문맥 (context)
[청구항 2]
청구항 1에 있어서,상기 인젝터 홀더는 챔버 외측에 설치되며 상기 인젝터가 관통하는 고정부를 더 구비하며, 상기 연결관은 상기 고정부와 위치조절부연결하는인젝터 어셈블리.
[청구항 3]
청구항 1에 있어서,상기 수평구동부는 상기 위치 조절부를 x축 방향으로 수평 구동시키는 x축 수평구동부와, x축에 수직하는 y축 방향으로 위치 조절부를 수평 구동시키는 y축 수평 구동부구비하는인젝터 어셈블리.
[청구항 4]
청구항 3에 있어서,상기x축 수평구동부는 x축 수평구동부에 의한 위치 조절부의 x축 수평이동 거리와 인젝터 분사구의 x축 수평이동 거리가 동일하도록 형성되고, 상기 y축 수평구동부는 상기 y축 수평구동부에 의한 위치 조절부의 y축 수평이동 거리와 인젝터 분사구의 y축수평이동거리동일하도록형성되는인젝터 어셈블리.
[청구항 5]
청구항 2에 있어서,상기 위치 조절부 일측에 배치되어 상기 고정부와 맞닿도록 형성되며, 고정부와 맞닿는 단부에 볼 베어링이 장착되는 하나 이상의 지지대더 구비하는인젝터 어셈블리.
[청구항 6]
청구항 1에 있어서,상기 수평구동부 일측에 배치되어 위치 조절부의 수평각도를 조절시키는 틸트구동부더 구비하는인젝터 어셈블리.
[청구항 7]
청구항 6에 있어서,상기 틸트구동부는상기 수평구동부와 위치 조절부 사이에 배치되며, 위치 조절부가 좌우회동되도록 위치 조절부와 회동축으로 결합된 틸트 지지대;일단이 위치 조절부를 관통하여 상기 틸트 지지대에 지지되며, 회동축 양측에 이격배치되는 한 쌍의 틸트 샤프트; 상기 틸트 샤프트의 타단에 결합되며, 틸트 샤프트를 따라 이동하는 한 쌍의틸트 조정 노브구비하는인젝터 어셈블리.
[청구항 8]
청구항 6에 있어서,상기 틸트구동부 일측에 배치되고, 틸트구동부로 위치 조절부의 수평각도를 조정한 후 조정된 수평각도로 틸트구동부를 고정시키는 스토퍼더 구비하는인젝터 어셈블리.
[청구항 10]
청구항 9에 있어서,상기 인젝터 홀더는 챔버 외측에 설치되며 상기 인젝터가 관통하는 고정부를 더 구비하며, 상기 연결관은 상기 고정부와 위치조절부연결하는기판 처리장치.
[청구항 11]
청구항 9에 있어서,상기 수평구동부는 상기 위치 조절부를 x축 방향으로 수평 구동시키는 x축 수평구동부와, x축에 수직하는 y축 방향으로 위치 조절부를 수평 구동시키는 y축 수평 구동부구비하는기판 처리장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
인젝터 어셈블리에서 틸트구동부가 위치 조절부의 수평각도를 조절할 때, 틸트구동부를 구성하는 세부 요소들은 무엇이며 이들은 서로 어떻게 배치되는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation틸트구동부의 세부 구성 요소와 이들의 배치 관계를 파악하는 것이 과제이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 7에서 틸트구동부의 구성 요소인 틸트 지지대, 틸트 샤프트, 틸트 조정 노브를 추출한다.
- 틸트 지지대;일단이 위치 조절부를 관통하여 상기 틸트 지지대에 지지되며, 회동축 양측에 이격배치되는 한 쌍의 틸트 샤프트; 상기 틸트 샤프트의 타단에 결합되며, 틸트 샤프트를 따라 이동하는 한 쌍의틸트 조정 노브
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3근거 선택
evidence_selection틸트 지지대, 한 쌍의 틸트 샤프트, 한 쌍의 틸트 조정 노브에 관한 구절을 선택한다.
- 틸트 지지대;일단이 위치 조절부를 관통하여 상기 틸트 지지대에 지지되며, 회동축 양측에 이격배치되는 한 쌍의 틸트 샤프트; 상기 틸트 샤프트의 타단에 결합되며, 틸트 샤프트를 따라 이동하는 한 쌍의틸트 조정 노브
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4논리 통합
logical_integration틸트 지지대는 위치 조절부와 회동축으로 결합되고, 틸트 샤프트는 지지대에 지지되어 회동축 양측에 이격 배치되며, 틸트 조정 노브는 샤프트의 타단에 결합되어 샤프트를 따라 이동하는 구조임을 통합한다.
- 위치 조절부와 회동축으로 결합된 틸트 지지대;일단이 위치 조절부를 관통하여 상기 틸트 지지대에 지지되며, 회동축 양측에 이격배치되는 한 쌍의 틸트 샤프트; 상기 틸트 샤프트의 타단에 결합되며, 틸트 샤프트를 따라 이동하는 한 쌍의틸트 조정 노브
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5결론 도출
conclusion_formulation틸트구동부는 틸트 지지대, 한 쌍의 틸트 샤프트, 한 쌍의 틸트 조정 노브로 구성되며, 이들은 상호 결합 및 이격 배치된 관계를 가진다.
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6답변 생성
answer_generation질문에 따라 구성 요소와 배치 관계를 리스트 형식으로 정리하여 답변을 생성한다.
최종 답변 (final_answer)
- 틸트 지지대: 위치 조절부와 회동축으로 결합되어 위치 조절부가 좌우회동되도록 함
- 한 쌍의 틸트 샤프트: 일단이 위치 조절부를 관통하여 틸트 지지대에 지지되며, 회동축 양측에 이격 배치됨
- 한 쌍의 틸트 조정 노브: 틸트 샤프트의 타단에 결합되어 틸트 샤프트를 따라 이동함
핵심 해석 (core_interpretation)
틸트구동부는 틸트 지지대, 한 쌍의 틸트 샤프트, 한 쌍의 틸트 조정 노브가 유기적으로 결합되어 위치 조절부의 수평각도를 조절하는 구조를 가진다.