원반형 기판의 검사 장치 document_id 1020107007872

[청구항 2] 제1항에 있어서,상기 막층 가장자리 위치 정보 생성 수단은,상기 촬영 화상 상에 있어서의 상기 면 화상 부분과 상기 외측 화상 부분의 경계선의 상기 둘레 방향의 각 위치에서의 종방향 위치를 검출하는 수단과,상기 면 화상 부분 상에 있어서의 상기 막층 화상 부분의 가장자리선의 상기 둘레 방향의 각 위치에서의 종방향 위치를 검출하는 수단과,검출된 상기 막층 화상 부분의 가장자리선의 상기 둘레 방향의 각 위치에서의 종방향 위치를, 상기 면 화상 부분과 상기 외측 화상 부분의 경계선의 상기 둘레 방향의 대응하는 위치에서의 종방향 위치가 기준으로 되도록 보정하여 상기 막층 가장자리 위치 정보를 생성하는보정수단가지는것을특징으로 하는원반형 기반의 검사 장치. [청구항 3] 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 원반형 기판은 그 상면 가장자리로부터 하면을 향해 경사진 상 외주 베벨면과, 상기 하면 가장자리로부터 상기 상면을 향해 경사진 하 외주 베벨면과, 상기 상 외주 베벨면과 상기 하 외주 베벨면에 접합하는 외주 단면이 외주 부분에 형성된 반도체 웨이퍼로서,상기 촬영부는 상기 상면의 상기 상 외주 베벨면과의 인접 영역, 상기 상 외주 베벨면, 상기 외주 단면, 상기 하 외주 베벨면 및 상기 하면의 상기 하 외주 베벨면과의 인접 영역 중의 어느것촬영하는것을특징으로 하는원반형 기판의 검사 장치. [청구항 4] 제3항에 있어서,상기 촬영부는 상기 반도체 웨이퍼에 있어서의 상기 상면의 상기 상 외주 베벨면과의 인접 영역을 촬영하고,상기 화상 데이터 생성 수단은 상기 촬영부로부터 순차 출력되는 화상 신호에 기초하여, 상기 반도체 웨이퍼의 둘레 방향에 대응하여 뻗어 있는 상기 상면의 상기 상 외주 베벨면과의 인접 영역을 포함하는 촬영 시야 범위에 대응한 촬영 화상을 나타내는 촬영 화상 데이터를 생성하고,상기 막층 가장자리 위치 정보 생성 수단은 상기 촬영 화상 데이터로부터, 상기 촬영 화상 상에 있어서의 상기 상면의 상기 상 외주 베벨면과의 인접 영역에 대응한 상면 화상 부분과 그 상 외주 베벨면측의 외측 화상 부분의 경계선의 상기 둘레 방향의 각 위치에서의 종방향 위치를 기준으로 하여, 상기 상면 화상 부분에 있어서의 상기 막층에 대응한 막층 화상 부분의 가장자리선의 상기 둘레 방향의 대응한 위치에서의 종방향 위치를 나타내는막층가장자리위치정보생성하는것을특징으로 하는원반형 기판의 검사 장치. [청구항 5] 제3항에 있어서,상기 촬영부는 상기 반도체 웨이퍼의 상기 상 외주 베벨면을 촬영하고,상기 화상 데이터 생성 수단은 상기 촬영부로부터 순차 출력되는 화상 신호에 기초하여, 상기 반도체 웨이퍼의 둘레 방향에 대응하여 뻗어 있는 상기 상 외주 베벨면을 포함하는 촬영 시야 범위에 대응한 촬영 화상을 나타내는 촬영 화상 데이터를 생성하고,상기 막층 가장자리 위치 정보 생성 수단은 상기 촬영 화상 데이터로부터, 상기 촬영 화상 상에 있어서의 상기 상 외주 