문맥 (context)
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 편향 전극들각각은 스트립형태인 것인,리소그래피 시스템.
[청구항 3]
제2항에 있어서,복수의 인접한 상기 편향 전극들 각각에는 서로 상반되는 극성의 전위인가되는 것인,리소그래피 시스템.
[청구항 4]
제2항에 있어서,상기 스트립들은 플레이트(plate) 상배치되는 것인,리소그래피 시스템.
[청구항 5]
제4항에 있어서,상기 편향 전극들은 표적 노출 표면측에서 상기 플레이트의 측면 상배치되는 것인,리소그래피 시스템.
[청구항 6]
제1항에 있어서,상기 편향 전극들은 스트립 형태의 전극들포함하는 것인,리소그래피 시스템.
[청구항 7]
제6항에 있어서,상기 편향 전극들은 전송된빔릿근접하게배치되는 것인,리소그래피 시스템.
[청구항 8]
제7항에 있어서,상기 변조 어레이와 상기 정전기적 주사 편향기들의 어레이 사이에 위치한 빔릿 스톱 어레이(beamlet stop array)를 더 포함하고, 상기 편향 전극들은, 상기 정전기적 렌즈들의 정면 초점면에서 편향이 발생하도록, 상기 빔릿 스톱 어레이의 타겟 노출 표면측 상배치되는 것인,리소그래피 시스템.
[청구항 9]
제8항에 있어서,상기 편향 전극들은 상기 변조 어레이에 있는 개개의 빔릿 크로스오버 평면 외부위치하는 것인,리소그래피 시스템.
[청구항 10]
제1항에 있어서,상기 주사 편향 전극들은 제1 그룹의 스트립과 제2 그룹의 스트립을 포함하고, 상기 제1 그룹의 스트립은 제1 방향으로 주사하도록 배열되고, 상기 제2 그룹의 스트립은 제2 방향으로 주사하도록 배열되며, 상기 제1 방향은 상기 제2 방향반대인 것인,리소그래피 시스템.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
리소그래피 시스템에서 주사 편향 전극을 구성하는 제1 그룹의 스트립과 제2 그룹의 스트립은 각각 어떠한 방식으로 배열되어 주사 방향을 결정하는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation주사 편향 전극을 구성하는 제1 그룹과 제2 그룹의 스트립이 주사 방향을 결정하기 위해 어떻게 배열되는지 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 10에서 주사 편향 전극의 구성 요소인 제1 그룹과 제2 그룹의 스트립에 대한 정보를 추출한다.
- 상기 주사 편향 전극들은 제1 그룹의 스트립과 제2 그룹의 스트립을 포함하고, 상기 제1 그룹의 스트립은 제1 방향으로 주사하도록 배열되고, 상기 제2 그룹의 스트립은 제2 방향으로 주사하도록 배열되며, 상기 제1 방향은 상기 제2 방향반대인 것인
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3근거 선택
evidence_selection제1 그룹과 제2 그룹의 스트립이 각각 서로 반대되는 방향으로 주사하도록 배열된다는 구절을 선택한다.
- 상기 제1 그룹의 스트립은 제1 방향으로 주사하도록 배열되고, 상기 제2 그룹의 스트립은 제2 방향으로 주사하도록 배열되며, 상기 제1 방향은 상기 제2 방향반대인 것
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4논리 통합
logical_integration제1 그룹은 제1 방향으로, 제2 그룹은 제2 방향으로 배열되는데, 이 두 방향은 서로 반대 방향임을 논리적으로 연결한다.
- 상기 제1 방향은 상기 제2 방향반대인 것
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5결론 도출
conclusion_formulation제1 그룹의 스트립은 제1 방향으로, 제2 그룹의 스트립은 제1 방향과 반대되는 제2 방향으로 각각 배열되어 주사 방향을 결정한다는 결론을 도출한다.
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6답변 생성
answer_generation질문에 대해 추출된 정보를 바탕으로 완성된 문장 형태의 답변을 생성한다.
최종 답변 (final_answer)
주사 편향 전극을 구성하는 제1 그룹의 스트립은 제1 방향으로 주사하도록 배열되고, 제2 그룹의 스트립은 제1 방향과 반대되는 제2 방향으로 주사하도록 배열된다.
핵심 해석 (core_interpretation)
주사 편향 전극을 두 그룹의 스트립으로 나누고, 각 그룹이 서로 반대되는 방향으로 주사하도록 배열함으로써 주사 방향을 제어하는 기술적 구성을 나타낸다.