기판처리모듈 document_id 1020100108241

[청구항 9] 제 7 항에 있어서,상기 카세트는,기판처리를 위하여 상기 기판처리장치에 공급되기 위한 상기 다수의 기판이 수용되는 준비 카세트; 및기판처리가 완료되어 상기 기판처리장치로부터 반출되는 상기 다수의 기판이 수용되는 완료 카세트;를 포함하고, 상기 카세트 적재부는,상기 준비 카세트가 위치하는 반입 적재부; 및 상기 완료 카세트가 위치하는반출적재부포함하는것을특징으로 하는기판처리모듈. [청구항 10] 제 7 항에 있어서,셉터는, 원형의 플레이트;상기 플레이트 상에 설치되고 상기 다수의 기판이 위치하는 다수의 기판 안착부; 상기 다수의 기판 안착부 각각의 중심에 설치되고 상기 다수의 기판 안착부 각각과 분리 가능한 다수 중앙부; 및상기 서셉터를 상기 서셉터 플레이트에 정렬시키기 위해 상기 플레이트를 절단한 플랫존 형태의 제 1 정렬부;를 포함하고, 상기 서셉터 반입부는,상기 서셉터가 위치하는 서셉터 지지부; 상기 서셉터 지지부의 하부에 위치하는 지지판;상기 서셉터의 안치 유무를 감지하는 센서를 포함하고, 상기 지지판에 설치되어 상기 서셉터의 상기 제 1 정렬부의 위치를 조정하는 정렬수단; 및상기 서셉터의 상기 다수의 중앙부를 진공으로 흡착하여 상기 다수의 기판을 승강시키는기판승강부포함하는것을특징으로 하는기판처리모듈. [청구항 11] 제 10 항에 있어서,셉터 지지부는,상기 서셉터를 정렬시키는 정렬 지지부; 및상기 기판처리장치로부터 반출되거나 상기 기판처리장치에 반입되기 위한 상기 서셉터가 위치하는대기지지부포함하는것을특징으로 하는기판처리모듈. [청구항 12] 제 10 항에 있어서,상기 기판 승강부는, 다수의 상기 기판을 동시에 승강시키는다수의승강열부포함하는것을특징으로 하는기판처리모듈. [청구항 13] 제 12 항에 있어서,상기 다수의 승강열부 각각은 독립적으로 구동하는 승강주축, 상기 승강주축의 상부에 위치하는 연결판, 및 상기 연결판 상에 형성되고 다수의 상기 기판을 승강시키는다수의승강보조축포함하는것을특징으로 하는기판처리모듈. [청구항 14] 제 10 항에 있어서,상기 기판 승강부는진공흡착장치포함하는것을특징으로 하는기판처리모듈. [청구항 15] 제 7 항에 있어서,상기 이송수단은, 상기 카세트 적재부와 상기 기판처리장치 사이에 위치하는 가이드 레일을 포함하고, 상기 이송로봇은상기가이드레일따라이동하는 것을특징으로 기판처리모듈. [청구항 16] 제 15 항에 있어서,상기 이송 로봇은,상기 가이드 레일 상에 위치하며 상기 가이드 레일을 따라 이동하는 지지봉;상기 지지봉과 연결되어 회전 및 승강 가능한 회전축;상기 회전축에 일측 단부가 연결되는 2 개의 제 1 연결부;상기 2 개의 제 1 연결부 각각의 타측 단부에 일측 단부가 연결되는 2 개의 제 2 연결부; 및 상기 2 개의 제 2 연결부의 타측 단부에 연결되는상기로봇암포함하는것을특징으로 하는기판처리모듈. [청구항 17] 제 16 항에 있어서,상기 로봇 암의 상기 제 1 암은 상기 2 개의 제 2 연결부 중 하나에 연결되고, 상기 로봇 암의 상기 제 2 암은 상기 2 개의 제 2 연결부 중 다른하나연결되는것을특징으로 하는기판처리모듈. [청구항 18] 제 10 항에 있어서,상기 다수의 기판안착부 각각의 표면에는 골과 산이 반복되는요철형성되는것을특징으로 하는기판처리모듈. [청구항 19] 제 7 항에 있어서,상기 기판처리장치는,상기 공정챔버의 내부에 위치하고 상기 서셉터가 위치하는 서셉터 플레이트;상기 서셉터 플레이트가 안치되는 안치부;상기 서셉터 플레이트와 결합되어 상기 서셉터를 지지하거나 회전시키는 지지수단; 및상기 서셉터 플레이트에서 상기 서셉터를 분리하는다수의리프트 핀포함하는것을특징으로 하는기판처리모듈. [청구항 20] 제 7 항에 있어서,상기 공정챔버는, 투명창;상기 투명창과 결합하여 상기 기판처리공간을 제공하는 본체; 및상기 투명창 상부에 위치하고 다수의 복사열 공급원을 포함하는가열수단포함하는것을특징으로 하는기판처리모듈. [청구항 21] 제 19 항에 있어서,상기 서셉터 플레이트는 링 형태로 형성되고, 상기 서셉터가 거치되는 단차부, 상기 서셉터의 제 1 정렬부와 정합을 위한 플랫존 형태의 제 2 정렬부, 및 다수의 우묵부를포함하는것을특징으로 하는기판처리모듈. [청구항 22] 제 21 항에 있어서,상기 지지수단은,상기 본체를 관통하여 설치되는 관통홀에 위치하는 지지축;상기 지지축의 상단에서 방사선으로 분기되는 다수의 분기부; 및상기 다수의 분기부 각각의 단부에 설치되고 상기 서셉터 플레이트의 상기 다수의 우묵부와 결합되는다수의돌출부포함하는것을특징으로 하는기판처리모듈. [청구항 23] 제 22 항에 있어서,상기 다수의 우묵부는 장축과 단축을 가지는타원형형성되는것을특징으로 하는기판처리모듈. [청구항 24] 제 22 항에 있어서,상기 지지수단은 상기 다수의 분기부를 연결하는보강부포함하는것을특징으로 하는기판처리모듈.