메니스커스에 의한 웨이퍼 표면의 프로세싱에서 근접 헤드에 대한 실질적으로 균일한 유체 흐름 레이트를 위한 장치 document_id 1020107017572

[청구항 2] 제 1 항에 있어서,보어 및 상기 저항기 유닛및 상기 어레이들은, 상기 근접 헤드 표면에 대한 유체 흐름이 상기 메인 보어들의 제 2 세트로 그리고 상기 저항기 유닛을 통하여 상기 메인 보어로 되게 하도록 구성되며,상기 메인 보어들의 제 1 세트 및 상기 메인 보어들의 제 2 세트는, 상기 메인 보어들의 제 1 세트 및 상기 메인 보어들의 제 2 세트 각각에서 흐르는 상기 유체에 대해 다른 저항들을 부과하고, 상기 다른 저항들은상기저항기유닛에의해부과된저항 보다는 작은,유체 컨디셔닝 장치. [청구항 3] 제 1 항에 있어서,보어 및 상기 저항기 유닛및 상기 어레이들은, 상기 근접 헤드 표면에 대한 유체 흐름이 상기 메인 보어로부터 상기 제 1 세트 및 제 2 세트를 통과하고 상기 근접 헤드 표면을 지나서 상기 웨이퍼로 되게 하도록 구성되고,상기 메인 보어들의 제 1 세트 및 상기 메인 보어들의 제 2 세트는, 상기 메인 보어들의 제 1 세트 및 상기 메인 보어들의 제 2 세트 각각에서 흐르는 유체에 대해 다른 저항들을 부과하고, 상기 다른 저항들은상기저항기유닛에의해부과된저항 보다는 작은, 유체 컨디셔닝 장치. [청구항 4] 제 1 항에 있어서,상기 제 1 세트의 보어들의 수는, 상기 제 2 세트의 보어들의 수 보다 적은 보어들구성되는,유체 컨디셔닝 장치. [청구항 5] 제 1 항에 있어서,상기 제 1 블록의 상기 길이를 연장하는 제 2 블록을 더 포함하고, 상기 제 2 블록은, 상기 제 1 블록의 상기 메인 보어들의 제 2 세트를 수용하는 보어들을 포함하고, 상기 제 2 블록은 상기 웨이퍼 표면에 근접하게 배치될 표면을 가지며, 상기 메니스커스는 상기 제 2 블록의 표면과 상기 웨이퍼 표면 간에서 정의가능한,유체 컨디셔닝 장치. [청구항 7] 제 6 항에 있어서,상기 저항기 보어의 구성은, 상기 상부 플레넘과 정렬된 중앙 섹션 및 상기 상부 플레넘으로부터 트랜스버스하게(transversely) 오프셋된 트랜스버스 섹션(transverse section)들을 포함하며,상기 저항기 보어를 통한 상기 유체의 흐름을 제한하기 위한 저항기 형상은, 상기 저항기 보어의 상기 중앙 섹션 및 트랜스버스 섹션내에서 연장되는 저항기 폭을 포함하며, 상기 저항기 폭은 상기 중앙 섹션으로부터 멀어지는 방향으로 트랜스버스하게 연장하고 상기 하부 플레넘과 연통하여서 끝나는 구불구불한 (tortuous) 흐름 경로로 상기 상부 플레넘으로부터 수용된 유체를 전환하도록 구성되는,유체 컨디셔닝 유닛포함하는장치. [청구항 8] 제 7 항에 있어서,상기 저항기의 구성은, 상기 복수의 아웃렛 포트에 평행한 흐름부에 의해 분리된 2 개의 트랜스버스 흐름부를 포함하는 상기 구불구불한 흐름 경로를 정의하는, 유체 컨디셔닝 유닛포함하는장치. [청구항 9] 제 6 항에 있어서,상기 상부 플레넘 및 상기 하부 플레넘 및 상기 저항기 각각은, 동일한 길이 방향 축과 관련되는 단면을 갖도록 구성되며, 상기 상부 플레넘 및 상기 하부 플레넘 및 상기 저항기 보어는 각각의 단면이 결합되어서 십자 형상 단면을 정의하도록 구성되며,상기 십자 형상 단면은 상기 상부 플레넘 및 상기 하부 플레넘이 상기 동일한 길이 방향 축을 따라 서 있고 상기 저항기 보어가 상기 상부 플레넘과 상기 하부 플레넘 사이에 있으며,상기 저항기 보어는 상기 동일한 길이 방향 축에 대하여 트랜스버스하게 연장하며 상기 서 있는 플레넘들을 넘어 트랜스버스하게 연장하며,상기 저항기의 