조명 광학 장치, 노광 장치, 노광 방법, 및 디바이스 제조 방법 document_id 1020107001898

[청구항 2] 제 1 항에 있어서,상기 제 1 광학 부재 및 상기 제 2 광학 부재는, 상기 광축을 가로지르는 면 내를 따라배치되어있는것을특징으로 하는조명 광학 장치. [청구항 3] 제 2 항에 있어서,상기 제 1 광학 부재의 광의 투과 방향을 따른 방향의 두께와, 상기 제 2 광학 부재의 광의 투과 방향을 따른 방향의 두께는, 직선 편광이 입사했을 때에 상기 제 1 광학 부재로부터 사출되는 직선 편광의 편광 방향과 상기 제 2 광학 부재로부터 사출되는직선편광의편광방향설정되어있는것을특징으로 하는조명 광학 장치. [청구항 4] 제 3 항에 있어서,상기 제 1 광학 부재로부터 사출되는 상기 직선 편광의 상기 편광 방향과, 상기 제 2 광학 부재로부터 사출되는상기직선편광의상기편광방향서로직교하는것을특징으로 하는조명 광학 장치. [청구항 5] 제 3 항에 있어서,상기 제 1 광학 부재를 통과하는 광속을 제 1 광속이라고 하고, 상기 제 2 광학 부재를 통과하는 광속을 제 2 광속이라고 할 때, 상기 제 1 광속과 상기 제 2 광속을 상기 조명 광학 장치의 조명 동공면에서 다른 영역을 통과시키기 위한 광속 변환부를구비하는것을특징으로 하는조명 광학 장치. [청구항 6] 제 3 항에 있어서,상기 제 1 광학 부재와 상기 제 2 광학 부재는일체적형성되어있는것을특징으로 하는조명 광학 장치. [청구항 7] 제 1 항에 있어서,상기 제 1 광학 부재와 상기 제 2 광학 부재는, 광의 투과 방향을 따른 방향의 두께가 서로 다른기본소자인것을특징으로 하는조명 광학 장치. [청구항 8] 제 7 항에 있어서,상기 기본 소자는, 상기 광축을 가로지르는 면 내를 따라배치되어있는것을특징으로 하는조명 광학 장치. [청구항 9] 제 8 항에 있어서,상기 제 1 광학 부재의 두께 및 상기 제 2 광학 부재의 두께는, 직선 편광이 입사했을 때에 상기 제 1 광학 부재로부터 사출되는 직선 편광의 편광 방향과 상기 제 2 광학 부재로부터 사출되는직선편광의편광방향설정되어있는것을특징으로 하는조명 광학 장치. [청구항 10] 제 9 항에 있어서,상기 제 1 광학 부재로부터 사출되는 상기 직선 편광의 상기 편광 방향과, 상기 제 2 광학 부재로부터 사출되는상기직선편광의상기편광방향서로직교하는것을특징으로 하는조명 광학 장치. [청구항 11] 제 9 항 또는 제 10 항에 있어서,상기 제 1 광학 부재를 통과하는 광속을 제 1 광속이라고 하고, 상기 제 2 광학 부재를 통과하는 광속을 제 2 광속이라고 할 때, 상기 제 1 광속과 상기 제 2 광속을 상기 조명 광학 장치의 조명 동공면에서 다른 영역을 통과시키기 위한 광속 변환부를구비하는것을특징으로 하는조명 광학 장치. [청구항 12] 제 11 항에 있어서,상기 제 1 광속이 상기 조명 동공면을 통과하는 영역인 제 1 영역과, 상기 제 2 광속이 상기 조명 동공면을 통과하는 영역인 제 2 영역은, 상기 광속 변환부에 의해 상기 조명 동공면에 있어서의 소정 점을 중심으로 하는 고리 형상 영역의 적어도 일부에 위치 결정되고,상기 제 1 광속 및 상기 제 2 광속은, 상기 고리 형상 영역의 원주 방향을 편광 방향으로 하는 직선 편광을 주성분으로 하는편광상태갖는것을특징으로 하는조명 광학 장치. [청구항 13] 제 12 항에 있어서,상기 조명 동공면상에서의 광강도 분포는,상기고리형상영역과동일형상의외형갖는것을특징으로 하는조명 광학 장치. [청구항 14] 제 12 항에 있어서,상기 조명 동공면상에서의 광강도 분포는, 상기 고리 형상 영역 내에 분포하는다극형상인것을특징으로 하는조명 광학 장치. [청구항 15] 제 14 항에 있어서,상기 제 1 영역을 통과하는 상기 제 1 광속의 편광 상태는, 상기 제 1 영역의 원주 방향을 따른 중심 위치에 있어서의 상기 소정 점을 중심으로 