리니어 모터 및 부품 이송 장치 document_id 1020107010676

[청구항 1] 자성체와 전기자를 구비하고, 상기 전기자로의 급전시에 상기 전기자와 상기 자성체 사이에서 발생하는 자속의 상호작용에 의해 소정의 직선상의 이동 방향을 따라 상기 자성체와 상기 전기자가 상대적으로 변위하는 힘을 생성하는 리니어 모터로서, 상기 이동 방향을 베이스면 상에 설정하는 베이스 플레이트 상기 베이스 플레이트에 대하여 상기 이동 방향을 따라 상대적으로 왕복 이동가능하게 부착되는 가동부 상기 가동부의 상기 이동 방향과 직교하는 상기 베이스면의 폭방향 일단 측면에 나란히 설치되고, 상기 자성체와 상기 전기자의 어느 한쪽에 구성되는 가동자; 및 상기 가동자에 대하여 상기 폭방향의 일단측으로부터 타단측으로 대향하도록 상기 베이스 플레이트의 상기 베이스면에 배치되고, 상기 이동 방향을 따라 상기 자성체와 상기 전기자의 어느 다른 쪽에 구성되는 고정자 상기 베이스 플레이트의 베이스면에 설치된 한쌍의 서브티쓰로서, 각 서브티스는 가동중에 발생할 수 있는 코깅력 을 저감하도록 구성되어 있는 한쌍의 써브티쓰; 및 상기 베이스 플레이트에 설치된 자성플레이트로서, 일부가 상기 서브티쓰에 의한 코깅력의 저감효과를 보충하도록 상기 한쌍의 서브티쓰 사이에 배치되는 자성체 플레이트를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 리니어 모터 [청구항 2] 제 1 항에 있어서,상기 베이스 플레이트에 고정되고, 상기 베이스면에 대하여 상기 이동 방향을 따라 연장된 직선상의 레일;상기 레일을 따라서 상기 이동 방향을 따라 왕복 이동가능하게 설치된 슬라이더; 및상기 슬라이더에 부착되고, 상기 가동부의 일부를 구성하는 가동 베이스를 구비하고,상기 가동자는상기가동베이스의상기폭방향일단측면부착되어있는것을특징으로 하는리니어 모터. [청구항 3] 제 1 항에 있어서,상기 베이스 플레이트에 고정되고, 상기 베이스면에 대하여 상기 이동 방향을 따라 연장된 직선상의 레일; 및상기 레일을 따라서 상기 이동 방향을 따라 왕복 이동가능하게 설치되고, 상기 가동부의 일부를 구성하는 슬라이더를 구비하고,상기 가동자는상기슬라이더의폭방향일단측면부착되어있는것을특징으로 하는리니어 모터. [청구항 4] 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 베이스 플레이트의 외부 가장자리 부분에 형성되고, 상기 베이스 플레이트의 전방으로 연장되는 직립 벽을 더 구비하고,상기 직립 벽의 전후 방향의 치수는 상기 고정자의 안길이이상설정되는것을특징으로 하는리니어 모터. [청구항 5] 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 베이스 플레이트와 상기 가동부의 어느 한쪽에 설치되는 리니어 스케일;상기 리니어 스케일에 대하여 상기 폭방향을 따라 대향하도록 상기 베이스 플레이트와 상기 가동부의 어느 다른 쪽에 설치되어 상기 리니어 스케일과의 상대 위치를 검출하는 센서; 및 상기 센서의 검출에 의거해서 상기 이동 방향에 있어서의 상기 가동부의 위치를 검출하는검출수단더구비하고있는것을특징으로 하는리니어 모터. [청구항 6] 제 5 항에 있어서,상기 리니어 스케일 및 상기 센서 중한쪽은 상기 가동부의 상기 폭방향 타단 측면에 설치되고,상기 리니어 스케일 및 상기 센서의 각 대향면이 평행하게 근접하도록상기리니어 스케일및상기센서배치되어있는것을특징으로 하는리니어 모터. [청구항 7] 제 6 항에 있어서,상기 센서를 제어하는 센서 제어 유닛을 더 구비하고,상기 리니어 스케일이 상기 타단 측면에 설치되는 한편, 상기 폭방향에 있어서 상기 센서가 상기 리니어 스케일에 대하여 타단측으로부터 일단측으로 대향하도록 배치됨과 아울러 상기 센서 제어 유닛이상기센서의반리니어 스케일측배치되어있는것을특징으로 하는리니어 모터. [청구항 8] 제 7 항에 있어서,상기 베이스 플레이트의 외부 가장자리 부분에 형성되고, 상기 베이스 플레이트의 전방으로 연장되는 직립 벽을 더 구비하고,상기 직립 벽의 전후 방향의 치수는 상기 고정자의 안길이 이상으로 설정되며,상기 직립 벽에는 상기 센서 제어 유닛을 착탈가능한장착부가설치되어있는것을특징으로 하는리니어 모터. [청구항 9] 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 가동자를 제 1 가동자로 하고, 상기 고정자를 제 1 고정자로 했을 때,상기 가동부의 상기 폭방향 타단 측면에 나란히 설치되고, 상기 제 1 가동자 및 제 1 고정자와 다른 자성체와 전기자의 어느 한쪽을 구성하는 제 2 가동자; 및상기 제 2 가동자의 폭방향의 타단측에 설치되고, 상기 제 1 가동자 및 제 1 고정자와 다른 자성체와 전기자의 어느 다른 쪽을 구성하는 제 2 고정자를 더 구비하고,상기 제 1 가동자 및 상기 제 1 고정자에서 발생하는 자속의 상호작용과 상기 제 2 가동자 및 상기 제 2 고정자에서 발생하는 자속의 상호작용에 의해 상기 가동부를상기이동방향구동하는것을특징으로 하는리니어 모터. [청구항 10] 피구동물을 