형상은, 상기 서 있는 플레넘들에 대하여 트랜스버스하게 연장하는 부분들을 포함하는 전반적으로 편평한 측면의 단면을 포함하고, 상기 편평한 측면의 단면은 연속 유체 흐름 경로들을 정의하도록 상기 저항기 보어로부터 이격되고, 상기 연속 유체 흐름 경로들 중 처음의 경로는 상기 저항기 보어 내에서 상기 서 있는 플레넘들만을 넘어서 트랜스버스하게 되는 초기 흐름을 정의하고,상기 연속 유체 흐름 경로들 중 다음의 경로는 상기 동일한 길이 방향 축에 평행하게 연장하며, 상기 연속 유체 흐름 경로들 중 마지막 경로는 상기 동일한 길이 방향 축을 향해서 트랜스버스하게 연장하여서 제 2 플레넘과 교차하는,유체 컨디셔닝 유닛포함하는장치. [청구항 10] 제 9 항에 있어서,상기 저항기의 면은, 상기 서 있는 상부 플레넘에 대해 트랜스버스하게 연장하는 배리어 표면(barrier surface)을 더 포함하고, 상기 배리어 표면은 상기 상부 플레넘과 정렬된 제 1 섹션을 가지고, 상기 배리어 표면은 상기 상부 플레넘에 대해서 트랜스버스하게 되어 있으면서 상기 저항기 보어로부터 이격되어서 상기 초기 흐름을 수용하기 위한 슬릿을 정하는 제 2 섹션을 구비하며,상기 배리어 표면의 제 1 섹션은 상기 상부 플레넘으로부터 수용된 유체를 상기 슬릿으로 전환하여 상기 초기 흐름을 확립하도록 상기 동일한 길이 방향 축의 방향으로 리세스되는, 유체 컨디셔닝 유닛포함하는장치. [청구항 11] 제 6 항에 있어서,상기 근접 헤드의 길이를 따라 연장하는 제 1 블록－상기 제 1 블록은 상기 근접 헤드의 길이에 수직인 제 1 단부 및 상기 제 1 단부에 대해 수직으로 연장하는 제 1 퓨징 영역 (fused region)을 갖도록 구성되며, 상기 제 1 블록은 상기 제 1 단부를 통해 연장하는 상기 저항기 보어 및 상기 메인 보어 및 상기 제 1 퓨징 영역을 통해 연장하는 상기 하부 플레넘의 부분을 갖도록 구성되며, 상기 제 1 블록은 상기 하부 플레넘의 상기 부분을 통해 액세스가능한 상기 상부 플레넘 및 상기 상부 플레넘을 통해 액세스 가능한 복수의 다운 흐름 보어를 갖도록 구성됨－과,상기 근접 헤드의 길이를 따라 연장하는 제 2 블록－상기 제 2 블록은 상기 근접 헤드의 길이에 수직인 제 2 단부 및 상기 제 2 단부에 대해 수직으로 연장하는 제 2 퓨징 영역을 갖도록 구성되고, 상기 제 2 블록은 제 2 메이팅 표면(mating surface)에 대해 평행한 복수의 편평한 표면을 갖도록 구성되며, 상기 제 2 블록은 상기 제 2 퓨징 영역을 통해 연장하는 상기 하부 플레넘의 다른 부분 및 상기 복수의 편평한 표면들 중 하나를 통해 연장하는 복수의 아웃렛 포트를 갖도록 구성됨－을 더 포함하며,상기 제 1 블록의 상기 제 1 퓨징 영역 및 상기 제 2 블록의 상기 제 2 퓨징 영역은, 정렬된 제 2 플레넘의 부분들과 함께 퓨징된 상기 제 1 블록 및 상기 제 2 블록을 유지하도록 결합된, 유체 컨디셔닝 유닛포함하는장치. [청구항 12] 제 11 항에 있어서,상기 제 1 블록 및 상기 제 2 블록 각각은 단일 피스의 폴리 비닐리덴 디-플루오라이드(pvdf)로 구성되고,상기 저항기 보어는 상기 제 1 단부에서 실링(sealing)되며,상기 메인 보어는 상기 제 1 단부에 대향하는 블라인드 단부를 갖도록 구성되는, 유체 컨디셔닝 유닛포함하는장치. [청구항 13] 제 6 항에 있어서,저항기 형상은 상기 저항기 보어를 채우며,상기 저항기는 간격(interstice)을 갖는 개방형 셀 다공성 재료로 구성되며, 상기 간격을 통해서, 상기 유체의 제한된 흐름이 상기 상부 플레넘으로부터 상기 하부 플레넘으로 이루어지는,유체 