원통형 자기부상 스테이지 document_id 1020100138525

[청구항 2] 청구항 1에 있어서,상기 수평 자기부상 보조부는 원통이동부의좌우양측각각배치되는것을특징으로 하는원통형 자기부상 스테이지. [청구항 3] 청구항 2에 있어서,좌우 양측의 상기 수평 자기부상 보조부가 가지는 각각의 전자석 배열체는 서로 독립적으로 외부 결선되어 독립적으로 전류 인가가 제어될 수된것을특징으로 하는원통형 자기부상 스테이지. [청구항 4] 청구항 2에 있어서,좌우 양측의 상기 수평 자기부상 보조부가 가지는 전자석 배열체들은 서로 통합적으로 외부 결선되어 통합적으로 전류 인가가 제어될 수된것을특징으로 하는원통형 자기부상 스테이지. [청구항 5] 청구항 2에 있어서,상기 수평 자기부상 보조부의 전자석 배열체는 베이스부의 전자석 배열체와는 독립적으로 외부 결선되어 독립적으로 전류 인가가 제어될 수된것을특징으로 하는원통형 자기부상 스테이지. [청구항 6] 청구항 1에 있어서,상기 원통이동부는 영구자석들이 원통 모양을 형성하도록 배열되어 이루어진 영구자석 배열체를 갖는 회전용 원통이동부와 직선이송용 원통이동부를 포함하여 구성되고, 상기 베이스부는 각각 상기 회전용 원통이동부와 직선이송용 원통이동부의 하측으로 전자석들이 원호 모양을 형성하도록 배열되어 이루어진 전자석 배열체를 갖는 회전용 고정부와 직선이송용 고정부를 포함하여구성되는것을특징으로 하는원통형 자기부상 스테이지. [청구항 7] 청구항 6에 있어서,상기 회전용 고정부와 직선이송용 고정부는 상면이 원호를 이루면서 오목하게 형성되어 상면의 원호 내측에 상기 원통이동부의 일부가 수용된 상태로 원통이동부가 회전될 수 있게 되어 있고, 상기 원호의 내측면을 따라 전자석들이 배열되어 설치됨으로써상기회전용고정부와직선이송용고정부의전자석배열체구성되는것을특징으로 하는원통형 자기부상 스테이지. [청구항 8] 청구항 6에 있어서,상기 직선이송용 고정부는 원통이동부의 축방향을 따라 배열된 복수개의 전자석을 각 열로 하여 원주방향의 2열로 전자석들이 분할 배치되는 분할형 전자석 배열체를 구비하고, 분할된 제1전자석 배열체와 제2전자석 배열체는 독립적으로 외부 결선되어 독립적으로 전류 인가가 제어될 수된것을특징으로 하는원통형 자기부상 스테이지. [청구항 9] 청구항 6에 있어서,상기 직선이송용 고정부의 전자석 배열체는 전체 전자석들이 통합적으로 외부 결선되어 통합적으로 전류 인가가 제어될 수 있게 구비되고, 이로써 직선이송용 고정부가 원통이동부 및 원통 금형의 수직방향 제어를, 수평 자기부상 보조부가 수평방향 제어를 독립적으로 담당하도록구성되는것을특징으로 하는원통형 자기부상 스테이지. [청구항 10] 청구항 6에 있어서,상기 회전용 고정부는 복수개의 전자석이 원주방향을 따라 열을 이루도록 배치된 전자석 배열체를 구비하고, 전체 전자석들을 2개의 군으로 나누어 원주방향으로 배치되어 구분되는 제1전자석 배열체와 제2전자석 배열체가 각각 독립적으로 외부 결선되어 독립적으로 전류 제어될 수된것을특징으로 하는원통형 자기부상 스테이지. [청구항 11] 청구항 6에 있어서,상기 회전용 고정부의 전자석 배열체는 전체 전자석들이 통합적으로 외부 결선되어 통합적으로 전류 인가가 제어되고, 이로써 회전용 고정부가 원통이동부 및 원통 금형의 수직방향 제어를, 수평 자기부상 보조부가 수평방향 제어를 독립적으로 담당하도록구성되는것을특징으로 하는원통형 자기부상 스테이지. [청구항 12] 청구항 1에 있어서,상기 원통이동부의 자기부상을 보조하기 위한 수단으로서 상기 원통이동부의 상측으로 배치되고 원통이동부의 영구자석 배열체와의 상호작용에 의한 흡인력을 발생시키도록 강자성체를 가지는수직자기부상보조부더포함하는것을특징으로 하는원통형 자기부상 스테이지. [청구항 13] 청구항 12에 있어서,상기 수직 자기부상 보조부는 설치 높이가 조절됨에 따라 원통이동부의 영구자석 배열체와의 상호작용에 의한흡인력조절되는것을특징으로 하는원통형 자기부상 스테이지.