문맥 (context)
[청구항 3]
제 1항에 있어서,상기 탑재 전극은, 상기 바깥쪽 전극의 주위에 배치된포커스링가지는것을특징으로 하는플라즈마처리장치.
[청구항 4]
제 1항에 있어서,상기 처리가스 공급계는, 혼합된 복수의 상기 처리가스를 제 1 가스 공급라인과 제 2 가스 공급라인으로 나누는 가스 분배기와,상기 제 1 가스 공급라인에 접속되고, 상기 처리실의 중앙영역에 배치된 안쪽 가스 분산영역과,상기 제 2 가스 공급라인에 접속되고, 상기 처리실의 주변영역에 배치된바깥쪽가스분산영역가지는것을특징으로 하는플라즈마처리장치.
[청구항 5]
제 1항에 있어서,상기 탑재 전극의 상기 안쪽 전극과 상기 바깥쪽 전극은,각각이온에너지분포함수측정용센서구비하는것을특징으로 하는플라즈마처리장치.
[청구항 6]
제 4항에 있어서,상기 플라즈마의 생성효율을 높이는 자장 생성수단과, 상기 탑재 전극의 상기 안쪽 전극과 상기 바깥쪽 전극에 각각 설치되어이온에너지분포함수측정용센서더가지는것을특징으로 하는플라즈마처리장치.
[청구항 7]
제 2항에 있어서,상기 탑재 전극은, 상기 바깥쪽 전극의 주위에 배치된포커스링가지는것을특징으로 하는플라즈마처리장치.
[청구항 8]
제 2항에 있어서,상기 처리가스 공급계는, 혼합된 복수의 상기 처리가스를 제 1 가스 공급라인과 제 2 가스 공급라인으로 나누는 가스 분배기와, 상기 제 1 가스 공급라인에 접속되고, 상기 처리실의 중앙영역에 배치된 안쪽 가스 분산영역과, 상기 제 2 가스 공급라인에 접속되고, 상기 처리실의 주변영역에 배치된바깥쪽가스분산영역가지는것을특징으로 하는플라즈마처리장치.
[청구항 9]
제 2항에 있어서,상기 탑재 전극은,이온 에너지 분포함수측정용센서구비하는것을특징으로 하는플라즈마처리장치.
[청구항 10]
제 8항에 있어서,상기 플라즈마의 생성효율을 높이는 자장 생성수단과, 상기 탑재 전극에 설치되어이온에너지분포함수측정용센서더가지는것을특징으로 하는플라즈마처리장치.
[청구항 11]
제 2항에 있어서,상기 탑재 전극은, 바이어스 인가부분을 상기 피처리체의 중심 부근과 바깥 둘레 부근에서 2개로 전기적으로 분할된안쪽전극과바깥쪽전극가지는것을특징으로 하는플라즈마처리장치.
지시문 (instruction)
주어진 특허 청구항을 읽고 발명의 구성요소와 구성을 파악하여 질문에 답하라. 문맥에 제시된 표현을 중심으로 답하라.
질문 (question)
플라즈마처리장치의 처리가스 공급계는 가스 분배기를 통해 나누어진 제 1 가스 공급라인과 제 2 가스 공급라인이 각각 처리실의 어느 영역에 배치된 가스 분산영역에 접속되는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation제 1 가스 공급라인과 제 2 가스 공급라인이 각각 처리실의 어느 가스 분산영역에 접속되는지 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 4(및 8)에서 가스 공급계의 구성 요소인 가스 분배기, 제 1 가스 공급라인, 제 2 가스 공급라인, 안쪽 가스 분산영역, 바깥쪽 가스 분산영역에 관한 정보를 추출한다.
- 상기 제 1 가스 공급라인에 접속되고, 상기 처리실의 중앙영역에 배치된 안쪽 가스 분산영역과,상기 제 2 가스 공급라인에 접속되고, 상기 처리실의 주변영역에 배치된바깥쪽가스분산영역
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3근거 선택
evidence_selection제 1 가스 공급라인과 안쪽 가스 분산영역의 관계, 제 2 가스 공급라인과 바깥쪽 가스 분산영역의 관계를 명시한 구절을 선택한다.
- 상기 제 1 가스 공급라인에 접속되고, 상기 처리실의 중앙영역에 배치된 안쪽 가스 분산영역과, 상기 제 2 가스 공급라인에 접속되고, 상기 처리실의 주변영역에 배치된 바깥쪽 가스 분산영역
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4논리 통합
logical_integration제 1 가스 공급라인은 중앙영역의 안쪽 가스 분산영역에 접속되고, 제 2 가스 공급라인은 주변영역의 바깥쪽 가스 분산영역에 접속됨을 연결한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에 대한 직접적인 답변을 구성한다. 제 1 가스 공급라인은 안쪽 가스 분산영역에, 제 2 가스 공급라인은 바깥쪽 가스 분산영역에 접속된다.
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6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 최종 답변을 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
제 1 가스 공급라인은 처리실의 중앙영역에 배치된 안쪽 가스 분산영역에 접속되고, 제 2 가스 공급라인은 처리실의 주변영역에 배치된 바깥쪽 가스 분산영역에 접속된다.
핵심 해석 (core_interpretation)
플라즈마처리장치의 처리가스 공급계가 가스 분배기를 통해 두 개의 라인으로 나뉘어, 처리실의 중앙(안쪽)과 주변(바깥쪽) 영역에 각각 가스를 분산 공급하는 구조를 나타낸다.