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박막 트랜지스터의 제조 방법 및 박막 트랜지스터 document_id 1020100031296

출원번호
1020100031296
분류
전기(H섹션)
문맥 (context)
[청구항 13] 기판상에 배치된 게이트 전극 및 상기 게이트 전극을 덮는 게이트 절연막과, 상기 게이트 절연막상에 설치된 유기 반도체층과, 상기 게이트 전극의 폭방향의 양단 테두리에 대해 각각 단연을 일치시킨 상태로 상기 유기 반도체층상에 배치된 소스-드레인을 구비하는 것을 특징으로 하는 박막 트랜지스터 [청구항 14] 제 13항에 있어서,상기 소스-드레인은, 상기 게이트 전극을 마스크로 사용함으로써 상기 기판측에서의 이면 노광을 통해 얻어진패턴형상있는것을특징으로 하는박막 트랜지스터. [청구항 15] 제 13항 또는 제 14항에 있어서,상기 게이트 전극은 차광성을 가지며, 상기 게이트 전극을 제외한 상기 기판에서 상기 전극막까지의 사이의 각 층은,광투과성있는것을특징으로 하는박막 트랜지스터. [청구항 16] 제 13항 내지 제 15항 중 어느 한 항에 있어서,상기 소스-드레인 상에 해당 소스-드레인과 동일 패턴 형상의 네가티브형레지스트구비하는것을특징으로 하는박막 트랜지스터. [청구항 17] 제 13항 내지 제 15항 중 어느 한 항에 있어서,상기 소스-드레인 위에 배선이 패턴 형성되고, 상기 소스-드레인의 일부는상기배선의패턴과동일패턴있는것을특징으로 하는박막 트랜지스터. [청구항 18] 제 17항에 있어서,상기 소스-드레인은, 상기 유기 반도체층상에 설치된 제1 전극막과, 해당 제1 전극막상으로부터 상기 게이트 절연막상에 인출된 제2 전극막과의적층구조구성되는것을특징으로 하는박막 트랜지스터. [청구항 19] 제 13항 내지 제 15항 중 어느 한 항에 있어서,상기 유기 반도체층은 섬형상으로 패턴 형성되고, 상기 소스-드레인은 상기 유기 반도체층상에서 패턴 형성되고, 상기 소스-드레인상으로부터 상기 게이트 절연막상까지배선마련되어있는것을특징으로 하는박막 트랜지스터.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
청구항 13항의 박막 트랜지스터에서 소스-드레인이 배치되는 위치적 관계와, 청구항 18항에 따른 소스-드레인의 적층 구조는 어떻게 구성되는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
  1. 1과제 해석task_interpretation

    청구항 13항의 소스-드레인 위치 관계와 청구항 18항의 소스-드레인 적층 구조를 파악해야 한다.

  2. 2정보 추출information_extraction

    청구항 13항에서 소스-드레인은 게이트 전극 폭방향 양단 테두리에 단연을 일치시켜 유기 반도체층상에 배치된다.

    • 상기 게이트 전극의 폭방향의 양단 테두리에 대해 각각 단연을 일치시킨 상태로 상기 유기 반도체층상에 배치된 소스-드레인
  3. 3근거 선택evidence_selection

    청구항 18항에서 소스-드레인은 제1 전극막과 제2 전극막의 적층 구조로 구성됨을 확인한다.

    • 상기 소스-드레인은, 상기 유기 반도체층상에 설치된 제1 전극막과, 해당 제1 전극막상으로부터 상기 게이트 절연막상에 인출된 제2 전극막과의적층구조
  4. 4논리 통합logical_integration

    위치적 관계(청구항 13항)와 적층 구조(청구항 18항)를 결합하여 종합적인 구성을 도출한다.

  5. 5결론 도출conclusion_formulation

    소스-드레인은 게이트 전극의 폭방향 양단 테두리에 단연을 일치하여 유기 반도체층상에 배치되며, 제1 전극막과 제2 전극막이 적층된 구조를 가진다.

  6. 6답변 생성answer_generation

    질문에 대해 위치적 관계와 적층 구조를 나누어 명확하게 답변을 작성한다.

최종 답변 (final_answer)
소스-드레인의 위치적 관계는 게이트 전극의 폭방향 양단 테두리에 대해 각각 단연을 일치시킨 상태로 유기 반도체층상에 배치되는 것이며, 적층 구조는 유기 반도체층상에 설치된 제1 전극막과 해당 제1 전극막상으로부터 게이트 절연막상에 인출된 제2 전극막이 적층된 구조로 구성된다.
핵심 해석 (core_interpretation)
본 발명은 게이트 전극의 폭방향 단연을 맞춘 소스-드레인의 배치 방식과, 제1 및 제2 전극막의 적층을 통한 소스-드레인의 구체적인 구조를 정의하고 있다.