광전지 생산 라인 document_id 1020107007066

[청구항 2] 제 1 항에 있어서,하나 또는 둘 이상의 클러스터 툴 중 하나, 제 1 스크라이빙 장치, 및 테스트 모듈 사이에서 기판을 이송하도록 배치된 자동화 장치더 포함하는태양 전지 형성 시스템. [청구항 3] 제 1 항에 있어서,상기 실리콘-함유 층의 위쪽에 전도성 층을 부착하도록 구성된 하나 이상의 부착 챔버;기판 표면으로부터 상기 실리콘-함유 층 및 전도성 층의 일부를 제거하도록 구성된 제 2 스크라이빙 장치; 및상기 테스트 모듈 및 하나 또는 둘 이상의 클러스터 툴과 소통하고, 상기 테스트 모듈로부터 수용된 데이터를 기초로 실리콘-함유 층 부착 프로세스를 변경하도록 구성된 시스템 제어부더 포함하는태양 전지 형성 시스템. [청구항 5] 제 4 항에 있어서,상기 하나 또는 둘 이상의 클러스터 툴 중 하나, 상기 하나 또는 둘 이상의 부착 챔버, 및 상기 본딩 와이어 부착 모듈 사이에서 기판을 이송하도록 위치되는 자동화 장치더 포함하는태양 전지 형성 시스템. [청구항 7] 제 6 항에 있어서,상기 제 2 버퍼 챔버가 상기 다수의 기판 지지 위치 상에 배치된 기판의 온도를 제어하기 위한 열 교환 장치더 포함하는태양 전지 형성 시스템. [청구항 8] 제 6 항에 있어서,상기 기판 수용 모듈이 약 5.7 m2 이상의 면적을 가지는기판수용하도록구성되는태양 전지 형성 시스템. [청구항 9] 제 6 항에 있어서,상기 기판의 표면 상에 형성된 층의 일부를 제거하도록 구성된 제 2 스크라이빙 장치; 및상기 제 2 스크라이빙 장치, 하나 또는 둘 이상의 부착 챔버 및 제 3 버퍼 챔버와 이송가능하게 소통하는 제 3 기판 이송 장치로서, 상기 제 3 버퍼 챔버가 다수의 기판 지지 위치를 가지고 그리고 상기 제 2 스크라이빙 장치와 상기 하나 또는 둘 이상의 부착 챔버 사이에 배치되는, 제 3 기판 이송 장치더 포함하는태양 전지 형성 시스템. [청구항 11] 제 10 항에 있어서,상기 하나 또는 둘 이상의 클러스터 툴 중 하나, 하나 또는 둘 이상의 부착 챔버, 및 엣지 시이밍 모듈 사이에서 기판을 이송하도록 배치되는 자동화 장치더 포함하는태양 전지 형성 시스템. [청구항 13] 제 12 항에 있어서,하나 또는 둘 이상의 클러스터 툴 중 하나, 하나 또는 둘 이상의 부착 챔버, 그리고 라미네이션 장치 사이에서 기판을 이송하도록 배치되는 자동화 장치더 포함하는태양 전지 형성 시스템. [청구항 14] 제 12 항에 있어서,유리 레이-업 모듈을 더 포함하며;상기 유리 레이-업 모듈은:상기 기판의 표면 위쪽에 본딩 물질 시트를 자동화된 방식으로 위치시키도록 구성된 제 1 로봇 장치; 상기 본딩 물질 및 상기 기판 표면의 위쪽에 후방 유리 기판을 위치시키도록 구성된 제 2 로봇 장치포함하는태양 전지 형성 시스템. [청구항 17] 제 16 항에 있어서,상기 라미네이션 장치의 하류에 배치된 오토클레이브더 포함하는태양 전지 제조 라인. [청구항 18] 제 17 항에 있어서,상기 오토클레이브가:베슬;상기 베슬의 프로세싱 영역과 유체 소통하는 유체 전달 시스템; 그리고본딩된 다수의 제 1 및 제 2 기판을 프로세싱 영역 내에서 함께 지지하도록 구성되는 기판 지지부포함하는태양 전지 제조 라인. [청구항 19] 제 16 항에 있어서,상기 본딩 와이어 부착 모듈은:제 1 위치로부터 제 2 위치로 기판을 이송하도록 구성된 기판 핸들링 장치;상기 기판의 표면을 보여주도록 배치된 비전 시스템; 상기 기판이 상기 기판 핸들링 장치에 의해서 제 1 위치로부터 제 2 