
[청구항 7]
제 1 항에 있어서,상기 챔버 덮개는 저면과 상면을 갖는 원통형의 덮개 몸체;상기 덮개 몸체의 상면에 설치되는 기둥; 및상기 기둥에 설치되고 승강부재와 연결되는 연결바를포함하는것을특징으로 하는기판 건조 장치.
[청구항 8]
제 1 항에 있어서,상기 잠금부재는상기 챔버 덮개의 상단에 설치되는 구동부들; 및상기 구동부들 각각에 의해 전후이동되며 상기 하부 챔버의 내측벽에 형성된 잠금홈에 끼워지는안전핀들포함하는것을특징으로 하는기판 건조 장치.
[청구항 9]
제 1 항에 있어서,상기 챔버는 바닥면에 건조 공정 수행 후 처리 유체, 각종 오염물 들을 외부로 배출하기 위한 배출라인, 건조 공정에 사용될 고압처리유체 및 각종 처리 유체를 공급하기 위한공급라인들제공되는것을특징으로 하는기판 건조 장치.
[청구항 10]
제 9 항에 있어서,상기 챔버와 상기 챔버 덮개 사이에 설치되며 기판 건조에 사용되는 고압 처리 유체의 외부 유출을 방지하기 위한 시일을 더 포함하되;상기 시일은 상기 고압 처리 유체의 압력으로 팽창할 수 있도록타원형홈구조로이루어지는것을특징으로 하는기판 건조 장치.
[청구항 11]
제 10 항에 있어서,상기 챔버에는 상기 챔버 덮개가 결합시 발생되는 이물질 및 파티클 제거를 위해 상기 시일 바깥쪽 상기 챔버 덮개와 상기 챔버 사이의 틈새에퍼지가스공급하는것을특징으로 하는기판 건조 장치.
[청구항 12]
제 9 항에 있어서,상기 챔버 또는 상기 챔버 덮개에는 상기 고압처리유체의 온도를 유지하기 위한히터더포함하는것을특징으로 하는기판 건조 장치.
[청구항 14]
제 13 항에 있어서,상기 잠금부재는상기 챔버 덮개의 상단에 설치되는 구동부들; 및상기 구동부들 각각에 의해 전후이동되며 상기 하부 챔버의 내측벽에 형성된 잠금홈에 끼워지는안전핀들포함하는것을특징으로 하는기판 건조 장치.
[청구항 15]
제 13 항에 있어서,상기 척킹부재들은 자력에 의해구동되는것을특징으로 하는기판 건조 장치.
[청구항 16]
제 13 항에 있어서,상기 챔버의 측벽에는 기판이 반입 및 반출되는 투입구를 갖으며, 상기 투입구는 상기 챔버 덮개에 의해개폐되는것을특징으로 하는기판 건조 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
기판 건조 장치에서 척킹부재가 자력에 의해 구동될 때, 척킹핀이 기판을 척킹하기 위해 이동하는 메커니즘과 자력이 제거되었을 때의 동작 과정을 설명하시오.
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation자력에 의한 척킹핀의 이동 메커니즘과 자력 제거 시의 동작 과정을 설명하는 것이 과제이다.
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2정보 추출
information_extraction척킹부재는 이동블럭, 척킹핀, 탄성부재로 구성되며, 자력은 제1자석과 제2자석 사이에서 발생한다.
- 상기 척킹부재들 각각은자력에 의해 이동되는 이동블럭;상기 이동블럭에 설치되고 상기 챔버 덮개의 저면으로부터 노출되어 상기 이동 블럭의 이동에 의해 기판을 척킹할 수 있는 위치로 이동되는 척킹핀; 및상기 자력이 없어지면 상기 척킹핀이 언척킹 위치로 이동되도록 상기 이동블럭에 탄성력을 제공하는탄성부재
- 상기 챔버 덮개가 기판 처리를 위한 위치로 하강하였을때 상기 제2자석과 상기 제1자석간의 자력에 의해 기판 중심부 안쪽방향으로 밀려나면서기판킹하는것
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3근거 선택
evidence_selection자력에 의한 이동은 제1자석과 제2자석의 상호작용으로 기판 중심부 안쪽으로 밀려나는 것이며, 자력 제거 시에는 탄성부재에 의해 언척킹 위치로 이동함을 확인한다.
- 상기 챔버 덮개가 기판 처리를 위한 위치로 하강하였을때 상기 제2자석과 상기 제1자석간의 자력에 의해 기판 중심부 안쪽방향으로 밀려나면서기판킹하는것
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4논리 통합
logical_integration자력이 작용하면 척킹핀이 기판을 척킹하기 위해 안쪽으로 이동하고, 자력이 사라지면 탄성부재의 힘으로 다시 원래 위치(언척킹 위치)로 돌아가는 인과관계를 도출한다.
- 상기 자력이 없어지면 상기 척킹핀이 언척킹 위치로 이동되도록 상기 이동블럭에 탄성력을 제공하는탄성부재
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5결론 도출
conclusion_formulation자력에 의한 척킹 메커니즘과 탄성력을 이용한 언척킹 과정을 정리한다.
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6답변 생성
answer_generation질문에 대한 최종 답변을 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
척킹핀의 이동 메커니즘은 챔버 덮개가 하강하여 제1자석과 제2자석이 마주하게 될 때, 두 자석 간의 자력에 의해 이동블럭이 기판 중심부 안쪽 방향으로 밀려나면서 척킹핀이 기판을 척킹할 수 있는 위치로 이동하는 방식이다. 자력이 제거되었을 때는 이동블럭에 제공된 탄성부재의 탄성력에 의해 척킹핀이 언척킹 위치로 이동하게 된다.
핵심 해석 (core_interpretation)
자석 간의 상호작용을 이용해 척킹핀을 기판 방향으로 이동시켜 척킹을 수행하고, 탄성부재를 통해 자력 제거 시 자동으로 언척킹이 이루어지도록 설계된 메커니즘이다.