기판 건조 장치 및 이를 이용한 기판 건조 방법 document_id 1020100096349

[청구항 1] 제1 높이로 형성된 제1 차단벽으로 둘러싸인 하우징과, 상기 하우징 내부에 기판을 회전시킬 수 있도록 설치되는 회전지지부와, 상기 기판으로 유체를 제공하도록 상기 회전지지부의 상부에 위치하는 노즐부와, 상기 노즐부로 상기 기판을 세척하기 위한 세척액을 제공하는 세척액공급부와, 상기 노즐부로 상기 기판을 건조시키기 위한 건조액을 제공하는 건조액공급부를 포함하는 기판 건조 장치 [청구항 2] 제1 높이로 형성된 제1 차단벽으로 둘러싸인 하우징과, 상기 하우징 내부에 기판을 회전시킬 수 있도록 설치되고, 상기 기판 상에 형성된 패턴이 하부를 향하고 배면이 상부를 향하도록 상기 기판을 지지하는 회전지지부와, 상기 기판으로 유체를 제공하도록 상기 회전지지부의 하부에 위치하는 노즐부와, 상기 노즐부로 상기 기판을 세척하기 위한 세척액을 제공하는 세척액공급부와, 상기 노즐부로 상기 기판을 건조시키기 위한 건조액을 제공하는 건조액공급부를 포함하는 기판 건조 장치 [청구항 4] 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 세척액의 온도는 50℃이상인기판 건조 장치. [청구항 5] 제4항에 있어서,상기 세척액공급부는 세척액을 가열하는 제1 유체가열부포함하는기판 건조 장치. [청구항 6] 제5항에 있어서,상기 세척액공급부는 상기 노즐부에 인접하게 설치되어 세척액의 온도를 감지하여, 50℃ 이하인 경우 세척액을 제1 유체가열부로 회송하는 제1 분배부더 포함하는기판 건조 장치. [청구항 7] 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 건조액은 이소프로필알콜인기판 건조 장치. [청구항 8] 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 건조액의 온도는 50℃ 내지인기판 건조 장치. [청구항 9] 제8항에 있어서,상기 건조액공급부는 건조액을 가열하는 제2 유체가열부포함하는기판 건조 장치. [청구항 10] 제9항에 있어서,상기 제2 유체가열부는 고온수에 의해 건조액을 간접가열시키는기판 건조 장치. [청구항 11] 제10항에 있어서,상기 건조액공급부는 상기 노즐부에 인접하게 설치되어 건조액의 온도를 감지하여, 50℃ 이하인 경우 건조액을 제2 유체가열부로 회송하는 제2 분배부더 포함하는기판 건조 장치. [청구항 12] 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 하우징은 상기 제1 차단벽 내측 영역에 상기 제1 높이와 다른 제2 높이로 형성된 제2 차단벽을 더 포함하고, 상기 제1 차단벽과 제2 차단벽 사이의 하우징 바닥면에는 제1 배출구형성되는기판 건조 장치. [청구항 14] 제12항에 있어서,상기 회전지지부는 높이가 조절가능한기판 건조 장치. [청구항 15] 제12항에 있어서,상기제1 및 제2 차단벽은 높이가 조절가능한기판 건조 장치. [청구항 16] 제12항에 있어서,상기 제1 배출구와 연결되어, 상기 제1 배출구로 배출된 건조액을 수거하여 재순환시키는 재생순환부더 포함하는기판 건조 장치. [청구항 17] 제16항에 있어서,상기 재생순환부는 건조액을 걸러내는 필터포함하는기판 건조 장치. [청구항 18] 제17항에 있어서,상기 필터는 제올라이트 분리막포함하는기판 건조 장치. [청구항 19] 제12항에 있어서,상기 제2 차단벽으로 둘러싸인 내부 공간의 하우징 바닥면에는 제2 배출구형성되는기판 건조 장치. [청구항 20] 제16항에 있어서,상기 제2 배출구는 건조액에 의해 치환되어 상기 기판으로부터 이탈된 오염물질을 포함하는 세척액을 외부배출시키는기판 건조 장치. [청구항 21] 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 기판을 가열하는 기판가열부더 포함하는기판 건조 장치. [청구항 22] 제21항에 있어서,상기 기판가열부는 상기 기판의 배면에 고온의 세척액 또는 고온의 건조액분사하는기판 건조 장치. [청구항 23] 제22항에 있어서,상기 기판가열부는 상기 고온의 세척액 또는 고온의 건조액이 상기 기판의 배면 중앙 및 외곽분사되도록 하는기판 건조 장치. [청구항 24] 제21항에 있어서,상기 기판가열부는 상기 기판에 열을 전달하는 가열플레이트인기판 건조 장치. [청구항 25] 제21항에 있어서,상기 기판가열부는 상기 기판에레이저조사하여가열하는기판 건조 장치. [청구항 26] 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 노즐부는 제1 분사노즐과 제2 분사노즐을 포함하고, 상기 제1 분사노즐은 상기 기판 중앙에 건조액을 분사하고, 상기 제2 분사노즐은 상기 기판 외곽에 건조액분사하는기판 건조 장치. [청구항 27] 제26항에 있어서,상기 노즐부는 바타입인기판 건조 장치. [청구항 30] 제28항에 있어서,상기 세척액의 온도는 50℃이상인기판 건조 장치. [청구항 32] 제28항에 있어서,상기 건조액의 온도는 50℃ 내지인기판 건조 장치.