베벨면에 대응한 상 외주 베벨면 화상 부분과 그 상면측의 외측 화상 부분 및 외주 단면측의 외측 화상 부분의 어느 것의 경계선의 상기 둘레 방향의 각 위치에서의 종방향 위치를 기준으로 하여, 상기 상 외주 베벨면 화상 부분에 있어서의 상기 막층에 대응한 막층 화상 부분의 가장자리선의 상기 둘레 방향의 대응한 위치에서의 종방향 위치를 나타내는막층가장자리위치정보생성하는것을특징으로 하는원반형 기판의 검사 장치. [청구항 6] 제3항에 있어서,상기 촬영부는 상기 반도체 웨이퍼의 상기 외주 단면을 촬영하고,상기 화상 데이터 생성 수단은 상기 촬영부로부터 순차 출력되는 화상 신호에 기초하여, 상기 반도체 웨이퍼의 둘레 방향에 대응하여 뻗어 있는 상기 외주 단면을 포함하는 촬영 시야 범위에 대응한 촬영 화상을 나타내는 촬영 화상 데이터를 생성하고,상기 막층 가장자리 위치 정보 생성 수단은 상기 촬영 화상 데이터로부터, 상기 촬영 화상 상에 있어서의 상기 외주 단면에 대응한 외주 단면 화상 부분과 그 상 외주 베벨면측의 외측 화상 부분 및 하 외주 베벨면측의 외측 화상 부분의 어느 것의 경계선의 상기 둘레 방향의 각 위치에서의 종방향 위치를 기준으로 하여, 상기 외주 단면 화상 부분에 있어서의 상기 막층에 대응한 막층 화상 부분의 가장자리선의 상기 둘레 방향의 대응한 위치에서의 종방향 위치를 나타내는막층가장자리위치정보생성하는것을특징으로 하는원반형 기판의 검사 장치. [청구항 7] 제3항에 있어서,상기 촬영부는 상기 반도체 웨이퍼의 상기 하 외주 베벨면을 촬영하고,상기 화상 데이터 생성 수단은 상기 촬영부로부터 순차 출력되는 화상 신호에 기초하여, 상기 반도체 웨이퍼의 둘레 방향에 대응하여 뻗어 있는 상기 하 외주 베벨면을 포함하는 촬영 시야 범위에 대응한 촬영 화상을 나타내는 촬영 화상 데이터를 생성하고,상기 막층 가장자리 위치 정보 생성 수단은 상기 촬영 화상 데이터로부터, 상기 촬영 화상 상에 있어서의 상기 하 외주 베벨면에 대응한 하 외주 베벨면 화상 부분과 그 외주 단면측의 외측 화상 부분 및 하면측의 외측 화상 부분의 어느 것의 경계선의 상기 둘레 방향의 각 위치에서의 종방향 위치를 기준으로 하여, 상기 하 외주 베벨면 화상 상에 있어서의 상기 막층에 대응한 막층 화상 부분의 가장자리선의 상기 둘레 방향의 대응한 위치에서의 종방향 위치를 나타내는막층가장자리위치정보생성하는것을특징으로 하는원반형 기판의 검사 장치. [청구항 8] 제3항에 있어서,상기 촬영부는 상기 반도체 웨이퍼의 상기 하면의 상기 하 외주 베벨면과의 인접 영역을 촬영하고,상기 화상 데이터 생성 수단은 상기 촬영부로부터 순차 출력되는 화상 신호에 기초하여, 상기 반도체 웨이퍼의 둘레 방향에 대응하여 뻗어 있는 상기 하면의 상기 하 외주 베벨면과의 인접 영역을 포함하는 촬영 시야 범위에 대응한 촬영 화상을 나타내는 촬영 화상 데이터를 생성하고,상기 막층 가장자리 위치 정보 생성 수단은 상기 촬영 화상 데이터로부터, 상기 촬영 화상 상에 있어서의 상기 하면의 상기 하 외주 베벨면과의 인접 영역에 대응한 하면 화상 