문맥 (context)
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 제1슬라이드레일에는 상기 제1슬라이드레일에 근접하게 위치하는 상기 제2아암의 자유단부의 저면을 지지하며 상기 제1슬라이드레일을 따라 기판적재부와 함께 수평이동하는 위치정렬수단이 구비되고, 상기 위치정렬수단에 의해상기기판적재부의처짐방지되는것을특징으로 하는기판처리장치.
[청구항 3]
제2항에 있어서,상기 위치정렬수단은 상기 제2아암의 자유단부의 저면을 지지하며 상하로 신장/수축되어 상기 기판적재부의 기울기를 조절하는실린더인것을특징으로 하는기판처리장치.
[청구항 4]
제1항에 있어서,상기 수직이송수단은, 상기 수평이송수단의 기판적재부와 기판이송수단 사이에 기판을 인수/인계하는 기판인계부와, 상기 기판인계부의 양단을 지지하며 상기 기판인계부를 상하로 왕복이송시키는수직구동부포함하는것을특징으로 하는기판처리장치.
[청구항 5]
제4항에 있어서,상기 수직구동부는, 상기 기판인계부의 양단을 슬라이드 가능하게 지지하며 상기 프레임의 양측에 수직으로 나란히 위치하는 제2슬라이드레일 과, 상기 기판인계부의 기울어짐을 조절하기 위해 기판인계부의 제3아암의 저면을 지지하며 상기 제2슬라이드레일을 따라 기판인계부와 함께 상하로 이동하는높이조절수단포함하는것을특징으로 하는기판처리장치.
[청구항 6]
제5항에 있어서,상기 기판인계부는, 상기 제2슬라이드레일의 마주보는 내측면에 각각 상하 이동 가능하게 연결되는 제3아암과, 상기 제3아암의 마주보는 내측면에 일정 간격으로 이격되어 양단이 고정되고 상면에는 상향으로 돌출되어 이격 배치된 다수의 제2핀을 구비하는복수의제4아암포함하는것을특징으로 하는기판처리장치.
[청구항 7]
제6항에 있어서,상기 기판인계부는 상기 기판적재부보다 낮은 위치에서 상하 운동하게 되며,상기 기판인계부에 구비된 제2핀의 상향으로 돌출된 길이는 상기 기판적재부의 제2아암의 상하 두께와 제1핀의 상향으로 돌출된 높이를 합한깊이형성된것을특징으로 하는기판처리장치.
[청구항 8]
제6항에 있어서,상기 로딩용 기판이송부와 언로딩용 기판이송부는, 상기 다수의 롤러에 회전력을 제공하는 구동모터와, 상기 구동모터에 축결합되는 회전축과, 상기 회전축과 상기 롤러의 롤러축 사이에 상하로 배치되어 상기 구동모터의 동력을 전달하는 동력전달수단을 포함하고, 상기 기판인계부와 상기 기판이송수단 사이에 기판의 인수/인계시, 상기 기판인계부의 제4아암은 상기 다수의 롤러축 사이 및 상기 동력전달수단 사이에 상하로 형성되는 퇴피공간을 통하여 상기 기판인계부가간섭없이하측이동되는것을특징으로 하는기판처리장치.
[청구항 9]
제8항에 있어서,상기 동력전달수단은 상기 모터의 회전축과 상기 롤러축 사이에상하수직배치되는것을특징으로 하는기판처리장치.
[청구항 10]
제8항에 있어서,상기 수직이송부의 기판인계부가 기판의 인계시에 퇴피공간으로 하강할 경우 롤러의 양단을 지지하는 지지프레임과의 간섭을 방지하기 위해 상기 지지프레임에는 기판인계부의 제4아암이 통과할 수 있도록 상측이 개방되고 세로방향으로 일정 길이 절개된 형상의 홈이 퇴피공간의 양측에일정간격형성되어것을특징으로 하는기판처리장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
기판처리장치에서 기판인계부의 제4아암이 기판이송수단과의 인수/인계 시 간섭 없이 하측으로 이동하기 위해 확보되는 공간은 무엇이며, 해당 공간의 위치적 특징은 어떠한가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation기판인계부의 제4아암이 간섭 없이 하측으로 이동하기 위해 확보되는 공간의 명칭과 그 위치적 특징을 추출해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 8에서 제4아암이 간섭 없이 하측 이동하기 위해 통과하는 공간과 그 위치를 확인한다.
- 상기 기판인계부의 제4아암은 상기 다수의 롤러축 사이 및 상기 동력전달수단 사이에 상하로 형성되는 퇴피공간을 통하여 상기 기판인계부가간섭없이하측이동되는것을특징으로 하는기판처리장치.
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3근거 선택
evidence_selection공간의 명칭인 '퇴피공간'과 위치적 특징인 '다수의 롤러축 사이 및 상기 동력전달수단 사이'를 선택한다.
- 상기 다수의 롤러축 사이 및 상기 동력전달수단 사이에 상하로 형성되는 퇴피공간
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4논리 통합
logical_integration제4아암이 하측으로 이동할 때 간섭을 피하기 위해 다수의 롤러축과 동력전달수단 사이에 상하 방향으로 퇴피공간이 형성됨을 연결한다.
- 상기 다수의 롤러축 사이 및 상기 동력전달수단 사이에 상하로 형성되는 퇴피공간을 통하여 상기 기판인계부가간섭없이하측이동되는것
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5결론 도출
conclusion_formulation확보되는 공간은 '퇴피공간'이며, 위치적 특징은 '다수의 롤러축 사이 및 동력전달수단 사이에 상하로 형성'되는 것이다.
- 상기 다수의 롤러축 사이 및 상기 동력전달수단 사이에 상하로 형성되는 퇴피공간
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6답변 생성
answer_generation질문에 대해 추출된 정보를 바탕으로 최종 답변을 구성한다.
- 상기 다수의 롤러축 사이 및 상기 동력전달수단 사이에 상하로 형성되는 퇴피공간
최종 답변 (final_answer)
확보되는 공간은 퇴피공간이며, 해당 공간은 다수의 롤러축 사이 및 동력전달수단 사이에 상하로 형성되는 위치적 특징을 갖는다.
핵심 해석 (core_interpretation)
기판 인수/인계 시 제4아암의 하측 이동을 방해하지 않도록 롤러축과 동력전달수단 사이에 상하 방향의 퇴피공간을 형성하여 간섭을 방지하는 기술이다.