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표시장치의 제조장치 document_id 1020100119147

출원번호
1020100119147
분류
화학(C섹션)
문맥 (context)
[청구항 1] 상부바디와 하부바디를 가지는 공정챔버 상기 공정챔버 내부에 반입되어 기판을 지지하는 서셉터 상기 서셉터 상에 배치되어 상기 기판상에 특정패턴을 증착시키기 위한 마스크; 및 상기 서셉터의 반입 또는 상기 마스크의 교체시에 상기 서셉터와 상기 하부바디의 간격을 일정하게 유지하도록 상기 서셉터를 얼라인 하기 위한 얼라인 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 표지장치의 제조장치 [청구항 2] 제1 항에 있어서,상기 얼라인 유닛은,면 타입의 바디 플레이트; 및상기 바디 플레이트의 일면에 구비된 복수의 가이드 바를포함하는것을특징으로 하는표시장치의 제조장치. [청구항 3] 제2 항에 있어서,상기 복수의 가이드 바는 상기 바디 플레이트의 일면 모서리마다 한쌍씩구비된것을특징으로 하는표시장치의 제조장치. [청구항 4] 제2 항에 있어서,상기 복수의 가이드 바는 상기 서셉터의모서리양측면과면접촉되는것을특징으로 하는표시장치의 제조장치. [청구항 5] 제2 항에 있어서,상기 가이드 부의 두께는 상기 서셉터의 측면과 상기 챔버바디의 내측면 사이의 이격된 간격과 동일한 것을 특징으로 하는 표시장치의 제조장치.상기 바디 플레이트는 상기 서셉터의상부면과면접촉되는것을특징으로 하는표시장치의 제조장치. [청구항 6] 제2 항에 있어서,상기 바디 플레이트는 상기 서셉터의상부면과면접촉되는것을특징으로 하는표시장치의 제조장치. [청구항 7] 제2 항에 있어서,상기 바디 플레이트는 상기 서셉터의 면적보다 큰 것특징으로 하는표시장치의 제조장치. [청구항 8] 제1 항에 있어서,상기 얼라인 유닛nan은세라믹재질로이루어지는것을특징으로 하는표시장치의 제조장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
표시장치의 제조장치에서 서셉터와 하부바디 사이의 간격을 일정하게 유지하기 위해 사용되는 얼라인 유닛의 세부 구성 요소와 각 구성 요소의 특징은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
  1. 1과제 해석task_interpretation

    표시장치 제조장치의 얼라인 유닛을 구성하는 세부 요소와 각 요소의 특징을 추출하여 리스트 형식으로 설명해야 한다.

  2. 2정보 추출information_extraction

    청구항 2부터 7까지 얼라인 유닛의 구성 요소인 바디 플레이트와 가이드 바, 그리고 이들의 특징(형태, 배치, 두께, 접촉 관계 등)을 추출한다.

    • 상기 얼라인 유닛은,면 타입의 바디 플레이트; 및상기 바디 플레이트의 일면에 구비된 복수의 가이드 바를포함하는것을특징으로 하는표시장치의 제조장치.
  3. 3근거 선택evidence_selection

    바디 플레이트의 특징(면 타입, 서셉터 상부면과 면접촉, 서셉터 면적보다 큼)과 가이드 바의 특징(바디 플레이트 일면에 구비, 모서리마다 한 쌍씩 구비, 서셉터 모서리 양측면과 면접촉, 두께가 서셉터 측면과 챔버바디 내측면 사이 간격과 동일)을 선택한다.

    • 면 타입의 바디 플레이트; 및상기 바디 플레이트의 일면에 구비된 복수의 가이드 바
    • 상기 복수의 가이드 바는 상기 바디 플레이트의 일면 모서리마다 한쌍씩구비된것
    • 상기 복수의 가이드 바는 상기 서셉터의모서리양측면과면접촉되는것
    • 상기 가이드 부의 두께는 상기 서셉터의 측면과 상기 챔버바디의 내측면 사이의 이격된 간격과 동일한 것
    • 상기 바디 플레이트는 상기 서셉터의상부면과면접촉되는것
    • 상기 바디 플레이트는 상기 서셉터의 면적보다 큰 것
  4. 4논리 통합logical_integration

    추출된 정보를 바탕으로 얼라인 유닛을 '바디 플레이트'와 '복수의 가이드 바'로 계층화하고 각각의 세부 특징을 결합한다.

  5. 5결론 도출conclusion_formulation

    질문에서 요구한 구성 요소와 특징을 정리하여 리스트 형태로 답변을 구성한다.

  6. 6답변 생성answer_generation

    최종적으로 정리된 구성 요소와 특징을 출력한다.

최종 답변 (final_answer)
얼라인 유닛의 세부 구성 요소와 특징은 다음과 같다. 1. 바디 플레이트 - 면 타입의 형태를 가짐 - 서셉터의 상부면과 면접촉함 - 서셉터의 면적보다 큰 크기를 가짐 2. 복수의 가이드 바 - 바디 플레이트의 일면에 구비됨 - 바디 플레이트의 일면 모서리마다 한 쌍씩 구비됨 - 서셉터의 모서리 양측면과 면접촉됨 - 가이드 바의 두께는 서셉터의 측면과 챔버바디의 내측면 사이의 이격된 간격과 동일함
핵심 해석 (core_interpretation)
서셉터와 하부바디 사이의 간격을 일정하게 유지하기 위해, 서셉터의 상부면 및 모서리 측면과 정밀하게 접촉하도록 설계된 바디 플레이트와 가이드 바 구조의 얼라인 유닛에 관한 기술이다.