부분과 그 하 외주 베벨면측의 외측 화상 부분의 경계선의 상기 둘레 방향의 각 위치에서의 종방향 위치를 기준으로 하여, 상기 하면 화상 부분에 있어서의 상기 막층에 대응한 막층 화상 부분의 가장자리선의 상기 둘레 방향의 대응한 위치에서의 종방향 위치를 나타내는막층가장자리위치정보생성하는것을특징으로 하는원반형 기판의 검사 장치. [청구항 10] 제9항에 있어서,상기 원반형 기판은 상면의 가장자리에서 하면을 향해 경사진 상 외주 베벨면과, 당해 상 외주 베벨면의 가장자리로부터 이어지는 외주 단면과, 하면으로부터 상기 상면을 향해 기울어져 상기 외주 단면으로 이어지는 하 외주 베벨면이 상기 둘레 방향을 횡단하는 방향으로 연속하도록 형성된 반도체 웨이퍼로서,상기 복수의 면은 상기 상면의 상기 상 외주 베벨면과의 인접 영역, 상기 상 외주 베벨면, 외주 단면, 하 외주 베벨면, 및 하면의 상기 하 외주 베벨면과의 인접 영역 중의 연속하는2이상면인것을특징으로 하는원반형 기판의 검사 장치. [청구항 11] 제10항에 있어서,상기 복수의 면은 상기 상 외주 베벨면, 외주 단면 및 하 외주 베벨면이고,상기 화상 데이터 생성 수단은 상기 촬영부로부터 순차 출력되는 화상 신호에 기초하여, 상기 반도체 웨이퍼의 둘레 방향에 대응하여 뻗어 있는 상기 상 외주 베벨면을 포함하는 촬영 시야 범위에 대응한 제1촬영 화상을 나타내는 제1촬영 화상 데이터와, 상기 외주 단면을 포함하는 촬영 시야 범위에 대응한 제2촬영 화상을 나타내는 제2촬영 화상 데이터와, 상기 하 외주 베벨면을 포함하는 촬영 시야 범위에 대응한 제3촬영 화상을 나타내는 제3촬영 화상 데이터를 생성하고,상기 보정 수단은 상기 제1촬영 화상 상에 있어서의 상기 상 외주 베벨면에 대응한 상 외주 베벨면 화상 부분과 그 상면측의 외측 화상 부분의 경계선의 상기 둘레 방향의 각 위치에서의 종방향 위치를 기준으로 하여, 상기 제1촬영 화상 상의 각 화소점의 상기 둘레 방향의 대응한 위치에서의 종방향 위치가 표시되도록 상기 제1촬영 화상 데이터를 보정하고,상기 제2촬영 화상 상에 있어서의 상기 외주 단면에 대응한 외주 단면 화상 부분과 그 상 외주 베벨면측의 외측 화상 부분의 경계선의 상기 둘레 방향의 각 위치에서의 종방향 위치를 기준으로 하여, 상기 제2촬영 화상의 각 화소점의 상기 둘레 방향의 대응하는 위치에서의 종방향 위치가 표시되도록 상기 제2촬영 화상 데이터를 보정하고,상기 제3촬영 화상 상에 있어서의 상기 하 외주 베벨면에 대응한 하 외주 베벨 화상 부분과 그 외주 단면측의 외측 화상 부분의 경계선의 상기 둘레 방향의 각 위치에서의 종방향 위치를 기준으로 하여, 상기 제3촬영 화상의 각 화소점의 상기 둘레 방향의 대응하는 위치에서의 종방향 위치가 표시되도록 상기 제3촬영 화상 데이터를 보정하고,상기 화상 합성 수단은 보정된 상기 제1촬영 화상 데이터, 제2촬영 화상 데이터 및 제3촬영 화상 데이터로부터, 상기 상 외주 베벨면 화상 부분, 상기 외주 단면 화상 부분 및 상기 하 외주 베벨면 화상 부분을 그들의 대응하는 경계선을 