기판 승강 장치 document_id 1020100104944

[청구항 2] 제1항에 있어서,각각의 상기 승강핀 구동축의 외부에 설치되어 상기 승강핀 구동축의 상승에 대해 저항력을 발생하는탄성부재더포함하는것을특징으로 하는기판 승강 장치. [청구항 3] 제2항에 있어서,상기 탄성부재를 덮도록 상기 플레이트의 하부에 고정되어, 상기 승강핀 구동축의 승강을 안내하는케이스부재더포함하는것을특징으로 하는기판 승강 장치. [청구항 4] 제3항에 있어서,상기 케이스 부재의 헤드부는 상기 승강핀 구동축과 밀접하는베어링부시구비하는것을특징으로 하는기판 승강 장치. [청구항 5] 제2항에 있어서,상기 탄성부재는벨로우즈인것을특징으로 하는기판 승강 장치. [청구항 6] 제1항에 있어서,상기 승강핀은 3개로 구비되고, 상기 구동아암은 일체로 형성된 3개의 아암을 갖고, 각각의 상기 아암은상기승강핀구동축연결되는것을특징으로 하는기판 승강 장치. [청구항 7] 제1항에 있어서,상기 구동아암은 상기 승강핀 구동축과 각각 연결되는 일체형의 복수의 아암을 갖고, 상기 아암의 단부는 u자형으로 형성되어, 상기 승강핀 구동축에 형성되는 2개의 단턱부 사이에 끼워지는것을특징으로 하는기판 승강 장치. [청구항 8] 제1항에 있어서,상기 플레이트의 하부에 부착되어 상기 승강핀이 승강되는 관통홀이 형성된 베이스 부재;를 더 포함하고, 상기 관통홀에는베어링부시장착되는것을특징으로 하는기판 승강 장치. [청구항 9] 제8항에 있어서,상기 플레이트와 상기 베이스 부재 사이에서 상기 관통홀을 감싸도록 형성된더포함하는것을특징으로 하는기판 승강 장치. [청구항 11] 제10항에 있어서,각각의 상기 승강핀 구동축의 외부에 설치되어 상기 승강핀 구동축의 상승에 대해 저항력을 발생하는탄성부재더포함하는것을특징으로 하는기판 승강 장치. [청구항 12] 제10항에 있어서,상기 승강 구동부는, 상기 연결부재에 대해 수평방향으로의 상대이동이 가능하도록 상기 복수의 연결부재와 연결되는 구동아암;상기 구동아암에 동력을 전달하는 구동장치;를포함하는것을특징으로 하는기판 승강 장치. [청구항 13] 제12항에 있어서,상기 연결부재는 상기 승강핀 구동축과 연결되는 축측 연결부와, 상기 축측 연결부와 일체로 형성되고 상기 가이드로드의 외면을 따라 소정의 길이로 연장되는로드측연결부로이루어지는것을특징으로 하는기판 승강 장치. [청구항 14] 제13항에 있어서,상기 구동아암은 상기 복수의 연결부재와 각각 연결되는 일체형의 복수의 아암을 갖고, 상기 아암의 단부는 u자형으로 형성되어, 상기 연결부재의 로드측 연결부에 형성되는 2개의 단턱부 사이에 끼워지는것을특징으로 하는기판 승강 장치. [청구항 15] 제13항에 있어서,상기 로드측 연결부와 상기 가이드로드 사이에는 베어링부시가2개소이상장착되는것을특징으로 하는기판 승강 장치. [청구항 16] 제13항에 있어서,상기 연결부재의 축측 연결부는, 상기 승강핀 구동축이 끼워지는 축관통홀과, 상기 축관통홀과 연결된 개구부를 포함하고, 상기 승강핀 구동축은 상기 개구부에 위치된 결합부재와 상기 축관통홀을 통해결합되는것을특징으로 하는기판 승강 장치. [청구항 17] 제11항에 있어서,상기 탄성부재를 덮도록 상기 플레이트의 하부에 고정되어, 상기 승강핀 구동축의 승강을 안내하는케이스부재더포함하는것을특징으로 하는기판 승강 장치. [청구항 18] 제17항에 있어서,상기 케이스 부재의 헤드부는 상기 승강핀 구동축과 밀접하는베어링부시구비하는것을특징으로 하는기판 승강 장치. [청구항 19] 제11항에 있어서,상기 탄성부재는벨로우즈인것을특징으로 하는기판 승강 장치. [청구항 20] 제12항에 있어서,상기 승강핀은 3개로 구비되고, 상기 구동아암은 일체로 형성된 3개의 아암을 갖고, 각각의 상기 아암은상기연결부재연결되는것을특징으로 하는기판 승강 장치. [청구항 21] 제10항에 있어서,상기 플레이트의 하부에 부착되어 상기 승강핀이 승강되는 관통홀이 형성된 베이스 부재;를 더 포함하고, 상기 관통홀에는베어링부시장착되는것을특징으로 하는기판 승강 장치. [청구항 22] 제21항에 있어서,상기 플레이트와 상기 베이스 부재 사이에서 상기 관통홀을 감싸도록 형성된더포함하는것을특징으로 하는기판 승강 장치. [청구항 23] 제21항에 있어서,상기 가이드로드는상기베이스 부재고정되는것을특징으로 하는기판 승강 장치.