문맥 (context)
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 쌍을 이루는 마이크로파 방사 구멍은 이들의 길이 방향의 일단부가 근접하고, 타단부형성되어 있는,마이크로파 플라즈마 처리 장치.
[청구항 3]
제2항에 있어서,상기 마이크로파 방사 구멍의 쌍을 구성하는 각 마이크로파 방사 구멍의 길이 방향끼리가 이루는 각도가 80 내지인,마이크로파 플라즈마 처리 장치.
[청구항 4]
제1항에 있어서,상기 중앙 영역에 형성된 마이크로파 투과 구멍의 길이 방향의 길이는, 상기 외주 영역형성된마이크로파 투과 구멍의 길이 방향의 길이보다도 짧은, 마이크로파 플라즈마 처리 장치.
[청구항 5]
제1항에 있어서,상기 오목부는 상기 적재대에 적재된 피처리체에 대응하는 부분형성되어 있는,마이크로파 플라즈마 처리 장치.
[청구항 6]
제5항에 있어서,상기 마이크로파 투과판은 단면 아치 형상있는,마이크로파 플라즈마 처리 장치.
[청구항 7]
제6항에 있어서,상기 마이크로파 투과판의 상기 오목부에 대응하는 부분편평한,플라즈마 처리 장치.
[청구항 8]
제1항에 있어서,상기 마이크로파 투과판의 마이크로파 방사면은 그 주연부에 하방으로 돌출되는 환형상을 이루는 돌출부갖는,마이크로파 플라즈마 처리 장치.
[청구항 10]
제9항에 있어서,상기 쌍을 이루는 마이크로파 방사 구멍은 이들의 길이 방향의 일단부가 근접하고, 타단부형성되어 있는,마이크로파 플라즈마 처리 장치.
[청구항 11]
제10항에 있어서,상기 마이크로파 방사 구멍의 쌍을 구성하는 각 마이크로파 방사 구멍의 길이 방향끼리가 이루는 각도인,마이크로파 플라즈마 처리 장치.
[청구항 12]
제9항에 있어서,상기 중앙 영역에 형성된 마이크로파 투과 구멍의 길이 방향의 길이는, 상기 외주 영역형성된마이크로파 투과 구멍의 길이 방향의 길이보다도 짧은, 마이크로파 플라즈마 처리 장치.
[청구항 13]
제9항에 있어서,상기 마이크로파 투과판의 마이크로파 방사면은 볼록부와 오목부가 교대로 동심 형상형성되어 있는,마이크로파 플라즈마 처리 장치.
[청구항 14]
제9항에 있어서,상기 마이크로파 투과판의 마이크로파 방사면은 그 주연부에 하방으로 돌출되는 환형상을 이루는 돌출부갖는,마이크로파 플라즈마 처리 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
마이크로파 투과판의 중앙 영역에 형성된 마이크로파 투과 구멍의 길이는 외주 영역에 형성된 마이크로파 투과 구멍의 길이와 비교하여 어떠한 관계를 갖는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation중앙 영역의 마이크로파 투과 구멍 길이와 외주 영역의 마이크로파 투과 구멍 길이 사이의 비교 관계를 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 4와 청구항 12에서 마이크로파 투과 구멍의 길이에 관한 기술적 특징을 추출한다.
- 상기 중앙 영역에 형성된 마이크로파 투과 구멍의 길이 방향의 길이는, 상기 외주 영역형성된마이크로파 투과 구멍의 길이 방향의 길이보다도 짧은
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3근거 선택
evidence_selection질문에서 요구하는 두 영역의 길이 비교를 직접적으로 명시한 구절을 선택한다.
- 상기 중앙 영역에 형성된 마이크로파 투과 구멍의 길이 방향의 길이는, 상기 외주 영역형성된마이크로파 투과 구멍의 길이 방향의 길이보다도 짧은
-
4논리 통합
logical_integration추출된 근거를 바탕으로 중앙 영역의 구멍 길이가 외주 영역의 구멍 길이보다 짧다는 관계를 도출한다.
- 상기 중앙 영역에 형성된 마이크로파 투과 구멍의 길이 방향의 길이는, 상기 외주 영역형성된마이크로파 투과 구멍의 길이 방향의 길이보다도 짧은
-
5결론 도출
conclusion_formulation중앙 영역의 마이크로파 투과 구멍 길이는 외주 영역의 길이보다 짧다는 결론을 내린다.
- 상기 중앙 영역에 형성된 마이크로파 투과 구멍의 길이 방향의 길이는, 상기 외주 영역형성된마이크로파 투과 구멍의 길이 방향의 길이보다도 짧은
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6답변 생성
answer_generation질문에 대해 추출된 정보를 바탕으로 최종 답변을 작성한다.
- 상기 중앙 영역에 형성된 마이크로파 투과 구멍의 길이 방향의 길이는, 상기 외주 영역형성된마이크로파 투과 구멍의 길이 방향의 길이보다도 짧은
최종 답변 (final_answer)
상기 중앙 영역에 형성된 마이크로파 투과 구멍의 길이 방향의 길이는, 상기 외주 영역형성된마이크로파 투과 구멍의 길이 방향의 길이보다도 짧다.
핵심 해석 (core_interpretation)
마이크로파 투과판의 구조적 설계에 있어 중앙 영역의 투과 구멍 길이를 외주 영역보다 짧게 형성하여 마이크로파 방사 특성을 조절하는 기술이다.