문맥 (context)
[청구항 2]
제 1 항에 있어서,상기 제 1 전극nan은기판인접하게배치되는하이브리드 벌크 음파 공진기.
[청구항 3]
제 2 항에 있어서,상기 제 1 전극 아래에 공동더 포함하는하이브리드 벌크 음파 공진기.
[청구항 4]
제 3 항에 있어서,상기 하이브리드 벌크 음파 공진기는 두께 제어 영역(a controlled thickness region)을 포함하며, 모드 제어 구조는 상기 하이브리드 벌크 음파 공진기의 두께 제어 영역 내의 상기 제 1 전극과 상기 제 2 전극 중 하나의 전극에 인접하게 배치되는 물질 세그먼트포함하는하이브리드 벌크 음파 공진기.
[청구항 5]
제 4 항에 있어서,상기 모드 제어 구조는 상기 하이브리드 벌크 음파 공진기의 상기 두께 제어 영역 내에 위치한 상기 압전층의 파열 텍스처 영역더 포함하는하이브리드 벌크 음파 공진기.
[청구항 6]
제 3 항에 있어서,상기 하이브리드 벌크 음파 공진기는 두께 제어 영역을 포함하며,상기 압전층과 상기 제 1 전극과 상기 제 2 전극 중 하나의 전극 사이의 상기 두께 제어 영역 내에 배치되는 모드 제어 구조더 포함하는하이브리드 벌크 음파 공진기.
[청구항 7]
제 3 항에 있어서,상기 공동은 상기 기판과 상기 제 1 전극사이에 있는하이브리드 벌크 음파 공진기.
[청구항 8]
제 3 항에 있어서,상기 공동은 상기 기판 내배치되는하이브리드 벌크 음파 공진기.
[청구항 9]
제 1 항에 있어서,상기 단일의 미러쌍은 상기 제 2 전극에 인접하게 배치되는 저음파 임피던스층과, 상기 저음파 임피던스층에 인접하게 배치되는 고음파 임피던스층포함하는하이브리드 벌크 음파 공진기.
[청구항 10]
제 9 항에 있어서,음파 임피던스층은 실리콘 이산화물포함하는하이브리드 벌크 음파 공진기.
[청구항 11]
제 10 항에 있어서,상기 고음파 임피던스층은 텅스텐포함하는하이브리드 벌크 음파 공진기.
[청구항 12]
제 1 항에 있어서,상기 하이브리드 벌크 음파 공진기는 공동 위에 배치되고, 상기 하이브리드 벌크 음파 공진기는 상기 단일의 미러쌍 위에 배치되는 트리밍층포함하는하이브리드 벌크 음파 공진기.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
하이브리드 벌크 음파 공진기에서 모드 제어 구조가 포함되는 두께 제어 영역 내의 구성 요소와, 해당 영역 내에서 모드 제어 구조가 인접하게 배치되는 전극의 조건은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation두께 제어 영역 내의 모드 제어 구조를 구성하는 요소와, 모드 제어 구조가 인접하는 전극의 조건을 찾는 것이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 4에서 모드 제어 구조가 물질 세그먼트를 포함한다는 점과 제 1 전극 또는 제 2 전극 중 하나에 인접한다는 점을 추출한다.
- 모드 제어 구조는 상기 하이브리드 벌크 음파 공진기의 두께 제어 영역 내의 상기 제 1 전극과 상기 제 2 전극 중 하나의 전극에 인접하게 배치되는 물질 세그먼트포함
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3근거 선택
evidence_selection질문에서 요구하는 구성 요소(물질 세그먼트)와 전극 조건(제 1 전극과 제 2 전극 중 하나의 전극에 인접)에 해당하는 구절을 선택한다.
- 모드 제어 구조는 상기 하이브리드 벌크 음파 공진기의 두께 제어 영역 내의 상기 제 1 전극과 상기 제 2 전극 중 하나의 전극에 인접하게 배치되는 물질 세그먼트포함
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4논리 통합
logical_integration모드 제어 구조의 구성 요소는 물질 세그먼트이며, 이 세그먼트는 제 1 전극 또는 제 2 전극 중 하나에 인접하여 배치된다.
- 모드 제어 구조는 상기 하이브리드 벌크 음파 공진기의 두께 제어 영역 내의 상기 제 1 전극과 상기 제 2 전극 중 하나의 전극에 인접하게 배치되는 물질 세그먼트포함
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에 대한 직접적인 답변을 구성 요소와 전극 조건으로 나누어 정리한다.
- 모드 제어 구조는 상기 하이브리드 벌크 음파 공진기의 두께 제어 영역 내의 상기 제 1 전극과 상기 제 2 전극 중 하나의 전극에 인접하게 배치되는 물질 세그먼트포함
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6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 최종 답변을 작성한다.
- 모드 제어 구조는 상기 하이브리드 벌크 음파 공진기의 두께 제어 영역 내의 상기 제 1 전극과 상기 제 2 전극 중 하나의 전극에 인접하게 배치되는 물질 세그먼트포함
최종 답변 (final_answer)
모드 제어 구조는 물질 세그먼트를 포함하며, 상기 제 1 전극과 상기 제 2 전극 중 하나의 전극에 인접하게 배치된다.
핵심 해석 (core_interpretation)
하이브리드 벌크 음파 공진기의 두께 제어 영역 내에서 모드 제어를 수행하기 위해 특정 전극에 인접하도록 배치된 물질 세그먼트의 구성을 정의하고 있다.