합치시키도록 하여 접합시킨 합성 화상으로서, 상기 제1촬영 화상 상의 상기 경계선을 기준 경계선으로 하여 당해 기준 경계선의 상기 둘레 방향의 각 위치에서의 종방향 위치를 기준으로 하여 각 화소점의 상기 둘레 방향의 대응하는 위치에서의 종방향 위치가 결정된 상기 합성 화상을 나타내는합성화상데이터생성하는것을특징으로 하는원반형 기판의 검사 장치. [청구항 12] 제10항에 있어서,상기 복수의 면은 상기 반도체 웨이퍼의 상면의 상기 상 외주 베벨면과의 인접 영역, 상기 상 외주 베벨면, 외주 단면, 하 외주 베벨면, 및 상기 반도체 웨이퍼의 하면의 상기 하 외주 베벨면과의 인접 영역이고,상기 화상 데이터 생성 수단은 상기 촬영부로부터 순차 출력되는 화상 신호에 기초하여, 상기 반도체 웨이퍼의 둘레 방향에 대응하여 뻗어 있는 상기 상 외주 베벨면을 포함하는 촬영 시야 범위에 대응한 제1촬영 화상을 나타내는 제1촬영 화상 데이터와, 상기 외주 단면을 포함하는 촬영 시야 범위에 대응한 제2촬영 화상을 나타내는 제2촬영 화상 데이터와, 상기 하 외주 베벨면을 포함하는 촬영 시야 범위에 대응한 제3촬영 화상을 나타내는 제3촬영 화상 데이터와, 상기 상면의 상 외주 베벨면과의 인접 영역을 포함하는 촬영 시야 범위에 대응한 제4촬영 화상을 나타내는 제4촬영 화상 데이터와, 상기 하면의 상기 하 외주 베벨면과의 인접 영역을 포함하는 촬영 시야 범위에 대응한 제5촬영 화상을 나타내는 제5촬영 화상 데이터를 생성하고,상기 보정 수단은 상기 제1촬영 화상 상에 있어서의 상기 상 외주 베벨면에 대응한 상 외주 베벨면 화상 부분과 그 상면측의 외측 화상 부분의 경계선의 상기 둘레 방향의 각 위치에서의 종방향 위치를 기준으로 하여, 상기 제1촬영 화상 상의 각 화소점의 상기 둘레 방향의 대응한 위치에서의 종방향 위치가 표시되도록 상기 제1촬영 화상 데이터를 보정하고,상기 제2촬영 화상 상에 있어서의 상기 외주 단면에 대응한 외주 단면 화상 부분과 그 상 외주 베벨면측의 외측 화상 부분의 경계선의 상기 둘레 방향의 각 위치에서의 종방향 위치를 기준으로 하여, 상기 제2촬영 화상의 각 화소점의 상기 둘레 방향의 대응하는 위치에서의 종방향 위치가 표시되도록 상기 제2촬영 화상 데이터를 보정하고,상기 제3촬영 화상 상에 있어서의 상기 하 외주 베벨면에 대응한 하 외주 베벨이 면 화상 부분과 그 외주 단면측의 외측 화상 부분의 경계선의 상기 둘레 방향의 각 위치에서의 종방향 위치를 기준으로 하여, 상기 제3촬영 화상의 각 화소점의 상기 둘레 방향의 대응하는 위치에서의 종방향 위치가 표시되도록 상기 제3촬영 화상 데이터를 보정하고,상기 제4촬영 화상 상에 있어서의 상기 상면의 상기 상 외주 베벨면과의 인접 영역에 대응한 상면 화상 부분과 그 상 외주 베벨면측의 외측 화상 부분의 경계선의 상기 둘레 방향의 각 위치에서의 종방향 위치를 기준으로 하여, 상기 제4촬영 화상의 각 화소점의 상기 둘레 방향의 대응하는 위치에서의 종방향 위치가 표시되도록 상기 제4촬영 화상 데이터를 보정하고,상기 제5촬영 화상 상에 