이동 방향으로 이동시키는 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 기재된 리니어 모터로서, 상기 피구동물은 연결 수단을 통해서 착탈가능하게 상기 가동부에 부착되어 있는 것을 특징으로 하는 리니어 모터 [청구항 11] 제 10 항에 있어서,상기 연결 수단은 상기 피구동물과 상기 가동부를 연결하는연결부재구비하고있는것을특징으로 하는리니어 모터. [청구항 12] 제 11 항에 있어서,상기 연결 수단은 상기 이동 방향에 있어서 상기 가동부의 단부에 상기 연결 부재를 고정하는나사부구비하고있는것을특징으로 하는리니어 모터. [청구항 13] 부품 수용부로부터 부품 탑재 영역으로 부품을 이송하는 부품 이송 장치로서, 베이스 부재와, 상기 베이스 부재에 대하여 상하 방향으로 이동가능하게 지지되고 선단부에 흡착 노즐이 부착됨과 아울러 후단부에 접속된 부압 배관을 통해서 공급되는 부압을 상기 흡착 노즐에 제공하는 노즐 샤프트와, 상기 노즐 샤프트를 상기 상하 방향으로 구동하는 상하 구동 기구를 포함하는 헤드 유닛, 및 상기 부품 수용부의 상방 위치와 상기 부품 탑재 영역의 상방 위치 사이에서 상기 헤드 유닛을 이동시키는 헤드 구동 수단을 구비하고, 상기 상하 구동 기구는 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 기재된 리니어 모터이며, 상기 리니어 모터의 상기 베이스 플레이트는 상기 이동 방향이 상기 상하 방향과 평행하도록 상기 베이스 부재에 부착되고, 상기 리니어 모터의 상기 가동부는 상기 노즐 샤프트에 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 부품 이송 장치 [청구항 14] 부품 수용부로부터 부품 탑재 영역으로 부품을 이송하는 부품 이송 장치로서, 베이스 부재와, 상기 베이스 부재에 대하여 상하 방향으로 이동가능하게 지지되고 선단부에 흡착 노즐이 부착됨과 아울러 후단부에 접속된 부압 배관을 통해서 공급되는 부압을 상기 흡착 노즐에 제공하는 노즐 샤프트와, 상기 노즐 샤프트를 상기 상하 방향으로 구동하는 상하 구동 기구를 포함하는 헤드 유닛, 및 상기 부품 수용부의 상방 위치와 상기 부품 탑재 영역의 상방 위치 사이에서 상기 헤드 유닛을 이동시키는 헤드 구동 수단을 구비하고, 상기 상하 구동 기구는 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 기재된 리니어 모터이며, 상기 리니어 모터는, 상기 베이스 플레이트와 상기 가동부의 어느 한쪽에 설치되는 리니어 스케일과, 상기 리니어 스케일에 대하여 상기 폭방향을 따라 대향하도록 상기 베이스 플레이트와 상기 가동부의 어느 다른 쪽에 설치되어 상기 리니어 스케일과의 상대 위치를 검출하는 센서, 및 상기 센서의 검출에 의거해서 상기 이동 방향에 있어서의 상기 가동부의 위치를 검출하는 검출 수단을 더 구비하고 있고, 상기 리니어 모터의 상기 베이스 플레이트는 상기 이동 방향이 상기 상하 방향과 평행하도록 상기 베이스 부재에 부착되고, 상기 리니어 모터의 상기 가동부는 상기 노즐 샤프트에 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 부품 이송 장치 [청구항 15] 부품 수용부로부터 부품 탑재 영역으로 부품을 이송하는 부품 이송 장치로서, 베이스 부재와, 상기 베이스 부재에 대하여 상하 방향으로 이동가능하게 지지되고 선단부에 흡착 노즐이 부착됨과 아울러 후단부에 접속된 부압 배관을 통해서 공급되는 부압을 상기 흡착 노즐에 제공하는 노즐 샤프트와, 상기 노즐 샤프트를 상기 상하 방향으로 구동하는 상하 구동 기구를 포함하는 헤드 유닛, 및 상기 부품 수용부의 상방 위치와 상기 부품 탑재 영역의 상방 위치 사이에서 상기 헤드 유닛을 이동시키는 헤드 구동 수단을 구비하고, 상기 상하 구동 기구는 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 기재된 리니어 모터이며, 상기 리니어 모터는, 상기 가동자를 제 1 가동자로 하고, 상기 고정자를 제 1 고정자로 했을 때, 상기 가동부의 상기 폭방향 타단 측면에 나란히 설치되고, 상기 제 1 가동자 및 제 1 고정자와 다른 자성체와 전기자의 어느 한쪽을 구성하는 제 2 가동자, 및 상기 제 2 가동자의 폭방향의 타단측에 설치되고, 상기 제 1 가동자 및 제 1 고정자와 다른 자성체와 전기자의 어느 다른 쪽을 구성하는 제 2 고정자를 더 구비하고, 상기 리니어 모터는 상기 제 1 가동자 및 상기 제 1 고정자에서 발생하는 자속의 상호작용과 상기 제 2 가동자 및 상기 제 2 고정자에서 발생하는 자속의 상호작용에 의해 상기 가동부를 상기 이동 방향으로 구동하는 것이며, 상기 리니어 모터의 상기 베이스 플레이트는 상기 이동 방향이 상기 상하 방향과 평행하도록 상기 베이스 부재에 부착되고, 상기 리니어 모터의 상기 가동부는 상기 노즐 샤프트에 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 부품 이송 장치