문맥 (context)
[청구항 1]
주 면을 구비한 반도체 재료를 갖는 기판
상기 주 면에 형성된 트랜지스터; 및
상기 트랜지스터 상에 위치한 금속층내에 형성된 자기 캐패시터 를 포함하는 dram셀로서, 상기 자기 캐패시터는,
제 1 자기층,
상기 제 1 자기층의 표면상에 형성된 유전체층, 및
상기 유전체층의 표면상에 형성된 제 2 자기층을 포함하고, 상기 유전체층은 비도전성 물질이고 상기 제 1 자기층 및 상기 제 2 자기층은 conife의 합금으로 형성되는 것을 특징으로 하는 dram셀
[청구항 2]
제 1 항에 있어서,상기 트랜지스트는,소스 영역,드레인 영역, 및상기 소스 영역과 상기 드레인 영역 사이에 위치하고 박형의 제어 유전체에의해 상기 기판으로부터 분리된제어게이트포함하는것을특징으로 하는dram셀.
[청구항 3]
제 1 항에 있어서,상기 제 1 자기층의 쌍극자의 방향nan은상기제2자기층의쌍극자의방향반대인것을특징으로 하는dram셀.
[청구항 4]
제 1 항에 있어서,상기 제 1 자기층 및 상기 제 2 자기층간의 거리는 100옹스트롬 보다 큰 것특징으로 하는dram셀.
[청구항 5]
제 1 항에 있어서,상기 제 1 자기층 및 상기 제 2 자기층은 gmc (giant magnetic capacitance)효과발생시키는것을특징으로 하는dram셀.
[청구항 6]
제 1 항에 있어서,상기 제 1 자기층nan은복수의박막증착층구성되는것을특징으로 하는dram셀.
[청구항 7]
제 6 항에 있어서,각각의 상기 박막 증착층은 대략 1nm두께갖는것을특징으로 하는dram셀.
[청구항 8]
제 1 항에 있어서,상기 제 2 자기층nan은복수의박막증착층구성되는것을특징으로 하는dram셀.
[청구항 9]
제 8 항에 있어서,각각의 상기 박막 증착층은 대략 1mm두께갖는것을특징으로 하는dram셀.
[청구항 10]
제 1 항에 있어서,상기dram셀은, 상기 dram셀의 배선 접속을 위해, 상기 트랜지스터와 상기 자기 캐패시터간에라우팅영역더포함하는것을특징으로 하는dram셀.
[청구항 11]
주 면을 구비한 반도체 재료를 갖는 기판
상기 주 면에 형성된 트랜지스터; 및
상기 트랜지스터상에 복수의 층으로 형성된 자기 캐패시터 를 포함하는 dram셀로서, 상기 자기 캐패시터는,
복수의 자기층, 및
복수의 유전체층을 포함하고, 상기 복수의 유전체층은 상기 복수의 자기층사이에 형성되고, 상기 유전체층은 비도전성 물질이고 상기 자기층은 conife의 합금으로 형성되는 것을 특징으로 하는 dram셀
[청구항 12]
제 11 항에 있어서,상기 트랜지스트는,소스 영역,드레인 영역, 및상기 소스 영역과 상기 드레인 영역 사이에 위치하고 박형의 제어 유전체에의해 상기 기판으로부터 분리된제어게이트포함하는것을특징으로 하는dram셀.
[청구항 13]
제 11 항에 있어서,상기 자기층의 각각nan은복수의박막증착층구성되는것을특징으로 하는dram셀.
[청구항 14]
제 13 항에 있어서,각각의 상기 박막 증착층은 대략 1nm의두께갖는것을특징으로 하는dram셀.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
청구항 1에 따른 DRAM 셀의 자기 캐패시터 구성 요소 중, 비도전성 물질로 형성되며 제 1 자기층과 제 2 자기층 사이에 위치하는 층은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation청구항 1을 바탕으로 자기 캐패시터 구성 요소 중 비도전성 물질이며 제 1 자기층과 제 2 자기층 사이에 위치하는 층을 찾는다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 1에서 자기 캐패시터의 구성 요소인 제 1 자기층, 유전체층, 제 2 자기층의 적층 구조와 유전체층의 성질을 추출한다.
- 제 1 자기층, 상기 제 1 자기층의 표면상에 형성된 유전체층, 및 상기 유전체층의 표면상에 형성된 제 2 자기층을 포함하고, 상기 유전체층은 비도전성 물질
-
3근거 선택
evidence_selection제 1 자기층과 제 2 자기층 사이에 위치하며 비도전성 물질이라고 명시된 '유전체층' 구절을 선택한다.
- 상기 제 1 자기층의 표면상에 형성된 유전체층, 및 상기 유전체층의 표면상에 형성된 제 2 자기층을 포함하고, 상기 유전체층은 비도전성 물질
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4논리 통합
logical_integration유전체층은 제 1 자기층 위에 있고 그 위에 제 2 자기층이 있으므로 두 자기층 사이에 위치하며, 성질 또한 비도전성 물질임이 확인된다.
- 상기 제 1 자기층의 표면상에 형성된 유전체층, 및 상기 유전체층의 표면상에 형성된 제 2 자기층을 포함하고, 상기 유전체층은 비도전성 물질
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에서 요구하는 조건(비도전성, 두 자기층 사이 위치)을 모두 만족하는 요소는 유전체층이다.
- 상기 유전체층은 비도전성 물질
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6답변 생성
answer_generation추출된 정답인 '유전체층'을 답변으로 생성한다.
- 유전체층
최종 답변 (final_answer)
유전체층
핵심 해석 (core_interpretation)
DRAM 셀의 자기 캐패시터는 비도전성 유전체층을 사이에 두고 제 1 자기층과 제 2 자기층이 적층된 구조를 가진다.