하는 원의 접선 방향과 일치한 직선 편광 성분을 갖고,상기 제 2 영역을 통과하는 상기 제 2 광속의 편광 상태는, 상기 제 2 영역의 원주 방향을 따른 중심 위치에 있어서의 상기 소정 점을 중심으로 하는 원의 접선 방향과 일치한직선편광성분갖는것을특징으로 하는조명 광학 장치. [청구항 16] 제 11 항에 있어서,상기 광속 변환부는 상기 조명 동공면에 소정의 광강도 분포를 형성하는회절면구비하는것을특징으로 하는조명 광학 장치. [청구항 17] 제 1 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 광학 부재와 상기 피조사면 사이의 광로 중에 배치된 파면 분할형의 광학 인테그레이터더구비하는것을특징으로 하는조명 광학 장치. [청구항 18] 제 17 항에 있어서,상기 제 1 광학 부재를 통과하는 광속을 제 1 광속으로 하고, 상기 제 2 광학 부재를 통과하는 광속을 제 2 광속으로 할 때, 상기 제 1 광속과 상기 제 2 광속을 상기 조명 광학 장치의 조명 동공면에서 다른 영역을 통과시키기 위한 광속 변환부를 구비하고, 상기 광속 변환부는 상기 광학 인테그레이터의 입사면에 소정의 광강도 분포를 형성하는회절면구비하는것을특징으로 하는조명 광학 장치. [청구항 19] 제 1 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 선광성을 갖는결정광학재료수정인것을특징으로 하는조명 광학 장치. [청구항 20] 제 5 항에 있어서,상기 광속 변환부에 의해 상기 조명 광학 장치의 조명 동공면에 형성되는 광강도 분포는, 상기 조명 동공면에 있어서의 소정 점을 중심으로 하는 고리 형상 영역과 동일 형상의 외형을 갖고,상기 조명 동공면에 형성되는 상기 광강도 분포의 편광 방향은, 상기 고리 형상 영역의 원주 방향을 편광 방향으로 하는 직선 편광을 주성분으로 하는편광상태갖는것을특징으로 하는조명 광학 장치. [청구항 21] 제 5 항에 있어서,상기 광속 변환부에 의해 상기 조명 광학 장치의 조명 동공면에 형성되는 광강도 분포는, 상기 조명 동공면에 있어서의 소정 점을 중심으로 하는 고리 형상 영역 내에 분포하는 다극 형상이며,상기 조명 동공면에 형성되는 상기 다극 형상의 광강도 분포의 편광 방향은, 상기 고리 형상 영역의 원주 방향을 편광 방향으로 하는 직선 편광을 주성분으로 하는편광상태갖는것을특징으로 하는조명 광학 장치. [청구항 22] 제 1 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 제 1 광학 부재 및 상기 제 2 광학 부재는, 상기 조명 광학 장치의 조명 광로에 대하여착탈자유로운것을특징으로 하는조명 광학 장치. [청구항 24] 제 23 항에 있어서,상기 마스크의 상기 패턴의 상을 상기 감광성 기판상에 투영하는 투영 광학계를 구비하고,상기 투영시, 상기 투영 광학계와 상기 감광성 기판 사이에액체채워지는것을특징으로 하는노광 장치. [청구항 28] 제 11 항에 있어서,상기 광속 변환부에 의해 상기 조명 광학 장치의 조명 동공면에 형성되는 광강도 분포는, 상기 조명 동공면에 있어서의 소정 점을 중심으로 하는 고리 형상 영역과 동일 형상의 외형을 갖고,상기 조명 동공면에 형성되는 상기 광강도 분포의 편광 방향은, 상기 고리 형상 영역의 원주 방향을 편광 방향으로 하는 직선 편광을 주성분으로 하는편광상태갖는것을특징으로 하는조명 광학 장치 [청구항 29] 제 11 항에 있어서,상기 광속 변환부에 의해 상기 조명 광학 장치의 조명 동공면에 형성되는 광강도 분포는, 상기 조명 동공면에 있어서의 소정 점을 중심으로 하는 고리 형상 영역 내에 분포하는 다극 형상이며,상기 조명 동공면에 형성되는 상기 다극 형상의 광강도 분포의 편광 방향은, 상기 고리 형상 영역의 원주 방향을 편광 방향으로 하는 직선 편광을 주성분으로 하는편광상태갖는것을특징으로 하는조명 광학 장치.