문맥 (context)
[청구항 1]
소수화 처리를 행한 집적 회로 형성용 기판에 노즐로부터 처리액을 공급하여 도포막을 형성하는 액처리 장치로서,
상기 기판을 수평으로 유지하는 회전 가능한 기판 유지부와,
이 기판 유지부에 유지된 기판을 둘러싸는 포위 부재와,
상기 기판의 집적 회로 형성 영역의 외부에서의 소수화된 표면에 검사액을 공급하는 검사액 공급부와,
상기 기판에 공급된 검사액을 촬상하는 촬상부와,
촬상한 검사액의 화상에 기초하여 상기 기판이 정상적으로 소수화 처리된 것인지의 여부를 판정하는 판정부
를 포함하는 것을 특징으로 하는 액처리 장치
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 검사액 공급부는, 미리 설정된 양의 검사액을 상기 기판에 공급하는공급 기구포함하는것을특징으로 하는액처리 장치.
[청구항 3]
제1항 또는 제2항에 있어서,상기촬상부는, 상기 기판에 공급된상기검사액을평면설치되어있는것을특징으로 하는액처리 장치.
[청구항 4]
제1항 또는 제2항에 있어서,상기촬상부는, 상기 기판에 공급된상기검사액을측면설치되어있는것을특징으로 하는액처리 장치.
[청구항 5]
제4항에 있어서,상기 기판을 상기 포위 부재보다 높은 위치에 유지하기 위해, 상기 기판 유지부가 승강 가능한 것과 상기 기판 유지부에 유지된 기판의 이면을 밀어 올려 유지하는 승강 기구를 포함하는 것 중 하나 이상의 구성을 포함하고, 상기 촬상부는, 상기 기판이 포위 부재보다 높은 위치에 유지되어 있는 상태에서검사액설치되어있는것을특징으로 하는액처리 장치.
[청구항 6]
제1항 또는 제2항에 있어서,상기 노즐은, 이동 기구에 의해 이동 가능하게 구성되고, 상기 촬상부는, 이이동기구설치되어있는것을특징으로 하는액처리 장치.
[청구항 7]
제1항 또는 제2항에 있어서,상기 도포막은,레지스트막인것을특징으로 하는액처리 장치.
[청구항 8]
제1항 또는 제2항에 있어서,상기 도포막은,반사방지막인것을특징으로 하는액처리 장치.
[청구항 9]
제1항 또는 제2항에 있어서,정부에서 기판이 정상적으로 소수화 처리되어 있지 않은 것으로 판정되었을 때에 이상을 통지하는이상통지부포함하는것을특징으로 하는액처리 장치.
[청구항 10]
기판에 레지스트를 도포하고, 노광 후의 기판에 대하여 현상액에 의해 현상 처리하는 도포 현상 장치로서,
복수매의 기판을 수납한 캐리어가 외부로부터 반입되고, 현상 후의 기판을 캐리어에 수납하여 외부에 반출하기 위한 캐리어 블록과,
이 캐리어 블록으로부터 전달된 기판의 표면을 소수화 처리하기 위한 소수화 처리 유닛과,
소수화 처리된 기판에 대하여 처리액을 공급하여, 레지스트 패턴을 형성하기 위한 도포막을 형성하는 액처리 장치와,
노광 후의 기판에 대하여 현상액을 공급하여 현상 처리를 행하는 현상 유닛을 포함하며
상기 액처리 장치로는, 제1항 또는 제2항에 기재된 액처리 장치가 이용되는 것을 특징으로 하는 도포 현상 장치
[청구항 12]
기판에 대하여 처리액을 공급하여, 레지스트 패턴을 형성하기 위한 도포막을 형성하고, 노광 후의 기판에 대하여 현상 처리를 행하는 도포 현상 장치에 이용되는 컴퓨터 프로그램이 기억된 기억매체로서,
상기 컴퓨터 프로그램은 제11항에 기재된 도포 현상 방법을 실시하기 위한 것인 것을 특징으로 하는 기억매체
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
기판이 포위 부재보다 높은 위치에 유지되는 상태에서 검사액을 촬상하기 위해, 청구항 1항의 액처리 장치가 청구항 5항의 구성을 포함할 경우 촬상부는 어떻게 설치되어야 하는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation청구항 1항의 액처리 장치가 청구항 5항의 구성을 포함할 때, 기판이 포위 부재보다 높은 위치에 있는 상태에서 촬상부의 설치 형태를 찾는다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 5항은 청구항 4항을 인용하며, 기판이 포위 부재보다 높은 위치에 유지되는 상태에서의 촬상부 설치 조건을 명시한다.
- 상기 촬상부는, 상기 기판이 포위 부재보다 높은 위치에 유지되어 있는 상태에서검사액설치되어있는것을특징으로 하는액처리 장치
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3근거 선택
evidence_selection청구항 5항에서 촬상부의 설치 상태를 설명하는 구절과, 청구항 5항이 인용하는 청구항 4항의 내용을 확인한다.
- 상기 촬상부는, 상기 기판이 포위 부재보다 높은 위치에 유지되어 있는 상태에서검사액설치되어있는것을특징으로 하는액처리 장치
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4논리 통합
logical_integration청구항 5항은 청구항 4항을 인용하므로, 청구항 4항의 '측면설치' 구성이 청구항 5항의 조건(기판이 높은 위치에 유지됨)과 결합되어 촬상부의 설치 형태를 결정한다.
- 제4항에 있어서
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5결론 도출
conclusion_formulation청구항 5항에 따르면, 기판이 포위 부재보다 높은 위치에 유지되는 상태에서 촬상부는 측면설치되어 있어야 한다.
- 상기 촬상부는, 상기 기판이 포위 부재보다 높은 위치에 유지되어 있는 상태에서검사액설치되어있는것을특징으로 하는액처리 장치
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6답변 생성
answer_generation질문에 대한 직접적인 답변으로 촬상부의 설치 형태를 추출하여 작성한다.
- 상기 촬상부는, 상기 기판이 포위 부재보다 높은 위치에 유지되어 있는 상태에서검사액설치되어있는것을특징으로 하는액처리 장치
최종 답변 (final_answer)
상기 촬상부는, 상기 기판이 포위 부재보다 높은 위치에 유지되어 있는 상태에서 측면설치되어 있어야 한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
기판을 포위 부재보다 높은 위치로 승강시켜 유지하는 구성이 포함될 경우, 촬상부는 기판의 측면에 설치되어 검사액을 촬상하도록 설계된다.