문맥 (context)
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 반사 파워 측정부는 방향성 커플러인튜너 모듈.
[청구항 3]
제1항에 있어서,상기 가변형 멤스 캐패시터는, 제 1 전극;상기 제 1 전극 상부로 부상(浮上)되어 있는 제 2 전극;상기 제 2 전극 측면에 이격되어 있는 고정 전극;상기 제 2 전극과 상기 고정 전극 사이에 위치되어 있고, 상기 제 2 전극에연결되어 있으며, 상기 고정 전극에 인가된 전압에 의해 상기 고정 전극과 물리적으로 접촉되는 유동 전극포함하는튜너 모듈.
[청구항 4]
제3항에 있어서,상기 제 1 전극으로 인가된 전압을 가변시켜 상기 제 1 전극과 상기 제 2 전극의 간격가변시키는튜너 모듈.
[청구항 5]
제3항에 있어서,상기 제 1 전극과 상기 고정전극은,기판 상부에 형성되어 있고,상기 제 2 전극과 상기 유동 전극은,상기 기판에 고정된 스프링에 연결되어 상기 제 2 전극이 상기 제 1 전극 상 부로부상되어 있는튜너 모듈.
[청구항 6]
제3항에 있어서,상기 제 1 전극에 상기 제 2 전극과의 전기적인 쇼트(short) 방지를 위한 제1 절연막이 형성되어 있고,상기 고정 전극에 상기 유동 전극과의 전기적인 쇼트 방지를 위한 제 2 절연막이형성되어 있는튜너 모듈.
[청구항 7]
제3항에 있어서,상기 고정 전극 및 유동 전극 각각은,상기 제 2 전극의 양측 각각에 형성된 한 쌍의 전극이거나, 또는 4개의전극인튜너 모듈.
[청구항 8]
제1항에 있어서,상기 가변 캐패시터는,제 1 전극과; 상기 제 1 전극 상부에 플로팅되어 있는 제 2 전극과; 상기 제 1 전극과 상기 제 2 전극 사이의 간격을 조절하여, 캐패시턴스값을 가변시킬 수 있으며, 고정되어 있는 제 3 전극포함하는튜너 모듈.
[청구항 9]
제8항에 있어서,상기 제 2 전극은,스프링 구조물에 의해 상기 제 1 전극 상부플로팅되어 있는튜너 모듈.
[청구항 10]
제1항에 있어서,상기 멤스 가변 캐패시터는, 제 1 전극; 상기 제 1 전극에 이격되어 있는 제 2 전극; 상기 제 1 전극과 상기 제 2 전극 상부에 플로팅되어 있는 제 3 전극; 상기 제 3 전극에 스프링 구조물로 연결되어 있는 제 4 전극들; 상기 제 4 전극들에 대향되어 있고, 상기 제 4 전극들로 전압이 인가되어 상기 제 1과 제 2 전극과 상기 제 3 전극 사이의 간격을 조절하여, 캐패시턴스값을 가변시킬 수 있으며, 고정되어 있는 제 5 전극들포함하는튜너 모듈.
[청구항 11]
제10항에 있어서,상기 스프링 구조물의 일부 영역을 고정시키는 지지 구조물더 포함하는튜너 모듈.
[청구항 12]
제10항에 있어서,상기 스프링 구조물, 상기 지지 구조물, 상기 제 4 전극들 및 상기 제 5 전극들 각각은 한 쌍이고,상기 한 쌍의 스프링 구조물 각각은 상기 제 3 전극 양측면 끝단 및 상기 한 쌍의 제 4 전극들 각각에 연결되어 있고 상기 한 쌍의 스프링 구조물 각각의 일부 영역은 상기 한 쌍의 지지 구조물 각각에 의해 고정되어 있으며, 상기 제 5 전극들 각각은 상기 제 4 전극들 각각대향되어 있는튜너 모듈.
[청구항 13]
제12항에 있어서,상기 제 5 전극들에서 상기 제 4 전극들로 전압이 인가되면, 상기 한 쌍의 지지 구조물에 의해 시소(seesaw) 구동에 의하여, 상기 제 3 전극은 상기 제 1 전극과 상기 제 2 전극 상부로 상승하는 변위갖는튜너 모듈.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
가변형 멤스 캐패시터의 구성 요소 중, 고정 전극에 인가된 전압에 의해 유동 전극과 물리적으로 접촉되는 전극은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation가변형 멤스 캐패시터의 구성 요소 중 고정 전극의 전압에 의해 유동 전극과 물리적으로 접촉하는 전극이 무엇인지 찾는 것이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 3에서 가변형 멤스 캐패시터의 구성 요소인 제1 전극, 제2 전극, 고정 전극, 유동 전극에 대한 설명을 추출한다.
- 상기 가변형 멤스 캐패시터는, 제 1 전극;상기 제 1 전극 상부로 부상(浮上)되어 있는 제 2 전극;상기 제 2 전극 측면에 이격되어 있는 고정 전극;상기 제 2 전극과 상기 고정 전극 사이에 위치되어 있고, 상기 제 2 전극에연결되어 있으며, 상기 고정 전극에 인가된 전압에 의해 상기 고정 전극과 물리적으로 접촉되는 유동 전극포함하는
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3근거 선택
evidence_selection고정 전극에 인가된 전압에 의해 고정 전극과 물리적으로 접촉하는 주체를 명시한 구절을 선택한다.
- 상기 고정 전극에 인가된 전압에 의해 상기 고정 전극과 물리적으로 접촉되는 유동 전극
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4논리 통합
logical_integration문맥상 고정 전극에 전압이 인가될 때, 고정 전극과 물리적으로 접촉하는 대상은 '유동 전극'임을 확인할 수 있다.
- 상기 고정 전극에 인가된 전압에 의해 상기 고정 전극과 물리적으로 접촉되는 유동 전극
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에서 요구하는 전극은 유동 전극이다.
- 유동 전극
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6답변 생성
answer_generation추출된 답변인 '유동 전극'을 최종 답변으로 생성한다.
- 유동 전극
최종 답변 (final_answer)
유동 전극
핵심 해석 (core_interpretation)
가변형 멤스 캐패시터 내에서 고정 전극에 인가된 전압을 통해 유동 전극이 고정 전극과 물리적으로 접촉함으로써 동작하는 구조를 설명하고 있다.