문맥 (context)
[청구항 2]
제 1 항에 있어서,상기 플라즈마 챔버 내에 위치되는 가스 분배판; 및상기 가스 분배판에 접속된 비접지 출력부 및 상기 플라즈마 챔버의 전기적으로 접지된 벽에 접속된 접지 출력부를 갖는 rf 전원 공급원더 포함하는,피가공물 제조 장치.
[청구항 4]
제 3 항에 있어서,상기 플라즈마 챔버 내에 위치되는 가스 분배판; 및상기 가스 분배판에 접속된 비접지 출력부 및 상기 플라즈마 챔버의 전기적으로 접지된 벽에 접속된 접지 출력부를 갖는 rf 전원 공급원더 포함하는,피가공물 제조 장치.
[청구항 9]
제 5 항에 있어서,각각의 상기 전기 도전 스트랩은알루미늄 밴드인피가공물 제조 장치.
[청구항 10]
제 6 항에 있어서,각각의 상기 전기 도전 스트랩은알루미늄 밴드인피가공물 제조 장치.
[청구항 11]
제 7 항에 있어서,각각의 상기 전기 도전 스트랩은알루미늄 밴드인피가공물 제조 장치.
[청구항 12]
제 8 항에 있어서,각각의 상기 전기 도전 스트랩은알루미늄 밴드인피가공물 제조 장치.
[청구항 14]
청구항 14은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.제 13 항에 있어서,상기 전기 도전 스트랩들은 상기 서셉터의 네 개의 코너들에 각각 접속된 네 개의 전기 도전 스트랩들포함하는,피가공물 제조 장치.
[청구항 15]
청구항 15은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.제 13 항에 있어서,상기 전기 도전 스트랩들은 상기 서셉터의 주변부 둘레분포되는,피가공물 제조 장치.
[청구항 16]
청구항 16은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.제 13 항에 있어서,셉터는 상기 피가공물을 지지하도록 적응된 앞면 및 상기 피가공물로부터 이격되어 면하는 배면을 포함하고; 그리고상기 전기 도전 스트랩들은 상기 서셉터의 배면 상부에 공간적분포되는,피가공물 제조 장치.
[청구항 17]
청구항 17은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.제 13 항에 있어서,상기 플라즈마 챔버 내에 위치되는 가스 분배판; 및상기 가스 분배판에 접속된 비접지 출력부 및 상기 플라즈마 챔버의 전기적으로 접지된 벽에 접속된 접지 출력부를 갖는 rf 전원 공급원더 포함하는,피가공물 제조 장치.
[청구항 18]
청구항 18은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.제 13 항에 있어서,셉터와 구별되는 전극;제1 주파수를 갖는 전기 신호를 상기 서셉터에 공급하도록 접속된 제1 전력 공급원; 및상기 제1 주파수보다 큰 제2 주파수를 갖는 전기 신호를 상기 전극에 공급하도록 접속된 제2 전력 공급원더 포함하는,피가공물 제조 장치.
[청구항 21]
청구항 21은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.제 20 항에 있어서,상기 공간적으로 분포된 위치들은 상기 서셉터의 주변부 둘레에 분포된 다수의 위치들포함하는,피가공물 제조 장치.
[청구항 22]
청구항 22은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.제 20 항에 있어서,셉터는 상기 피가공물을 지지하도록 적응된 앞면, 및 상기 피가공물로부터 이격되어 면하는 후면을 포함하고; 그리고상기 공간적으로 분포된 위치들은 상기 서셉터의 배면 상부에 분포된 다수의 위치들포함하는,피가공물 제조 장치.
[청구항 23]
청구항 23은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.제 20 항에 있어서,상기 플라즈마 챔버 내에 위치되는 가스 분배판; 및상기 가스 분배판에 접속된 비접지 출력부 및 상기 전기적으로 접지된 벽에 접속된 접지 출력부를 갖는 rf 전원 공급원더 포함하는,피가공물 제조 장치.
[청구항 24]
청구항 24은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.제 20 항에 있어서,셉터와 구별되는 전극;제1 주파수를 갖는 전기 신호를 상기 서셉터에 공급하도록 접속된 제1 전력 공급원; 및상기 제1 주파수보다 큰 제2 주파수를 갖는 전기 신호를 상기 전극에 공급하도록 접속된 제2 전력 공급원더 포함하는,피가공물 제조 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
피가공물 제조 장치에서 rf 전원 공급원의 비접지 출력부와 접지 출력부는 각각 무엇에 접속되는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation피가공물 제조 장치의 rf 전원 공급원 내 비접지 출력부와 접지 출력부가 각각 무엇에 접속되는지 관계를 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 2, 4, 17, 23 등에서 rf 전원 공급원의 구성 요소와 접속 대상을 추출한다.
- 상기 가스 분배판에 접속된 비접지 출력부 및 상기 플라즈마 챔버의 전기적으로 접지된 벽에 접속된 접지 출력부를 갖는 rf 전원 공급원
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3근거 선택
evidence_selection비접지 출력부의 접속 대상인 '가스 분배판'과 접지 출력부의 접속 대상인 '플라즈마 챔버의 전기적으로 접지된 벽' 구절을 선택한다.
- 상기 가스 분배판에 접속된 비접지 출력부 및 상기 플라즈마 챔버의 전기적으로 접지된 벽에 접속된 접지 출력부
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4논리 통합
logical_integration비접지 출력부는 가스 분배판에 접속되어 있고, 접지 출력부는 플라즈마 챔버의 전기적으로 접지된 벽에 접속되어 있음을 연결한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에 따라 비접지 출력부는 가스 분배판에, 접지 출력부는 플라즈마 챔버의 전기적으로 접지된 벽에 접속된다는 결론을 도출한다.
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6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 최종 답변을 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
비접지 출력부는 가스 분배판에 접속되고, 접지 출력부는 플라즈마 챔버의 전기적으로 접지된 벽에 접속된다.
핵심 해석 (core_interpretation)
본 발명은 rf 전원 공급원의 비접지 출력부를 가스 분배판에, 접지 출력부를 플라즈마 챔버의 접지된 벽에 각각 연결하여 전원을 공급하는 피가공물 제조 장치에 관한 것이다.