컨디셔닝 유닛포함하는장치. [청구항 15] 제 14 항에 있어서,상기 상부 플레넘 및 상기 저항기 보어 및 상기 하부 플레넘은 함께 십자 형상 단면을 정의하고, 상기 십자 형상 단면은 상기 상부 플레넘 및 상기 하부 플레넘 각각보다 상기 폭 방향으로 더 연장된 저항기 보어를 구비하며,상기 흐름 제한기는, 상기 상부 플레넘 및 상기 하부 플레넘에 대한 유체 흐름을 위한 적어도 하나의 구불구불한 경로를 정의하도록 상기 상부 플레넘과 상기 하부 플레넘 각각보다 상기 폭 방향더 연장하는,근접 헤드. [청구항 16] 제 14 항에 있어서,상기 저항기 보어는, 상기 상부 플레넘으로부터 오프셋된 제 1 종단(terminus)으로 상기 폭 방향으로 연장하는 제 1 섹션을 포함하는 유체 전환 벽을 갖도록 구성되며,상기 유체 전환 벽은 상기 유체 전달 방향에서 상기 제 1 종단으로부터 제 2 종단으로 연장하는 제 2 섹션을 더 포함하며, 상기 유체 전환 벽은 상기 제 2 종단으로부터 상기 폭 방향으로 상기 하부 플레넘에 인접한 제 3 종단으로 연장하는 제 3 섹션을 더 포함하고,상기 저항기 보어에 수용된 상기 흐름 제한기는 상기 제 1 섹션, 상기 제 2 섹션, 및 상기 제 3 섹션을 따라 연속적으로 연장하도록 상기 구불구불한 경로를 정의하기 위한 상기 벽의 섹션들을 따라서 연장하여서 상기 아웃렛 포트들 및 상기 메인 보어에 대해 전달된 유체의 흐름제한하는,근접 헤드. [청구항 17] 제 14 항에 있어서,상기 저항기 보어에 수용된 상기 흐름 제한기는 복수의 구불 구불한 경로를 형성하는 간격을 포함하는 개방형 셀 다공성 재질구성된,근접 헤드. [청구항 18] 제 17 항에 있어서,상기 상부 플레넘에 대하여 유체를 전달하기 위한 상기 저항기 보어의 구성은, 상기 상부 플레넘과 정렬된 중앙 섹션 및 상기 상부 플레넘으로부터 트랜스버스하게 오프셋된 트랜스버스 섹션을 포함하고,상기 개방형 셀 다공성 재질은, 상기 복수의 구불구불한 경로가 상기 폭 방향으로 연장하는 경로들을 포함하도록 상기 중앙 섹션 및 상기 트랜스버스 섹션수용되는,근접 헤드. [청구항 19] 제 14 항에 있어서,상기 저항기 보어는, 제 1 플레넘 및 제 2 플레넘으로부터 상기 폭 방향으로 오프셋된 트랜스버스하게 대향하는 그루브들을 정의하도록 상기 제 1 플레넘 및 제 2 플레넘 각각을 넘어서 상기 폭 방향으로 연장하도록 더 구성되고, 각 그루브는 유체 전달 방향으로 연장하는 베이스 및 상기 폭 방향으로 연장하고 상기 베이스에 의해 이격된 대향하는 트랜스버스 벽들을 포함하는 단면을 가지고,저항기 인서트(resistor insert)가 하나의 그루브의 베이스를 향하여서 상기 그루브 내에 수용되도록 구성되며,상기 저항기 인서트는, 상기 벽들 및 다른 그루브의 베이스로부터 이격된 상기 다른 그루브 내에서 수용되기 위해서 상기 하나의 그루브의 베이스로부터 상기 다른 그루브로 연장하도록 더 구성되고, 상기 저항기 인서트는 상기 제 1 플레넘에 대해 오직 트랜스버스하게 유체를 전달하기 위한 제 1 트랜스버스 저항기 유체 흐름 경로를 정의하고, 상기 저항기 인서트는 상기 제 1 트랜스버스 저항기 유체 흐름 경로와 직렬이고 상기 유체 전달 방향으로 연장하는 유체 흐름 경로를 더 정의하고, 상기 저항기 인서트는 상기 제 2 플레넘에 대해서 오직 트랜스버스하게 유체를 전달하기 위한 제 2 트랜스버스 저항기 흐름 경로를 더 정의하고, 상기 제 1 트랜스버스 저항기 흐름 경로는 상기 상부 플레넘과 유체 방향 흐름 경로 사이에 있고, 상기 제 2 트랜스버스 저항기 흐름 경로는 상기 하부 플레넘과 상기 유체 방향 흐름 경로사이에 있는,근접 헤드.