압전 액츄에이터, 구동장치, 위치결정장치 및 레이저 모듈 document_id 1020107010740

[청구항 1] 신축층과 전극층을 교대로 적층한 적층형 압전소자와, 상기 압전소자의 신축방향 단부에 일단이 고정된 구동축과, 상기 구동축에 마찰로 걸어맞추어지는 이동체와, 상기 압전소자의 외주에 접착된 칼라를 갖되, 상기 칼라는 복수의 상기 신축층에 대해 상기 신축층에 대한 구속력이 상기 압전소자의 상기 신축방향에 수직인 단면 중심에서 보아 불균형으로 되도록 접착되어 있는 것을 특징으로 하는 압전 액츄에이터 [청구항 2] 제1항에 있어서,상기 칼라는상기신축층의외주일부분비접착인것을특징으로 하는압전 액츄에이터. [청구항 3] 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 칼라는 부분적으로 영률이 다른 접착제에 의해상기신축층접착되어있는것을특징으로 하는압전 액츄에이터. [청구항 4] 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,상기 압전소자의 외주의 형상이 사각형이고,상기외주의1변이상기칼라접착되어있는것을특징으로 하는압전 액츄에이터. [청구항 5] 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,상기 압전소자의 외주의 형상이 사각형이고,상기외주의3변이상기칼라접착되어있는것을특징으로 하는압전 액츄에이터. [청구항 6] 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,상기 압전소자의 외주의 형상이 원형이고, 상기 칼라는상기압전소자의약반원주접착되어있는것을특징으로 하는압전 액츄에이터. [청구항 7] 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,상기 칼라는 상기 압전소자의 단면 중심에서 보아적어도일부개방되어있는것을특징으로 하는압전 액츄에이터. [청구항 8] 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서,상기 칼라는 상기 압전소자 및 상기 구동축이 끼워맞추어지는구멍가진것을특징으로 하는압전 액츄에이터. [청구항 9] 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,상기 칼라는상기압전소자및상기구동축의접합부지지하는것을특징으로 하는압전 액츄에이터. [청구항 10] 제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서,동체는 작용점이 상기 압전소자의 단면 중심에서 보아 상기 칼라에 의한 구속력이 가장 불균형으로 되는 방향으로 상기 구동축으로부터 벗어나있는것을특징으로 하는압전 액츄에이터. [청구항 11] 제1항 내지 제11항 중 어느 한 항에 기재된 압전 액츄에이터와, 상기 압전 액츄에이터의 상기 압전소자에 대해 상기 이동체를 미끄럼 이동시키도록 상기 압전 액츄에이터의 상기 구동축을 비대칭으로 왕복이동시키는 주기적인 이동 구동전압 및 상기 이동체가 미끄럼 이동하지 않도록 상기 구동축을 완만하게 이동시키는 정동 구동전압을 인가할 수 있는 구동회로를 가진 것을 특징으로 하는 구동장치 [청구항 12] 제11항에 있어서,상기 정동 구동전압은 상기 이동 구동전압 보다 주파수가 낮은 주기적인전압인것을특징으로 하는구동장치. [청구항 13] 제11항 또는 제12항에 기재된 구동장치와, 상기 구동장치의 상기 이동체가 소정의 위치에 있을 때에 최대치를 나타내고, 상기 소정의 위치로부터 멀어질수록 정도 작아지는 변위출력을 출력하는 변위검출수단을 갖고, 상기 구동장치의 상기 구동회로는 상기 정동 구동에 의해 상기 이동체를 이동시켰을 때의 상기 변위출력의 변화를 기초로 상기 변위출력이 최대로 되도록 상기 이동 구동전압의 인가량을 정하는 제어수단을 가진 것을 특징으로 하는 위치결정장치 [청구항 14] 제13항에 기재된 위치결정장치와, 레이저광을 수광해서 출력하는 수광부재를 갖고, 상기 위치결정장치의 상기 변위검출수단은 상기 수광부재의 출력을 검출하는 센서이고, 상기 위치결정장치의 상기 이동체는 상기 레이저광을 상기 수광부재에 대해 위치결정하는 광학부재인 것을 특징으로 하는 레이저 모듈