있어서의 상기 하면의 상기 하 외주 베벨면과의 인접 영역에 대응한 하면 화상 부분과 그 인접하는 하 외주 베벨면측의 외측 화상 부분의 경계선의 상기 둘레 방향의 각 위치에서의 종방향 위치를 기준으로 하여, 상기 제5촬영 화상의 각 화소점의 상기 둘레 방향의 대응하는 위치에서의 종방향 위치가 표시되도록 상기 제5촬영 화상 데이터를 보정하고,상기 화상 합성 수단은 보정된 상기 제1촬영 화상 데이터, 제2촬영 화상 데이터, 제3촬영 화상 데이터, 제4촬영 화상 데이터 및 제5촬영 화상 데이터로부터, 상기 상면 화상 부분, 상기 상 외주 베벨면 화상 부분, 상기 외주 단면 화상 부분, 상기 하 외주 베벨면 화상 부분 및 상기 하면 화상 부분을 그들의 대응하는 경계선을 합치시키도록 하여 접합시킨 합성 화상으로서, 상기 제1촬영 화상 상의 상기 경계선을 기준 경계선으로 하여 당해 기준 경계선의 상기 둘레 방향의 각 위치에서의 종방향 위치를 기준으로 하여 각 화소점의 상기 둘레 방향의 대응하는 위치에서의 종방향 위치가 결정된 상기 합성 화상을 나타내는합성화상데이터생성하는것을특징으로 하는원반형 기판의 검사 장치. [청구항 14] 제13항에 있어서,상기 화상 합성 수단은 상기 복수의 면 각각을 포함하는 각 촬영 시야 범위에 대응한 촬영 화상 상에 있어서의 당해 면에 대응한 면 화상 부분과 당해 면에 인접하는 일방의 면측의 외측 화상 부분의 경계선의 상기 둘레 방향의 각 위치에서의 당해 둘레 방향을 횡단하는 방향의 위치를 나타내는 종방향 위치를 기준으로 하여, 각 화소점의 상기 둘레 방향의 대응한 위치에서의 종방향 위치가 표시되도록 상기 촬영 화상을 나타내는 촬영 화상 데이터를 보정하는 보정 수단과,상기 보정된, 상기 복수의 면 각각을 포함하는 각 촬영 시야 범위에 대응한 촬영 화상을 나타내는 촬영 화상 데이터로부터, 상기 복수의 면 중의 소정의 면을 포함하는 촬영 시야 범위에 대응한 촬영 화상 상의 상기 경계선을 기준 경계선으로 하고, 당해 기준 경계선의 상기 둘레 방향의 각 위치에서의 종방향 위치를 기준으로 하여 각 화소점의 상기 둘레 방향의 대응하는 위치에서의 종방향 위치가 결정된 상기 합성 화상을 나타내는 합성 화상 데이터를 생성하는합성화상데이터 생성수단가지는것을특징으로 하는원반형 기판의 검사 장치. [청구항 15] 제13항에 있어서,상기 원반형 기판은, 상면의 가장자리에서 하면을 향해 경사진 상 외주 베벨면과, 당해 상 외주 베벨면의 가장자리로부터 이어지는 외주 단면과, 하면으로부터 상기 상면을 향해 기울어져 상기 외주 단면으로 이어지는 하 외주 베벨면이 상기 둘레 방향을 횡단하는 방향으로 연속하도록 형성된 반도체 웨이퍼로서,상기 복수의 면은 상기 상면의 상기 상 외주 베벨면과의 인접 영역, 상기 상 외주 베벨면, 외주 단면, 하 외주 베벨면, 및 하면의 상기 하 외주 베벨면과의 인접 영역 중의 연속하는2이상면인것을특징으로 하는원반형 기판의 검사 장치. [청구항 16] 제15항에 있어서,상기 복수의 면은 상기 상 외주 베벨면, 외주 단면 및 하 외주 베벨면이고,상기 화상 데이터 