반도체 웨이퍼 세척 방법 및 장치 document_id 1020107015272

[청구항 2] 제 1 항에 있어서,세척액을 운반하는 적어도 하나의 노즐을 추가포함하는장치. [청구항 3] 제 1항에 있어서,상기 사용된 세척액이 상기 트레이로 향하도록 하는 쉬라우드를 추가로 포함하며, 상기 쉬라우드는 상기 트레이 위에 위치되며, 상기 쉬라우드는 액츄에이터에 의해 상하 수직이동되는장치. [청구항 4] 제 3항에 있어서,세라믹, 테플론(teflon), 피크(peek) 혹은 폴리비닐리덴 플루오라이드 중 하나제조되는장치. [청구항 5] 제 1항에 있어서,상기 트레이를 상기 반도체 기판을 로드혹은 언로드 하기 위해 상기 척에 대한 제 1 위치인 아래로 그리고 세척 혹은 컨디셔닝 공정이 수행되도록 제 2 위치인 위로 구동시키는 구동수단(driving menas)을 추가포함하는장치. [청구항 6] 제 1항에 있어서,상기 트레이는 세라믹, 테플론(teflon), 피크(peek) 혹은 폴리비닐리덴 플루오라이드 중 하나제조되는장치. [청구항 7] 제 1항에 있어서,상기 척은 수직으로 움직이는 디스크를 추가로 포함하며, 상기 디스크는 상기 반도체 기판을 로딩 혹은 언로딩하는 제 1위치로 이동되며, 상기 반도체 기판을 상기 척에 위치시키기 위해 제 2 위치이동되는장치. [청구항 8] 제 1항에 있어서,상기 척을 상기 반도체 기판을 로딩 혹은 언로딩하기 위한 제 1위치 및 세척 혹은 컨디셔닝 공정이 수행되도록 제 2 위치로 구동시키는 수직으로 움직이는 메카니즘을 추가포함하는장치. [청구항 9] 제 1항에 있어서,상기 트레이는 사용된 세척액을 상기 트레이의 상기 표면으로 부터 멀리 제거(purge)하기 위한 최소 하나의 질소 노즐포함하는장치. [청구항 10] 제 1항에 있어서,상기 트레이는 내부 환상형 날개 및 외부 환상형 날개를 추가포함하는장치. [청구항 11] 제 1항에 있어서,상기 드레인 아웃렛을 개방 혹은 폐쇄하기 위해 상기 트레이의 상기 드레인 아웃렛 아래에 위치되는 에어 팽창된 밀봉을 추가포함하는장치. [청구항 12] 제 1항에 있어서,드레인 아웃렛과 리셉터 사이에 위치되는 에어 팽창된 도넛 밀봉을 추가포함하는장치. [청구항 13] 제 12항에 있어서,상기 드레인 아웃렛은 상기 사용된 세척액을 상기 트레이로 부터 흡입하여 제거하기 위한 펌프를 추가포함하는장치. [청구항 14] 제 13항에 있어서,상기 펌프는 가압 가스 구동 벤튜라 펌프인장치. [청구항 15] 제 1항에 있어서,상기 트레이의 바깥쪽에 위치하는 정지 수집기(stationary collector)를 추가포함하는장치. [청구항 16] 제 1항에 있어서,상기 트레이의 바깥쪽에 위치하는 정지 수집기, 상기 트레이 및 정지 수집기 부분의 위에 위치하는 이동가능한 쉬라우드를 추가포함하는장치. [청구항 17] 제 1항에 있어서,이동가능한 수집기 및 상기 트레이의 바깥쪽에 위치하는 액츄에이터를 추가로 포함하며, 상기 액츄에이터는 상기 수집기를 상기 반도체 기판을 로드 혹은 언로드하기 위해 상기 척에 대한 제 1위치인 아래로 그리고 상기 반도체 기판을 세척 혹은 컨디셔닝하는 도중에 제 2 위치인 위로이동시키는장치. [청구항 18] 제 17항에 있어서,상기 사용된 세척액이 상기 이동가능한 수집기로 향하도록 하고 상기 사용된 세척액이 상기 트레이의 상기 드레인 아웃렛내로 흘러들어가는 것을 방지하는 상기 트레이의 위에 위치하는 쉬라우드를 추가포함하는장치. [청구항 20] 제 19항에 있어서,상기 이동 수단은 상기 플레이트가 축 둘레를 회전하도록 상기 플레이트를 구동시키는 회전 메카니즘인장치. [청구항 21] 제 19항에 있어서,상기 이동 수단은 측면으로 움직이도록 상기 플레이트를 구동시키는 병진 운동 메카니즘인장치. [청구항 22] 제 19항에 있어서,상기 척은 수직으로 움직이는 디스크를 추가로 포함하며, 상기 디스크는 상기 반도체 기판을 로드 혹은 언로드 하기 위한 제 1위치 및 상기 반도체 기판이 상기 척에 놓이거나 혹은 상기 척에서 내려지도록 하기 위한 제 2 위치이동되는장치. [청구항 23] 제 19항에 있어서,상기 장치는 상기 척을 상기 반도체 기판이 로드 혹은 언로드 되는 제 1 위치 및 세척 혹은 컨디셔닝 공정이 수행되는 제 2 위치로 구동시키는 수직으로 움직이는 메카니즘을 추가포함하는장치. [청구항 24] 제 19항에 있어서,상기 트레이는 상기 사용된 세척액이 상기 챔버의 표면으로 부터 멀리 제거(purge)하기 위한 적어도 하나의 질소 노즐포함하는장치. [청구항 25] 제 19항에 있어서,상기 챔버로 부터 상기 사용된 세척액을 폐기하기 위한 상기 드레인을 개방 혹은 폐쇄하기 위해 상기 챔버의 상기 드레인 아웃렛 아래에 위치하는 에어 팽창된 볼 밀봉을 추가포함하는장치. [청구항 26] 제 19항에 있어서,상기 챔버의 상기 드레인 아웃렛과 상기 플레이트 상의 상기 리셉터 사이에 위치하는 에어 팽창된 도넛 밀봉을 추가포함하는장치. [청구항 27] 제 19항에 있어서,상기 드레인 아웃렛은 상기 사용된 세척액을 상기 챔버로 부터 빨리 흡입하여 제거하는 펌프를 추가포함하는장치.