ＴＦＴ 패널 검사 장비의 에어 플레이트를 이용한 반송시스템 document_id 1020100048138

[청구항 1] tft 패널 각각 단면에 연삭 가공을 수행하는 tft 패널 연삭부 상기 tft 패널의 상면을 패턴검사 카메라를 통해 촬영하여 tft 패널 패턴이미지를 생성하는 tft 패널 패턴측정부; 및 패턴db에 기 저장된 tft 패널 패턴 원본이미지를 색인하고, 상기 tft 패널 패턴측정부로부터 인가받은 tft 패널 패턴이미지 또는 촬영된 이미지의 곡선을 직선화한 이미지와 색인한 tft 패널 원본이미지를 중심좌표를 기준으로 중첩하여 상기 tft 패널 패턴이미지의 오차를 보정하며, 보정된 tft 패널 패턴이미지를 보정db에 저장하는 tft 패널 패턴보정부 를 포함하되, 상기 tft 패널 연삭부에 의해 연삭 가공된 tft 패널을 지지함과 동시에 tft 패널 패턴측정부 및 tft 패널 패턴보정부로 이송시 tft 패널을 에어를 이용하여 흡착 및 특정 방향으로 이송시키도록 배치되는 에어 플레이트로 구성된 tft 패널 이송부 로 이루어진 것을 특징으로 하는 tft 패널 검사 장비의 에어 플레이트를 이용한 반송시스템 [청구항 2] 제1항에 있어서,상기tft 패널 이송부는,기 설치된 가이드라인을 따라 구비된 에어 흡입을 통한 접촉식 에어 플레이트를 통해 tft 패널을 이송하는 것을 특징으로 하는 tft 패널 검사 장비의 에어 플레이트이용한반송시스템. [청구항 3] 제1항에 있어서,상기tft 패널 이송부는,tft 패널의 이동경로를 제공하는 에어 플레이트 스테이지와;상기 에어 플레이트 스테이지에서 왕복 이동할 수 있도록 설치되며, tft 패널을 탑재하여 에어에 의한 흡입으로 슬라이딩 이동되며, tft 패널을 지지하는 에어 플레이트와;상기 에어 플레이트 스테이지의 이송 경로 상에 설치되어 상기 tft 패널의 이송 중에 상기 tft 패널 이송 상태의 이상 발생 여부를 감지하는 감지센서; 및상기 감지센서로부터 전송되는 전기 신호에 따라 상기 tft 패널 이송 상태의 이상 발생 여부를 알려주는 경보장치;를 포함함을 특징으로 하는 tft 패널 검사 장비의 에어 플레이트이용한반송시스템. [청구항 4] 제1항에 있어서,상기 에어 플레이트는,에어 플레이트 스테이지 상의 tft 패널을 에어에 의해 흡입과 반송시키는 에어 플레이트를 통한 전후 이동 및 일 방향으로 회전하는 방향전환이 가능한 것을 더 포함함을 특징으로 하는 tft 패널 검사 장비의 에어 플레이트이용한반송시스템. [청구항 5] 제3항에 있어서,상기 에어 플레이트는,'+' 형태를 이루면서 상면으로 에어를 흡입하는 다수의 에어 흡입구을 형성하여 에어 플레이트 스테이지 상에서 전후 이동을 하면서 90도 회전 가능한 것을 포함함을 특징으로 하는 tft 패널 검사 장비의 에어 플레이트이용한반송시스템. [청구항 6] 제1항에 있어서,상기tft 패널 이송부는,tft 패널의 상면 촬영과 에지면 촬영을 위한 폭 조정이 가능한 에지면 촬영카메라에 의해 촬영하여 tft 패널 패턴이미지를 생성하는데 흔들림을 현저하게 줄여 tft 패널을 정밀하게 반송할 수 있는 것을 특징으로 하는 tft 패널 검사 장비의 에어 플레이트이용한반송시스템. [청구항 7] 제1항 또는 제3항에 있어서,상기tft 패널의 에지의 영상을 획득하기 위해 tft 패널을 흡입시킨 에어 플레이트는 직진하여 상면을 촬영하는 패턴검사 카메라와 tft 패널 폭에 맞추어 장면에지을 촬용하도록 하는 에지면 검사카메라를 통과 후, 후진하여 원위치한 스테이지에서 에어 플레이트에 의해 tft 패널을 90도 회전시킴과 동시에 tft 패널의 단면에지 폭에 맞추어 에지면 검사카메라의 폭을 조정되어 tft 패널의 4면 에지 촬영 후 에지면의 영상을 획득하는 것을 포함함을 특징으로 하는 tft 패널 검사 장비의 에어 플레이트이용한반송시스템. [청구항 8] 제1항상기tft 패널 이송부는,에어 플레이트의 90도 회전에 의해 tft 패널의 크기 가변에 따라 대응되도록 회전 전환되는 구조를 가져 tft 패널을 안착하는 것을 특징으로 하는 것을 포함함을 tft 패널 검사 장비의 에어 플레이트이용한반송시스템.