생성 수단은, 상기 촬영부로부터 순차 출력되는 화상 신호에 기초하여, 상기 반도체 웨이퍼의 둘레 방향에 대응하여 뻗어 있는 상기 상 외주 베벨면을 포함하는 촬영 시야 범위에 대응한 제1촬영 화상을 나타내는 제1촬영 화상 데이터와, 상기 외주 단면을 포함하는 촬영 시야 범위에 대응한 제2촬영 화상을 나타내는 제2촬영 화상 데이터와, 상기 하 외주 베벨면을 포함하는 촬영 시야 범위에 대응한 제3촬영 화상을 나타내는 제3촬영 화상 데이터를 생성하고,상기 보정 수단은 상기 제1촬영 화상 상에 있어서의 상기 상 외주 베벨면에 대응한 상 외주 베벨면 화상 부분과 그 상면측의 외측 화상 부분의 경계선의 상기 둘레 방향의 각 위치에서의 종방향 위치를 기준으로 하여, 상기 제1촬영 화상 상의 각 화소점의 상기 둘레 방향의 대응한 위치에서의 종방향 위치가 표시되도록 상기 제1촬영 화상 데이터를 보정하고,상기 제2촬영 화상 상에 있어서의 상기 외주 단면에 대응한 외주 단면 화상 부분과 그 상 외주 베벨면측의 외측 화상 부분의 경계선의 상기 둘레 방향의 각 위치에서의 종방향 위치를 기준으로 하여, 상기 제2촬영 화상의 각 화소점의 상기 둘레 방향의 대응하는 위치에서의 종방향 위치가 표시되도록 상기 제2촬영 화상 데이터를 보정하고,상기 제3촬영 화상 상에 있어서의 상기 하 외주 베벨면에 대응한 하 외주 베벨 화상 부분과 그 외주 단면측의 외측 화상 부분의 경계선의 상기 둘레 방향의 각 위치에서의 종방향 위치를 기준으로 하여, 상기 제3촬영 화상의 각 화소점의 상기 둘레 방향의 대응하는 위치에서의 종방향 위치가 표시되도록 상기 제3촬영 화상 데이터를 보정하고,상기 합성 화상 데이터 생성 수단은 보정된 상기 제1촬영 화상 데이터, 제2촬영 화상 데이터 및 제3촬영 화상 데이터로부터, 상기 상 외주 베벨면 화상 부분, 상기 외주 단면 화상 부분 및 상기 하 외주 베벨면 화상 부분을 그들의 대응하는 경계선을 합치시키도록 하여 접합시킨 합성 화상으로서, 상기 제1촬영 화상 상의 상기 경계선을 기준 경계선으로 하여 당해 기준 경계선의 상기 둘레 방향의 각 위치에서의 종방향 위치를 기준으로 하여 각 화소점의 상기 둘레 방향의 대응하는 위치에서의 종방향 위치가 결정된 상기 합성 화상을 나타내는합성화상데이터생성하는것을특징으로 하는원반형 기판의 검사 장치. [청구항 17] 제15항에 있어서,상기 복수의 면은 상기 반도체 웨이퍼의 상면의 상기 상 외주 베벨면과의 인접 영역, 상기 상 외주 베벨면, 외주 단면, 하 외주 베벨면, 및 상기 반도체 웨이퍼의 하면의 상기 하 외주 베벨면과의 인접 영역이고,상기 화상 데이터 생성 수단은, 상기 촬영부로부터 순차 출력되는 화상 신호에 기초하여, 상기 반도체 웨이퍼의 둘레 방향에 대응하여 뻗어 있는 상기 상 외주 베벨면을 포함하는 촬영 시야 범위에 대응한 제1촬영 화상을 나타내는 제1촬영 화상 데이터와, 상기 외주 단면을 포함하는 촬영 시야 범위에 대응한 제2촬영 화상을 나타내는 제2촬영 화상 데이터와, 상기 하 외주 베벨면을 포함하는 촬영 시야 범위에 대응한 제3촬영 