문맥 (context)
[청구항 2]
제 1항에 있어서,상기 제1 패턴과 상기 제2 패턴 각각은, 복수의 패턴부가 서로 나란하게 달리는 스트라이프패턴인,반도체장치.
[청구항 3]
제 2항에 있어서,상기 제1 패턴의 상기 패턴부의 폭과 상기 제2 패턴의 상기 패턴부의 폭이 동일하고, 상기 제1 패턴의 서로 인접하는 상기 패턴부의 간격과 상기 제2 패턴의 서로 인접하는 상기 패턴부의 간격동일한,반도체장치.
[청구항 4]
제 1항에 있어서,상기 제1 패턴과 상기 제2 패턴 각각은, 복수의 오목형 패턴부가 서로 나란하게 달리는 스트라이프패턴인,반도체장치.
[청구항 5]
제 4항에 있어서,상기 제1 패턴과 상기 제2 패턴 각각은, 복수의 오목형 패턴부인 복수의 홈과, 복수의 메사 영역을 갖고,상기 홈과 상기 메사 영역이 교대로 배치된 스트라이프패턴인,반도체장치.
[청구항 6]
제 5항에 있어서,상기 제1 패턴의 상기 스트라이프 패턴의 상기 메사 영역의 폭은이하인,반도체장치.
[청구항 7]
제 5항에 있어서,상기 제1 패턴의 상기 스트라이프 패턴의 상기 홈의 애스펙트 비는6 이상인,반도체장치.
[청구항 8]
제 5항에 있어서,상기 제1 패턴의 상기 스트라이프 패턴의 상기 홈의 내부에 형성된 게이트 전극을 갖는 전력 반도체 소자더 구비한,반도체장치.
[청구항 9]
제 4항에 있어서,상기 오목형 패턴부는 콘택홀이고,상기 제1 패턴의 상기 스트라이프 패턴의 상기 콘택홀의 아래에 위치하는 하부 도전부와,상기 제1 패턴의 상기 스트라이프 패턴의 상기 콘택홀 위에 위치하는 상부 도전부를 더 구비하고,상기 하부 도전부와 상기 상부 도전부는,상기콘택홀통해접속되어 있는,반도체장치.
[청구항 10]
제 1항에 있어서,상기 제2칩 영역에 형성된 기능소자더 구비한,반도체장치.
[청구항 11]
제 1항에 있어서,상기 제1 칩 영역의 변의 크기는, 상기 제2 칩 영역의 변의 크기의정수배인,반도체장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
제5항에 따른 스트라이프 패턴에서 홈과 메사 영역이 교대로 배치될 때, 제1 패턴과 제2 패턴의 구성 요소는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
-
1과제 해석
task_interpretation제5항의 스트라이프 패턴에서 제1 패턴과 제2 패턴을 구성하는 요소가 무엇인지 파악해야 한다.
-
2정보 추출
information_extraction청구항 5에서 제1 패턴과 제2 패턴 각각이 복수의 홈과 복수의 메사 영역을 갖는다고 명시되어 있다.
- 상기 제1 패턴과 상기 제2 패턴 각각은, 복수의 오목형 패턴부인 복수의 홈과, 복수의 메사 영역을 갖고
-
3근거 선택
evidence_selection패턴의 구성 요소를 직접적으로 언급한 '복수의 홈'과 '복수의 메사 영역' 구절을 선택한다.
- 복수의 홈과, 복수의 메사 영역
-
4논리 통합
logical_integration제1 패턴과 제2 패턴은 동일한 구성 요소인 홈과 메사 영역으로 이루어져 있음을 확인한다.
-
5결론 도출
conclusion_formulation제1 패턴과 제2 패턴의 구성 요소는 복수의 홈과 복수의 메사 영역이다.
-
6답변 생성
answer_generation질문에 따라 구성 요소를 리스트 형식으로 답변을 생성한다.
최종 답변 (final_answer)
복수의 홈, 복수의 메사 영역
핵심 해석 (core_interpretation)
스트라이프 패턴을 형성하는 제1 및 제2 패턴이 각각 오목형 패턴부인 홈과 메사 영역의 교대 배치로 구성됨을 정의함.