문맥 (context)
[청구항 1]
프로세스 챔버;
상기 프로세스 챔버 내부에 구비되어 복수매의 기판이 안착되는 서셉터
상기 서셉터 상부에서 상기 기판에 대응되는 위치에 구비되고, 상기 각 기판 상부에서 상기 기판을 고정하도록 상기 서셉터에 장착되는 복수의 클램프 링; 및
상기 서셉터 하부에 구비되어 상기 클램프 링을 상기 서셉터 와 분리시키기 위해서 승강 이동시키는 링 구동부
를 포함하는 원자층 증착장치
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 클램프 링은,상기 서셉터의 포켓부에 대응되는 형태를 갖고, 상기 기판을 노출시키도록 개구부가 형성된 링 형태의 바디부; 및상기 바디부 둘레를 따라 구비되어 상기 서셉터에 결합되는 체결부;를 포함하고,상기 링 구동부는 상기 체결부에 대응되는 위치에 구비되어 상기 서셉터를 관통하여 상기 클램프 링을 승강 이동시키는링분리승강부를포함하는원자층 증착장치.
[청구항 3]
제2항에 있어서,상기 체결부는,상기 클램프 링의 하부에서 돌출 형성된 제1 체결부; 및상기 포켓부 둘레를 따라 상기 제2 체결부가 삽입 결합되록 요입 형성된 제2 체결부포함하는원자층 증착장치.
[청구항 4]
제3항에 있어서,상기 링 분리 승강부는 상기 클램프 링을 상기 서셉터에 대해 평행하게 상하 방향으로승강이동시키도록구비된원자층 증착장치.
[청구항 5]
제3항에 있어서,상기 링 분리 승강부는 상기 제2 체결부를 관통하도록 삽입되어 상기 제2 체결부 내부에서승강이동가능하게형성된원자층 증착장치.
[청구항 6]
제2항에 있어서,상기 링 구동부는 상기 프로세스 챔버 외부구비된원자층 증착장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
클램프 링의 체결부는 어떠한 구성 요소들로 이루어져 있으며, 각 구성 요소의 형성 방식은 어떠한가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation클램프 링의 체결부를 구성하는 요소와 각 요소의 형성 방식(돌출 또는 요입)을 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 3에서 체결부가 제1 체결부와 제2 체결부로 구성됨을 확인하고, 각각의 형성 방식을 추출한다.
- 상기 체결부는,상기 클램프 링의 하부에서 돌출 형성된 제1 체결부; 및상기 포켓부 둘레를 따라 상기 제2 체결부가 삽입 결합되록 요입 형성된 제2 체결부포함하는
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3근거 선택
evidence_selection체결부의 구성 요소와 형성 방식이 명시된 청구항 3의 구절을 선택한다.
- 상기 체결부는,상기 클램프 링의 하부에서 돌출 형성된 제1 체결부; 및상기 포켓부 둘레를 따라 상기 제2 체결부가 삽입 결합되록 요입 형성된 제2 체결부포함하는
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4논리 통합
logical_integration제1 체결부는 '돌출 형성'되었고, 제2 체결부는 '요입 형성'되었다는 정보를 결합한다.
- 상기 클램프 링의 하부에서 돌출 형성된 제1 체결부; 및상기 포켓부 둘레를 따라 상기 제2 체결부가 삽입 결합되록 요입 형성된 제2 체결부
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5결론 도출
conclusion_formulation체결부는 돌출 형성된 제1 체결부와 요입 형성된 제2 체결부로 이루어져 있음을 결론짓는다.
- 상기 체결부는,상기 클램프 링의 하부에서 돌출 형성된 제1 체결부; 및상기 포켓부 둘레를 따라 상기 제2 체결부가 삽입 결합되록 요입 형성된 제2 체결부포함하는
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6답변 생성
answer_generation질문에 따라 구성 요소와 형성 방식을 리스트 형식으로 정리하여 답변을 생성한다.
- 상기 클램프 링의 하부에서 돌출 형성된 제1 체결부; 및상기 포켓부 둘레를 따라 상기 제2 체결부가 삽입 결합되록 요입 형성된 제2 체결부
최종 답변 (final_answer)
- 제1 체결부: 클램프 링의 하부에서 돌출 형성됨
- 제2 체결부: 포켓부 둘레를 따라 요입 형성됨
핵심 해석 (core_interpretation)
클램프 링의 체결부를 돌출된 제1 체결부와 요입된 제2 체결부로 구성하여, 서셉터의 포켓부와 결합될 수 있는 구조를 제공한다.