문맥 (context)
[청구항 2]
제 1 항에 있어서,부에 의해 보지된 상기 피처리체의 이면측에서 주연부 외방을 향하여 돌출되어 배치되어 상기 피처리체를 거친 처리액을 안내하는 이면측 안내부를 더 구비하고,상기 저장부는, 상기 이면측 안내부의 상기 제 1 하우징측과 반대측에 위치하여 상기 이면측 안내부에 의해 안내된 처리액저장하는액처리 장치.
[청구항 3]
제 1 항에 있어서,상기 제 1 하우징과 상기 제 2 하우징과의 사이에 배치되며, 상기 제 1 하우징과 상기 제 2 하우징과의 사이를 밀봉하는 씰링 부재더 구비한액처리 장치.
[청구항 4]
제 1 항에 있어서,부에 의해 보지된 상기 피처리체의 표면측에 배치되어 상기 피처리체의 표면을 거친 처리액을 안내하는 표면측 안내부더 구비한액처리 장치.
[청구항 5]
제 1 항에 있어서,상기 피처리체를 가열하기 위한 가열부더 구비한액처리 장치.
[청구항 6]
제 1 항에 있어서,부에 의해 보지된 상기 피처리체로 질소 가스를 공급하는 질소 가스 공급부와, 상기 질소 가스 공급부로부터 공급되는 질소 가스를 가열하는 가열부더 구비한액처리 장치.
[청구항 7]
제 1 항에 있어서,상기 제 1 하우징과 상기 제 2 하우징에 의해 형성되는 공간 내의 기체 또는 액체를 배출하는 배출부를 더 구비하고,상기 배출부는, 상기 피처리체의 회전 방향을 따라 상기 공간 내의 기체 또는 액체배출하는액처리 장치.
[청구항 8]
제 1 항에 있어서,상기 제 1 하우징은, 상기 보지부에 의해 보지된 상기 피처리체 표면의 주연부와 대향하는 위치에, 상기 피처리체의 주연부 방향을 향할수록 상기 피처리체로부터 멀어지도록 경사진 표면측 경사부를 가지며,상기 표면측 처리액 공급 노즐이 상기 표면측 경사부설치되어 있는액처리 장치.
[청구항 9]
제 8 항에 있어서,상기 제 2 하우징은, 상기 보지부에 의해 보지된 상기 피처리체 이면의 주연부와 대향하는 위치에, 상기 피처리체의 주연부 방향을 향할수록 상기 피처리체로부터 멀어지도록 경사진 이면측 경사부와, 상기 이면측 경사부에 설치되어 상기 피처리체 이면의 주연부에 처리액을 공급하는 이면측 처리액 공급 노즐가지는액처리 장치.
[청구항 10]
제 8 항에 있어서,상기 표면측 처리액 공급 노즐은, 약액을 공급하는 표면측 약액 공급 노즐과, 린스액을 공급하는 표면측 린스액 공급 노즐로 이루어지며,상기 표면측 린스액 공급 노즐이 상기 피처리체로 린스액을 공급하는 위치는, 상기 표면측 약액 공급 노즐이 상기 피처리체로 약액을 공급하는 위치보다 내방측에 있는액처리 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
액처리 장치에서 표면측 린스액 공급 노즐과 표면측 약액 공급 노즐의 상대적인 배치 위치 관계는 어떠한가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation액처리 장치 내에서 표면측 린스액 공급 노즐과 표면측 약액 공급 노즐의 상대적인 배치 위치 관계를 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 10에서 표면측 처리액 공급 노즐의 구성과 각 노즐의 위치 관계에 대한 정보를 추출한다.
- 상기 표면측 처리액 공급 노즐은, 약액을 공급하는 표면측 약액 공급 노즐과, 린스액을 공급하는 표면측 린스액 공급 노즐로 이루어지며,상기 표면측 린스액 공급 노즐이 상기 피처리체로 린스액을 공급하는 위치는, 상기 표면측 약액 공급 노즐이 상기 피처리체로 약액을 공급하는 위치보다 내방측에 있는
-
3근거 선택
evidence_selection린스액 공급 노즐의 위치가 약액 공급 노즐의 위치보다 내방측에 있다는 구절을 핵심 근거로 선택한다.
- 상기 표면측 린스액 공급 노즐이 상기 피처리체로 린스액을 공급하는 위치는, 상기 표면측 약액 공급 노즐이 상기 피처리체로 약액을 공급하는 위치보다 내방측에 있는
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4논리 통합
logical_integration린스액 공급 노즐의 위치가 약액 공급 노즐의 위치를 기준으로 '내방측'에 위치함을 확인하여 관계를 도출한다.
- 상기 표면측 린스액 공급 노즐이 상기 피처리체로 린스액을 공급하는 위치는, 상기 표면측 약액 공급 노즐이 상기 피처리체로 약액을 공급하는 위치보다 내방측에 있는
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5결론 도출
conclusion_formulation표면측 린스액 공급 노즐은 표면측 약액 공급 노즐보다 내방측에 배치된다.
- 상기 표면측 린스액 공급 노즐이 상기 피처리체로 린스액을 공급하는 위치는, 상기 표면측 약액 공급 노즐이 상기 피처리체로 약액을 공급하는 위치보다 내방측에 있는
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6답변 생성
answer_generation질문에 대해 추출된 정보를 바탕으로 최종 답변을 작성한다.
- 상기 표면측 린스액 공급 노즐이 상기 피처리체로 린스액을 공급하는 위치는, 상기 표면측 약액 공급 노즐이 상기 피처리체로 약액을 공급하는 위치보다 내방측에 있는
최종 답변 (final_answer)
상기 표면측 린스액 공급 노즐이 상기 피처리체로 린스액을 공급하는 위치는, 상기 표면측 약액 공급 노즐이 상기 피처리체로 약액을 공급하는 위치보다 내방측에 있다.
핵심 해석 (core_interpretation)
액처리 장치의 표면측 처리액 공급 노즐 구성 시, 린스액 공급 위치를 약액 공급 위치보다 내방측에 배치하여 공정 순서나 흐름을 제어한다.