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플라즈마 세정 장치 document_id 1020100050664

출원번호
1020100050664
분류
전기(H섹션)
문맥 (context)
[청구항 1] 대기압 하에서 플라즈마를 이용하여 웨이퍼를 세정하는 플라즈마 세정 장치로서, 챔버와, 상기 챔버 내에 설치되어 상기 웨이퍼가 안착되는 적재판과, 상기 적재판의 상부에 설치되어 플라즈마를 발생시키는 플라즈마 발생 장치와, 상기 플라즈마 발생 장치에 가스를 공급하는 가스 공급 장치 및 상기 각 구성의 동작을 제어하는 제어 장치를 포함하여 구성되는 플라즈마 세정 장치에 있어서, 상기 플라즈마 발생 장치는 수직이동수단과 수평이동수단에 의해 상하좌우로 움직여 상기 웨이퍼의 가장자리까지 균일하게 세정하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 세정 장치 [청구항 2] 제 1 항에 있어서,상기 수평이동수단은,상기 플라즈마 발생 장치의 하부에 소정의 간격을 가지고 설치되며, 중앙에는 상기 적재판의 관통을 위한 관통공이 형성되는 상부 받침 플레이트와;상기 상부 받침 플레이트의 하부에 소정의 간격을 가지고 설치되는 하부 받침 플레이트와;상기 하부 받침 플레이트의 상면에 좌우 방향으로 설치되는 제1 lm 가이드 레일과;상기 제1 lm 가이드 레일에 결합되는 동시에 상기 상부 받침 플레이트의 하면에 고정되는 제1 lm 가이드 블록과;상기 제1 lm 가이드 블록과 나사 결합되어 상기 하부 받침 플레이트에 설치되는 제1 볼 스크류; 및상기 제1 볼 스크류의 일단부에 결합되는 제1 모터;로 구성되어,상기 제1 모터의 작동에 의해 상기 제1 볼 스크류가 회전하고, 이에 따라 상기 제1 lm 가이드 블록이 상기 제1 lm 가이드 레일을 따라 좌우 방향으로 슬라이딩됨으로써상기플라즈마 발생장치를수평이동시키는것을특징으로 하는플라즈마 세정 장치. [청구항 3] 제 2 항에 있어서,상기 수직이동수단은,상기 하부 받침 플레이트의 하부에 소정의 간격을 가지고 설치되는 베이스 플레이트와;상기 베이스 플레이트의 상면에 좌우 방향으로 설치되는 제2 lm 가이드 레일과;상기 제2 lm 가이드 레일에 결합되되, 상부에는 경사면이 형성되는 제2 lm 가이드 블록과;상기 제2 lm 가이드 블록의 상기 경사면에 설치되는 제3 lm 가이드 레일과;상기 제3 lm 가이드 레일에 결합되는 동시에 상기 하부 받침 플레이트의 하면에 고정되는 제3 lm 가이드 블록과;상기 제2 lm 가이드 블록과 나사 결합되어 상기 베이스 플레이트에 설치되는 제2 볼 스크류; 및상기 제2 볼 스크류의 일단부에 결합되는 제2 모터;로 구성되어,상기 제2 모터의 작동에 의해 상기 제2 볼 스크류가 회전하여 상기 제2 lm 가이드 블록을 상기 제2 lm 가이드 레일을 따라 좌우 방향으로 슬라이딩시키고, 이에 따라 상기 제3 lm 가이드 블록이 상기 제3 lm 가이드 레일을 따라 상승 또는 하강함으로써상기플라즈마 발생장치를수직이동시키는것을특징으로 하는플라즈마 세정 장치. [청구항 4] 제 1 항에 있어서,상기 수평이동수단과 상기 수직이동수단은 상기 플라즈마 발생 장치의 이동 거리를 감지하여 신호로 변환한 후 상기 제어부에 송신하는 적어도 하나 이상의 센서를 더 포함하여구성되는것을특징으로 하는플라즈마 세정 장치. [청구항 5] 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,상기 제1 모터와 상기 제2 모터는서보모터인것을특징으로 하는플라즈마 세정 장치. [청구항 6] 제 2 항에 있어서,상기 수평이동수단은,상기 하부 받침 플레이트에 상기 수평이동수단과 나란하게 설치되어 상기 상부 받침 플레이트를 지지하는 보조 슬라이딩 장치를 더 포함하여구성되는것을특징으로 하는플라즈마 세정 장치. [청구항 7] 제 3 항에 있어서,상기 수직 이동 수단은 2개가 마련되되, 상기 제2 볼 스크류의 타단부에 각각 설치되는 풀리가 팬벨트에 의해서로결합되는것을특징으로 하는플라즈마 세정 장치. [청구항 8] 제 1 항에 있어서,상기 적재판은 하부에 설치된 모터에 의해회전하는것을특징으로 하는플라즈마 세정 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
플라즈마 세정 장치에서 플라즈마 발생 장치를 수직으로 이동시키기 위해 제2 모터의 작동이 어떠한 물리적 메커니즘을 거쳐 최종적으로 수행되는지 그 과정을 설명하시오.
추론 과정 (compact_reasoning)
  1. 1과제 해석task_interpretation