화상을 나타내는 제3촬영 화상 데이터와, 상기 상면의 상 외주 베벨면과의 인접 영역을 포함하는 촬영 시야 범위에 대응한 제4촬영 화상을 나타내는 제4촬영 화상 데이터와, 상기 하면의 상기 하 외주 베벨면과의 인접 영역을 포함하는 촬영 시야 범위에 대응한 제5촬영 화상을 나타내는 제5촬영 화상 데이터를 생성하고,상기 보정 수단은 상기 제1촬영 화상 상에 있어서의 상기 상 외주 베벨면에 대응한 상 외주 베벨면 화상 부분과 그 상면측의 외측 화상 부분의 경계선의 상기 둘레 방향의 각 위치에서의 종방향 위치를 기준으로 하여, 상기 제1촬영 화상 상의 각 화소점의 상기 둘레 방향의 대응한 위치에서의 종방향 위치가 표시되도록 상기 제1촬영 화상 데이터를 보정하고,상기 제2촬영 화상 상에 있어서의 상기 외주 단면에 대응한 외주 단면 화상 부분과 그 상 외주 베벨면측의 외측 화상 부분의 경계선의 상기 둘레 방향의 각 위치에서의 종방향 위치를 기준으로 하여, 상기 제2촬영 화상의 각 화소점의 상기 둘레 방향의 대응하는 위치에서의 종방향 위치가 표시되도록 상기 제2촬영 화상 데이터를 보정하고,상기 제3촬영 화상 상에 있어서의 상기 하 외주 베벨면에 대응한 하 외주 베벨 화상 부분과 그 외주 단면측의 외측 화상 부분의 경계선의 상기 둘레 방향의 각 위치에서의 종방향 위치를 기준으로 하여, 상기 제3촬영 화상의 각 화소점의 상기 둘레 방향의 대응하는 위치에서의 종방향 위치가 표시되도록 상기 제3촬영 화상 데이터를 보정하고,상기 제4촬영 화상 상에 있어서의 상기 상면의 상기 상 외주 베벨면과의 인접 영역에 대응한 상면 화상 부분과 그 상 외주 베벨면측의 외측 화상 부분의 경계선의 상기 둘레 방향의 각 위치에서의 종방향 위치를 기준으로 하여, 상기 제4촬영 화상의 각 화소점의 상기 둘레 방향의 대응하는 위치에서의 종방향 위치가 표시되도록 상기 제4촬영 화상 데이터를 보정하고,상기 제5촬영 화상 상에 있어서의 상기 하면의 상기 하 외주 베벨면과의 인접 영역에 대응한 하면 화상 부분과 그 인접하는 하 외주 베벨면측의 외측 화상 부분의 경계선의 상기 둘레 방향의 각 위치에서의 종방향 위치를 기준으로 하여, 상기 제5촬영 화상의 각 화소점의 상기 둘레 방향의 대응하는 위치에서의 종방향 위치가 표시되도록 상기 제5촬영 화상 데이터를 보정하고,상기 화상 합성 수단은 보정된 상기 제1촬영 화상 데이터, 제2촬영 화상 데이터, 제3촬영 화상 데이터, 제4촬영 화상 데이터 및 제5촬영 화상 데이터로부터, 상기 상면 화상 부분, 상기 상 외주 베벨면 화상 부분, 상기 외주 단면 화상 부분, 상기 하 외주 베벨면 화상 부분 및 상기 하면 화상 부분을 그들의 대응하는 경계선을 합치시키도록 하여 접합시킨 합성 화상으로서, 상기 제1촬영 화상 상의 상기 경계선을 기준 경계선으로 하여 당해 기준 경계선의 상기 둘레 방향의 각 위치에서의 종방향 위치를 기준으로 하여 각 화소점의 상기 둘레 방향의 대응하는 위치에서의 종방향 위치가 결정된 상기 합성 화상을 나타내는합성화상데이터생성하는것을특징으로 하는원반형 기판의 검사 장치.