고체 촬상 장치와 그 제조 방법 및 촬상 장치 및 전자 기기 document_id 1020100025580

[청구항 1] 고체 촬상 장치에 있어서, 반도체 기판의 행방향 및 열방향으로 배치된 단위 화소에 의해 정의된 화소부를 포함하고, 상기 단위 화소 각각은, 반도체 기판상에 형성되고 입사광을 신호 전하로 변환하는 광전 변환부와, 상기 광전 변환부 상방에 형성되고 상기 광전 변환부에 상기 입사광을 유도하는 도파로와, 상기 도파로 상방에 형성되고 상기 도파로의 광 입사단에 상기 입사광을 유도하는 마이크로 렌즈를 포함하고, 상기 도파로는 광 입사단으로부터 사출단을 향해 단면적이 일정한 주상체를 포함하고, 상기 마이크로 렌즈로부터 상기 도파로의 광 입사단상에 입사되는 상기 입사광의 광속의 중심과, 상기 도파로의 중심축이 일치하도록 배치되는 것을 특징으로 하는 고체 촬상 장치 [청구항 2] 제1항에 있어서,상기 도파로와 상기 마이크로 렌즈 사이에 형성되고 상기 입사광을 분광하는 컬러 필터층을 더 포함하고, 상기 퓨필 보정은 상기 입사광의 기준 색에 기초하여 상기 마이크로 렌즈 및 상기 컬러 필터층에 대해실행되는것을특징으로 하는고체 촬상 장치. [청구항 3] 제1항에 있어서,상기 화소부내에서 동일한 파장을 갖는 입사광이 입사되는 상기 광전 변환부에서는 상기 대응하는 광전 변환부의 중심에 대한 상기 도파로 각각의 중심축의 어긋남 양은상기화소부의중심의외측커지는것을특징으로 하는고체 촬상 장치. [청구항 4] 제1항에 있어서,상기 화소부의 중심으로부터 동일한 거리에 있는 상기 광전 변환부에서는 상기 컬러 필터층에 의해 분광되고 상기 광전 변환부에 입사된 파장의 길이가 길어짐에 따라, 상기 광전 변환부의 중심에 대한 상기 도파로의중심축의어긋남양작아지는것을특징으로 하는고체 촬상 장치. [청구항 5] 제1항에 있어서,상기 도파로의 지름은 상기 도파로의 사출단으로부터 사출되는 상기 입사광이 상기 광전 변환부 표면 내에 조사되는크기형성되는것을특징으로 하는고체 촬상 장치. [청구항 6] 제1항에 있어서,단위 화소군을 더 포함하고,상기 단위 화소군은,상기 컬러 필터층에 의해 분광된 제1 파장의 광이 입사되는 상기 광전 변환부를 갖는 제1 단위 화소와, 상기 컬러 필터층에 의해 분광된 상기 제1 파장 보다 짧은 제2 파장의 광이 입사되는 상기 광전 변환부를 갖는 제2 단위 화소와, 상기 컬러 필터층에 의해 분광된 상기 제1 파장 보다 긴 제3 파장의 광이 입사되는 상기 광전 변환부를 갖는 제3 단위 화소를 포함하고,상기 단위 화소군에 있어서 상기 각 광전 변환부의 중심에 대한 상기 도파로의 중심축의 어긋남 양은 상기 컬러 필터층에 의해 분광되는 파장이 짧아짐에 따라, 상기 광전 변환부의 중심에 대한 상기 도파로의중심축의어긋남양작아지는것을특징으로 하는고체 촬상 장치. [청구항 7] 제1항에 있어서,상기 도파로는,상기 도파로의 측주부(preipheral portion)를 형성하는 제1 도파로와,상기 제1 도파로의 내부에 형성되고 상기 제1 도파로 보다도 굴절율이 낮은제2도파로포함하는것을특징으로 하는고체 촬상 장치. [청구항 10] 고체 촬상 장치에 있어서, 입사광을 집광하는 집광 광학부와, 상기 집광 광학부에 의해 집광한 광을 수광하고 광전 변환하는 고체 촬상 장치를 갖는 촬상부와, 상기 고체 촬상 장치로 광전 변환된 신호를 처리하는 신호 처리부를 포함하고, 상기 고체 촬상 장치는, 반도체 기판에 형성되고 입사광을 신호 전하로 변환하는 광전 변환부와, 상기 광전 변환부 상방에 형성되고 상기 광전 변환부에 상기 입사광을 유도하는 도파로와, 상기 도파로 상방에 형성되고 상기 도파로의 광 입사단에 상기 입사광을 유도하는 마이크로 렌즈를 포하하는 단위 화소가 상기 반도체 기판의 행방향 및 열방향으로 배치되어 