    제2 모터의 작동이 플라즈마 발생 장치의 수직 이동으로 이어지는 물리적 메커니즘의 단계를 파악해야 한다.

  2. 2정보 추출information_extraction

    청구항 3에서 제2 모터, 제2 볼 스크류, 제2 lm 가이드 블록, 제2 lm 가이드 레일, 제3 lm 가이드 블록, 제3 lm 가이드 레일 간의 관계를 추출한다.

    • 상기 제2 모터의 작동에 의해 상기 제2 볼 스크류가 회전하여 상기 제2 lm 가이드 블록을 상기 제2 lm 가이드 레일을 따라 좌우 방향으로 슬라이딩시키고, 이에 따라 상기 제3 lm 가이드 블록이 상기 제3 lm 가이드 레일을 따라 상승 또는 하강함으로써상기플라즈마 발생장치를수직이동시키는것
  3. 3근거 선택evidence_selection

    제2 모터의 회전이 볼 스크류를 통해 가이드 블록의 슬라이딩을 유도하고, 이것이 다시 제3 가이드 블록의 상하 이동으로 연결되는 구절을 선택한다.

    • 상기 제2 모터의 작동에 의해 상기 제2 볼 스크류가 회전하여 상기 제2 lm 가이드 블록을 상기 제2 lm 가이드 레일을 따라 좌우 방향으로 슬라이딩시키고, 이에 따라 상기 제3 lm 가이드 블록이 상기 제3 lm 가이드 레일을 따라 상승 또는 하강함으로써상기플라즈마 발생장치를수직이동시키는것
  4. 4논리 통합logical_integration

    제2 모터 회전 -> 제2 볼 스크류 회전 -> 제2 lm 가이드 블록의 좌우 슬라이딩 -> 제3 lm 가이드 블록의 상하 이동(상승/하강) -> 플라즈마 발생 장치의 수직 이동 순으로 논리를 통합한다.

  5. 5결론 도출conclusion_formulation

    추출된 물리적 메커니즘을 바탕으로 질문에 대한 절차적 답변을 구성한다.

  6. 6답변 생성answer_generation

    최종적인 물리적 메커니즘 과정을 설명하는 문장을 생성한다.

최종 답변 (final_answer)
제2 모터가 작동하면 제2 볼 스크류가 회전하게 되며, 이 회전에 의해 제2 lm 가이드 블록이 제2 lm 가이드 레일을 따라 좌우 방향으로 슬라이딩된다. 이때 제2 lm 가이드 블록의 경사면과 결합된 제3 lm 가이드 블록이 제3 lm 가이드 레일을 따라 상승 또는 하강하게 됨으로써, 최종적으로 플라즈마 발생 장치가 수직으로 이동한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
제2 모터의 회전 운동을 볼 스크류와 가이드 블록 간의 경사면 상호작용을 통해 제3 가이드 블록의 수직 운동으로 변환하여 플라즈마 발생 장치를 상하로 이동시키는 메커니즘을 포함한다.