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게이트 밸브 및 그것을 이용한 기판 처리 시스템 document_id 1020100074976

출원번호
1020100074976
분류
전기(H섹션)
문맥 (context)
[청구항 2] 제 1 항에 있어서,상기 밸브체를 유지하고, 상기 밸브체와, 상기 메인 슬라이더와의 사이에 배치되고, 상기 개구부의 개구면에 대해 평행한 방향으로 슬라이드하는 서브 슬라이더를 더 구비하고, 상기 서브 슬라이더는 상기 밸브체를 유지하는 동시에, 상기 밸브체의 가압방향 및 상기 밸브체의 이탈방향을 상기 개구부의 개구면에 대해 수직인 방향으로 규정하는유지가이드기구구비하는것을특징으로 하는게이트 밸브. [청구항 3] 제 2 항에 있어서,상기 서브 슬라이더의 슬라이드를 정지시키는 멈춤부를 더 구비하고, 상기 서브 슬라이더의 슬라이드가 상기 멈춤부에 의해 정지된 후, 상기 메인 슬라이더가 더욱 슬라이드하여, 상기 가압 기구의 상기 돌기부가 상기 밸브체를 가압하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는청구항기재된게이트 밸브. [청구항 4] 제 2 항에 있어서,상기 밸브체를 상기 개구부의 주위로부터 이탈시키는 이탈 기구를 더 구비하고, 상기 이탈 기구가 신축 가능한 신축체를 갖고, 상기 신축체가, 상기 밸브체가 상기 개구부의 주위에 가압되어 있을 때에 축퇴하고, 상기 밸브체를 상기 개구부의 주위로부터 이탈시킬 때에 신장해서상기밸브체를상기개구부의주위이탈시키는것을특징으로 하는게이트 밸브. [청구항 5] 제 4 항에 있어서,상기 이탈 기구는 상기 서브 슬라이더에 마련되고, 상기 유지 가이드 기구는 상기 서브 슬라이드를 통해서 연장하는 샤프트를 구비하고,상기 이탈 기구의 신축체가, 상기 서브 슬라이더의 상기 메인 슬라이더와 대향하는 상대면과, 상기 샤프트의 선단부에 마련된 플랜지부의 사이에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는청구항기재된게이트 밸브. [청구항 6] 제 5 항에 있어서,상기 플랜지부가, 상기 밸브체가 상기 개구부의 주위에 가압되었을 때에 상기 신축체를 압축하고, 상기 밸브체를 상기 개구부의 주위로부터 이탈시킬 때에 상기 압축된 신축체로부터 신장력을 받아서, 상기 밸브체를 상기 개구부의 주위로부터 이탈시키도록구성되어있는것을특징으로 하는게이트 밸브. [청구항 7] 제 3 항 내지 제 6 항 중의 어느 한 항에 있어서,슬라이더가 상기 서브 슬라이더를 거는 걸기부를 갖고, 상기 메인 슬라이더가 슬라이드되었을 때, 상기 걸기부가, 상기 멈춤부에 의해 정지되어 있던 상기 서브 슬라이더를 걸어,상기서브 슬라이더및상기밸브체슬라이드시키는것을특징으로 하는게이트 밸브. [청구항 8] 제 1 항 내지 제 6 항 중의 어느 한 항에 있어서,상기 밸브체의 상기 가압 기구에 의해 가압되는 가압부가 상기 개구부의 내측에대응배치되어있는것을특징으로 하는게이트 밸브. [청구항 9] 제 8 항에 있어서,상기 가압부가 상기 개구부의 중앙 부분에대응배치되어있는것을특징으로 하는게이트 밸브. [청구항 10] 제 1 항 내지 제 6 항 중의 어느 한 항에 있어서,슬라이더의 상기 밸브체와 마주하는 측의반대측에 상기 메인 슬라이더의 탄성 변형량을 규제하는규제부가마련되어있는것을특징으로 하는게이트 밸브.
지시문 (instruction)
본문의 내용을 파악하고 이를 바탕으로 질문에 답하라.
질문 (question)
게이트 밸브에서 서브 슬라이더의 슬라이드가 멈춤부에 의해 정지된 이후, 메인 슬라이더의 동작에 의해 밸브체가 가압되는 과정과 그 구성 요소 간의 관계는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
  1. 1과제 해석task_interpretation

    서브 슬라이더가 멈춤부에 의해 정지된 이후, 메인 슬라이더의 동작이 밸브체를 가압하는 과정과 구성 요소 간의 관계를 설명해야 한다.

  2. 2정보 추출information_extraction

    서브 슬라이더가 멈춤부에 의해 정지된 후, 메인 슬라이더가 더욱 슬라이드하며 가압 기구의 돌기부가 밸브체를 가압한다는 정보를 추출한다.

    • 상기 서브 슬라이더의 슬라이드가 상기 멈춤부에 의해 정지된 후, 상기 메인 슬라이더가 더욱 슬라이드하여, 상기 가압 기구의 상기 돌기부가 상기 밸브체를 가압하도록 구성
  3. 3근거 선택evidence_selection

    메인 슬라이더의 추가 슬라이드 동작과 가압 기구의 돌기부가 밸브체를 가압한다는 핵심 구절을 선택한다.

    • 상기 서브 슬라이더의 슬라이드가 상기 멈춤부에 의해 정지된 후, 상기 메인 슬라이더가 더욱 슬라이드하여, 상기 가압 기구의 상기 돌기부가 상기 밸브체를 가압하도록 구성
  4. 4논리 통합logical_integration

    서브 슬라이더가 멈춤부에 의해 위치가 고정되면, 메인 슬라이더의 추가적인 이동 에너지가 가압 기구(돌기부)를 통해 밸브체로 전달되어 가압이 이루어지는 인과 관계를 도출한다.

  5. 5결론 도출conclusion_formulation

    서브 슬라이더의 정지 이후 메인 슬라이더의 추가 슬라이드 동작이 가압 기구의 돌기부를 통해 밸브체를 가압한다는 결론을 도출한다.

    • 상기 서브 슬라이더의 슬라이드가 상기 멈춤부에 의해 정지된 후, 상기 메인 슬라이더가 더욱 슬라이드하여, 상기 가압 기구의 상기 돌기부가 상기 밸브체를 가압하도록 구성
  6. 6답변 생성answer_generation

    추출된 정보를 바탕으로 질문에 대한 절차적 답변을 작성한다.

    • 상기 서브 슬라이더의 슬라이드가 상기 멈춤부에 의해 정지된 후, 상기 메인 슬라이더가 더욱 슬라이드하여, 상기 가압 기구의 상기 돌기부가 상기 밸브체를 가압하도록 구성
최종 답변 (final_answer)
서브 슬라이더의 슬라이드가 멈춤부에 의해 정지된 이후, 메인 슬라이더가 더욱 슬라이드한다. 이 과정에서 메인 슬라이더의 동작에 의해 가압 기구의 돌기부가 밸브체를 가압한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
서브 슬라이더를 멈춤부로 정지시킨 후 메인 슬라이더의 추가 이동을 통해 가압 기구의 돌기부가 밸브체를 가압하도록 하는 단계적 가압 메커니즘을 나타낸다.