화소부가 구성되고, 상기 도파로에서는 입사단으로부터 사출단을 향해 단면적이 일정한 주상체로 형성되고, 상기 마이크로 렌즈로부터 상기 도파로의 입사 단면에 입사되는 상기 입사광의 광속의 중심과, 상기 도파로의 중심축이 일치하여 배치되는 것을 특징으로 하는 고체 촬상 장치 [청구항 11] 고체 촬상 장치에 있어서, 화소가 배열된 화소부와, 복수 화소의 군으로 상기 복수 화소의 군의 광입사면 보다 하방에 형성되고 전극 및 배선을 포함하는 레이아웃이 소요의 인접하는 화소의 경계선을 사이에 두고 비대칭의 하지층과, 상기 하지층에 기인하여 생기는 각 화소 사이의 광학적 비대칭성을 광학적 대칭성으로 하기 위한 조정 수단을 갖는 것을 특징으로 하는 고체 촬상 장치 [청구항 12] 제11항에 있어서,상기 조정 수단의 위치 이탈의 조정 방향 및 조정량이상기화소부의전역동일한것을특징으로 하는고체 촬상 장치. [청구항 13] 제12항에 있어서,상기 화소의 광전 변환부의 상방에 형성되고 입사광을 분광하는 컬러 필터층과, 상기 컬러 필터층상의 온 칩 렌즈와, 상기 컬러 필터층 보다 하방에 형성된상기하지층더갖는것을특징으로 하는고체 촬상 장치. [청구항 14] 제13항에 있어서,상기 화소부가 복수의 화소를 1개의 소요의 화소 트랜지스터로 공유하는 단위 화소군이 복수 배열된 화소부이고, 상기 비대칭의 하지층이 화소 트랜지스터의 게이트 전극 및 배선을 포함하는하지층인것을특징으로 하는고체 촬상 장치. [청구항 15] 제14항에 있어서,상기 조정 수단이 각 화소에 대응한 도파로에서 구성되고, 상기 도파로의 상방에 상기 컬러 필터층이 형성되고, 상기 하지층이 상기 도파로 보다 하방의 게이트 전극 및 배선을 포함하는 하지층이고, 기준 상태로서 상기 화소부 전역에서 상기 도파로가 동일 간격으로 배치된 상태에서, 상기 단위 화소군의 내로, 또는 인접한 복수의 단위 화소군 내로 적어도 특정 화소의 상기 도파로가 상기 기준의 위치에서 빗나가게 배치되는 것을특징으로하는기재된고체 촬상 장치. [청구항 16] 제15항에 있어서,상기 단위 화소군 내의, 또는 인접한 복수의 단위 화소군 내의 같은 색 화소의 감도차가 동등하게 되도록, 상기 같은 색 화소의 도파로 중, 적어도 제1의 같은 색 화소의 도파로가 상기 도파로에 근접하는 공유의 화소 트랜지스터의 게이트 전극으로부터 떨어지는방향배치되는것을특징으로 하는고체 촬상 장치. [청구항 17] 제16항에 있어서,상기 단위 화소군 내의, 또는 인접한 복수의 단위 화소군내의 같은 색 화소의 감도차가 동등하게 되도록, 상기 같은 색 화소의 도파로 중, 제2의 같은 색 화소의 도파로가 공유의 화소 트랜지스터의 게이트 전극에 근접한방향배치되는것을특징으로 하는고체 촬상 장치. [청구항 18] 제14항에 있어서,상기 화소부의 중심으로부터 동일한 거리에 있는 광전 변환부에서는 컬러 필터층에 의해 분광되고 상기 광전 변환부에 입사된 파장의 길이가 길어짐에 따라, 상기 광전 변환부의 중심에 대한 상기 도파로의 중심축의 어긋남 양이 커지는 도파로퓨필보정이루어지는것을특징으로 하는고체 촬상 장치. [청구항 19] 제12항에 있어서,상기 조정 수단이 상기 배선의 돌출 부분이고, 단위 화소군 내, 또은 인접한 복수의 단위 화소군으로 상기 배선의 돌출 부분이 상기 바탕층에 영향을 주지 않는광전변환부상돌출하는것을특징으로 하는고체 촬상 장치. [청구항 20] 전자 기기에 있어서, 고체 촬상 장치와, 상기 고체 촬상 장치의 광전 변환부에 입사광을 유도하는 광학계와, 상기 고체 촬상 장치의 출력 신호를 처리하는 신호 처리 회로를 구비하고, 상기 고체 촬상 장치는 상기 청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 하나에 따른 고체 촬상 장치인 것을 특징으로 하는 전자 기기