위치로 이동될 때 상기 기판의 표면 상에 형성된 전도성 층 상에 전도성 요소를 실질적으로 동시에 위치시키도록 각각 구성되는 둘 또는 셋 이상의 전도성 요소 부착 장치; 그리고상기 전도성 층 상에 배치된 각각의 전도성 요소의 둘 또는 셋 이상의 영역으로 열을 제공하도록 배치될 수 있는 둘 또는 셋 이상의 땜납 지점포함하는태양 전지 제조 라인. [청구항 20] 제 16 항에 있어서,제조 라인에서 실시되는 하나 또는 둘 이상의 프로세스들의 출력을 특성화하기 위해서 상기 제조 라인을 따라 배치된 하나 또는 둘 이상의 테스트 모듈더 포함하는태양 전지 제조 라인. [청구항 21] 제 20 항에 있어서,상기 하나 또는 둘 이상의 테스트 모듈이:다수의 콘택 핀;상기 다수의 콘택 핀들 중 하나 이상과 전기적으로 소통하는 측정 장치; 상기 제 1 기판의 표면을 보여주도록 배치되고, 카메라, 제어부 및 하나 또는 둘 이상의 로봇 장치의 이용에 의해서 기판 상에 형성된 피쳐들을 보여주도록 구성된 비전 시스템; 및상기 콘택 핀이 기판의 희망 표면과 전기적으로 접촉할 수 있도록 상기 콘택 핀을 상기 기판에 대해서 상대적으로 위치시킬 수 있도록 구성된 액츄에이터포함하는태양 전지 제조 라인. [청구항 22] 제 16 항에 있어서,제 1 기판 세정장치의 하류에 배치되고 그리고 기판 상에 전방 콘택 층을 형성하도록 구성된 하나 또는 둘 이상의 전방 콘택 부착 모듈더 포함하는태양 전지 제조 라인. [청구항 23] 제 16 항에 있어서,상기 라미네이션 장치로부터 하류에 배치된 오토클레이브;제 1 기판 세정장치로부터 하류에 배치되고 그리고 기판 상에 전방 콘택 층을 형성하도록 구성되는 하나 또는 둘 이상의 콘택 부착 모듈; 그리고상기 제조 라인에서 실시되는 하나 또는 둘 이상의 프로세스의 출력을 특성화하기 위해서 상기 제조 라인을 따라서 배치된 하나 또는 둘 이상의 테스트 모듈더 포함하는태양 전지 제조 라인. [청구항 24] 제 16 항에 있어서,태양 전지 지지 구조물 부착 모듈을더 포함하는태양 전지 제조 라인. [청구항 57] 제 56 항에 있어서,상기 기판이 본딩 모듈 내에서 프로세싱된 후에 기판을 가열하도록 배치된 오토클레이브 모듈을 더 포함하는태양 전지를 형성하기 위한자동화되고통합된시스템. [청구항 61] 제 60 항에 있어서,상기 기판이 본딩 모듈 내에서 본딩된 후에 제 1 기판, 제 2 기판 및 본딩 층을 가열하도록 배치되는 오토클레이브 모듈을 더 포함하는태양 전지를 형성하기 위한자동화되고통합된시스템. [청구항 62] 제 60 항에 있어서,시스템 내에서 실시되는 하나 또는 둘 이상의 프로세스의 출력을 특성화하도록 구성된 테스트 모듈을 더 포함하며;상기 테스트 모듈은:다수의 콘택 핀;상기 다수의 콘택 핀들 중 하나 이상과 전기적으로 소통하는 측정 장치; 상기 제 1 기판의 표면을 보여주도록 배치되고, 카메라, 제어부 및 하나 또는 둘 이상의 로봇 장치의 이용에 의해서 기판 상에 형성된 피쳐들을 보여주도록 구성된 비전 시스템; 및상기 콘택 핀이 기판의 희망 표면과 전기적으로 접촉할 수 있도록 상기 콘택 핀을 상기 기판에 대해서 상대적으로 위치시킬 수 있도록 구성된 액츄에이터를 포함하는태양 전지를 형성하기 위한자동화되고통합된시스템. [청구항 63] 제 60 항에 있어서,상기 오토클레이브가:베슬;상기 베슬의 프로세싱 영역과 유체 소통하는 유체 전달 시스템; 그리고상기 프로세싱 영역 내에서 함께 본딩된 다수의 제 1 및 제 2 기판을 지지하도록 구성된 기판 지지부를 포함하는태양 전지를 형성하기 위한자동화되고통합된시스템.