문맥 (context)
[청구항 2]
내부에 캐소드냉각홀이 형성되고, 하단이 평평하게 형성되는 캐소드 전극체와,
상기 캐소드 전극체의 상부를 감싸되, 상기 캐소드냉각홀과 연결되어 냉각수가 유통되는 유로가 형성된 상부 커버와,
상기 상부 커버의 하부에 배치되되, 내부에는 상기 유로로 유입된 냉각수가 유동하는 냉각홀이 형성되며, 하부에는 냉각수를 외부로 배출하는 배출구가 구비된 몸체와,
상기 몸체의 중앙에는 상기 냉각홀이 밀폐되도록 결합되고, 상기 캐소드 전극체의 하단에서 형성되는 플라즈마의 와류를 생성하는 와류생성부를 구비하는 원통형 애노드 전극체를 포함하는 화학기상증착 공정의 폐가스 처리를 위한 플라즈마 토치
[청구항 3]
청구항 2에 있어서,상기 캐소드 전극체의 상단의 단면적과 상기 하단의 단면적이 상이하게 형성되는 화학기상증착 공정의 폐가스 처리위한플라즈마 토치.
[청구항 4]
청구항 3에 있어서,상기 하단의 단면적은 상기 상단의 단면적보다 크게 형성되는 화학기상증착 공정의 폐가스 처리위한플라즈마 토치.
[청구항 5]
청구항 2에 있어서,상기 캐소드 전극체 하단은 상기 캐소드 전극체의 원주방향으로 확장되도록 형성되는 화학기상증착 공정의 폐가스 처리위한플라즈마 토치.
[청구항 6]
청구항 2에 있어서,상기 캐소드 전극체의 하단은 중앙부분이 인입되도록 형성되는 화학기상증착 공정의 폐가스 처리위한플라즈마 토치.
[청구항 7]
청구항 2에 있어서,상기 상부 커버와 상기 몸체 사이에 배치되어 상기 상부 커버 및 상기 몸체에 체결되는 제 1 인슐레이션부를 더 포함하는 화학기상증착 공정의 폐가스 처리위한플라즈마 토치.
[청구항 8]
청구항 7에 있어서,상기 제 1 인슐레이션부는 상기 캐소드 전극체의 측면으로 워킹가스를 유입시키는 워킹가스유입구를 구비하는 화학기상증착 공정의 폐가스 처리위한플라즈마 토치.
[청구항 9]
청구항 8에 있어서,상기 워킹가스유입구는 복수개로 형성되고,상기 복수개의 워킹가스유입구는 서로 반대방향으로 상기 워킹가스를 분사하는 화학기상증착 공정의 폐가스 처리위한플라즈마 토치.
[청구항 10]
청구항 8에 있어서,상기 제 1 인슐레이션부는 원형으로 형성되고,상기 워킹가스유입구는 상기 제 1 인슐레이션부의 원주의 접선방향 또는 나선형으로 형성되는 화학기상증착 공정의 폐가스 처리위한플라즈마 토치.
[청구항 11]
청구항 2에 있어서,상기 상부 커버는 알루미늄으로 형성되는 화학기상증착 공정의 폐가스 처리위한플라즈마 토치.
[청구항 14]
청구항 2에 있어서,상기 애노드 전극체에 배치되는 자성체를 더 포함하는 화학기상증착 공정의 폐가스 처리위한플라즈마 토치.
[청구항 15]
청구항 2에 있어서,상기 애노드 전극체의 외면은 평평하게 형성되는 화학기상증착 공정의 폐가스 처리위한플라즈마 토치.
[청구항 16]
청구항 2에 있어서,상기 애노드 전극체의 내면에 배치되는 마모방지링을 더 포함하는 화학기상증착 공정의 폐가스 처리위한플라즈마 토치.
[청구항 17]
청구항 16에 있어서,상기 마모방지링은 텅스텐으로 형성되는 화학기상증착 공정의 폐가스 처리위한플라즈마 토치.
[청구항 18]
청구항 2에 있어서,상기 캐소드 전극체의 하단을 감싸는 상기 애노드 전극체의 내면은 평평하게 형성되는 화학기상증착공정의 폐가스 처리위한플라즈마 토치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
플라즈마 토치의 구성 요소 중, 상부 커버의 유로를 통해 유입된 냉각수가 유동하는 공간을 포함하며 냉각수를 외부로 배출하는 기능을 수행하는 구성은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation상부 커버의 유로를 통해 유입된 냉각수가 유동하는 공간을 포함하고, 냉각수를 외부로 배출하는 기능을 가진 구성 요소를 찾는 것이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 2에서 상부 커버의 하부에 배치되며, 내부에 냉각수가 유동하는 냉각홀이 형성되고 하부에 배출구가 구비된 구성을 확인한다.
- 상기 상부 커버의 하부에 배치되되, 내부에는 상기 유로로 유입된 냉각수가 유동하는 냉각홀이 형성되며, 하부에는 냉각수를 외부로 배출하는 배출구가 구비된 몸체
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3근거 선택
evidence_selection질문에서 요구하는 '냉각수가 유동하는 공간(냉각홀)'과 '냉각수를 외부로 배출하는 기능(배출구)'을 모두 갖춘 '몸체' 구절을 선택한다.
- 상기 상부 커버의 하부에 배치되되, 내부에는 상기 유로로 유입된 냉각수가 유동하는 냉각홀이 형성되며, 하부에는 냉각수를 외부로 배출하는 배출구가 구비된 몸체
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4논리 통합
logical_integration상부 커버의 유로와 연결된 냉각홀을 통해 냉각수가 흐르고, 몸체의 하부 배출구를 통해 냉각수가 배출되므로 '몸체'가 정답에 부합한다.
- 상기 상부 커버의 하부에 배치되되, 내부에는 상기 유로로 유입된 냉각수가 유동하는 냉각홀이 형성되며, 하부에는 냉각수를 외부로 배출하는 배출구가 구비된 몸체
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에서 설명하는 기능을 수행하는 구성 요소는 '몸체'임을 도출한다.
- 상기 상부 커버의 하부에 배치되되, 내부에는 상기 유로로 유입된 냉각수가 유동하는 냉각홀이 형성되며, 하부에는 냉각수를 외부로 배출하는 배출구가 구비된 몸체
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6답변 생성
answer_generation추출된 핵심 단어인 '몸체'를 최종 답변으로 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
몸체
핵심 해석 (core_interpretation)
플라즈마 토치의 냉각 시스템에서 상부 커버의 유로와 연결되어 냉각수의 유동 공간(냉각홀)을 제공하고, 배출구를 통해 냉각수를 외부로 배출하는 몸체의 구조적 기능을 정의하고 있다.