문맥 (context)
[청구항 1]
케이블을 통해 플라즈마를 동작시키기 위해 이용되는 파워를 인가하기에 적합한 파워 출력
파워 샘플들을 얻기 위해 파워 출력에서 인가되는 파워를 샘플링하기에 적합한 센서; 및
상기 파워 샘플들에 응답하여, 케이블을 통해 파워 발생기의 출력에 접속된 임피던스 매칭 네트워크에 임피던스 콘트롤 신호를 제공하도록 구성되는 임피던스 콘트롤 출력을 포함하고,
상기 임피던스 매칭 네트워크는, 상기 임피던스 콘트롤 신호에 응답하여, 플라즈마의 임피던스를 파워 발생기의 동작 임피던스에 매칭시키고, 상기 임피던스 콘트롤 신호는 상기 파워 샘플들 및 상기 케이블의 임피던스 변환으로부터 계산되고, 상기 케이블의 길이는, 플라즈마가 비점화 상태로 있도록 미약한 파워를 인가하는 동안 임피던스 매칭 네트워크의 발생기측에서 측정되는 임피던스로부터 계산되는, 플라즈마 처리를 위한 파워 발생기
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 임피던스 매칭 네트워크에 파워 발생기를 결합하는 상기 케이블의 특징적인 정보를 저장하도록 구성되는 메모리를 포함하고, 상기 파워 발생기는 상기 케이블의 특징적인 정보에 응답하여 임피던스 콘트롤 신호를 제공하도록 구성되고,상기 케이블의 임피던스 변환은 상기 케이블의 특징적인 정보로부터 계산되는, 플라즈마 처리위한파워 발생기.
[청구항 3]
제1항에 있어서,사용자가 상기 케이블의 특징적인 정보의 적어도 일부를 입력할 수 있도록 구성되는 유저 인터페이스를 포함하는, 플라즈마 처리위한파워 발생기.
[청구항 5]
제1항에 있어서,상기 케이블의 길이는, 플라즈마가 비점화 상태로 있도록 미약한 파워를 인가하고 또한 3개의 설정으로 가변 요소들을 측정하는 동안 임피던스 매칭 네트워크의 발생기측에서 측정되는 임피던스로부터 계산되는, 플라즈마 처리위한파워 발생기.
[청구항 6]
제3항에 있어서,상기 케이블의 길이 및 파워 샘플들에 응답하여 상기 임피던스 콘트롤 신호의 콘텐츠를 생성하도록 구성되는 임피던스 콘트롤 로직부를 포함하는, 플라즈마 처리위한파워 발생기.
[청구항 7]
제1항에 있어서,상기 센서는, 전압-전류 센서 및 방향성 커플러로 구성되는 그룹으로부터 선택되는 센서를 포함하는, 플라즈마 처리위한파워 발생기.
[청구항 8]
제1항에 있어서,상기 파워 출력은 rf 파워를 인가하기에 적합한, 플라즈마 처리위한파워 발생기.
[청구항 16]
플라즈마 처리를 위한 파워 전달 시스템으로서,
파워 출력, 상기 파워 출력에서 전달되는 파워의 파라미터들을 측정하기 위한 센서와, 케이블의 예측 길이 및 측정된 파라미터들의 값들에 응답하여 임피던스 콘트롤 신호를 제공하도록 구성되는 임피던스 콘트롤 출력을 포함하는 파워 발생기; 및
상기 케이블을 통해 상기 파워 발생기의 임피던스 콘트롤 출력에 접속되고 또한 상기 파워 발생기의 임피던스 콘트롤 출력에 접속된 임피던스 매칭 네트워크를 포함하고,
상기 길이는, 플라즈마가 비점화 상태로 있도록 미약한 파워를 인가하고 또한 가변 요소들을 측정하는 동안 임피던스 매칭 네트워크의 발생기측에서 측정되는 임피던스로부터 예측되고,
상기 임피던스 매칭 네트워크는, 상기 임피던스 콘트롤 신호에 응답하여, 플라즈마의 임피던스를 파워 발생기의 동작 임피던스에 매칭함으로써 파워 발생기로부터 플라즈마 처리 챔버의 플라즈마로 파워의 효율적인 전송을 제공하도록 구성되는, 플라즈마 처리를 위한 파워 전달 시스템
[청구항 17]
제16항에 있어서,상기 파워 발생기는, 임피던스 매칭 네트워크에 파워 발생기를 결합하는 상기 케이블의 특징적인 정보를 저장하도록 구성되는 메모리를 포함하고, 상기 파워 발생기는 상기 케이블의 특징적인 정보에 응답하여 임피던스 콘트롤 신호를 제공하도록 구성되고, 상기 케이블의 임피던스 변환은 상기 케이블의 특징적인 정보로부터 계산되는, 플라즈마 처리위한파워 전달 시스템.
[청구항 18]
제17항에 있어서,상기 파워 발생기는, 사용자가 상기 케이블의 특징적인 정보의 적어도 일부를 입력할 수 있도록 구성되는 유저 인터페이스를 포함하는, 플라즈마 처리위한파워 전달 시스템.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
플라즈마 처리용 파워 발생기에서 케이블의 길이를 계산하기 위해 임피던스 매칭 네트워크의 발생기측에서 임피던스를 측정할 때, 플라즈마는 어떠한 상태여야 하는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation질문은 케이블 길이 계산을 위해 임피던스를 측정할 때 플라즈마가 유지해야 하는 상태를 묻는다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 1 및 청구항 16에서 케이블의 길이를 계산하는 조건과 측정 상황에 대한 정보를 추출한다.
- 상기 케이블의 길이는, 플라즈마가 비점화 상태로 있도록 미약한 파워를 인가하는 동안 임피던스 매칭 네트워크의 발생기측에서 측정되는 임피던스로부터 계산되는
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3근거 선택
evidence_selection플라즈마의 상태를 직접적으로 명시한 '비점화 상태' 구절을 선택한다.
- 플라즈마가 비점화 상태로 있도록
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4논리 통합
logical_integration케이블 길이는 미약한 파워를 인가하여 플라즈마가 비점화 상태인 동안 측정되는 임피던스를 통해 계산된다는 논리를 연결한다.
- 플라즈마가 비점화 상태로 있도록 미약한 파워를 인가하는 동안 임피던스 매칭 네트워크의 발생기측에서 측정되는 임피던스로부터 계산되는
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5결론 도출
conclusion_formulation따라서 임피던스 측정 시 플라즈마는 비점화 상태여야 한다.
- 플라즈마가 비점화 상태로 있도록
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6답변 생성
answer_generation추출된 핵심 정보를 바탕으로 최종 답변을 작성한다.
- 비점화 상태
최종 답변 (final_answer)
비점화 상태
핵심 해석 (core_interpretation)
본 발명은 케이블 길이를 계산하기 위해 미약한 파워를 인가하여 플라즈마가 비점화 상태를 유지하는 동안 임피던스 매칭 네트워크의 발생기측 임피던스를 측정하는 기술을 포함한다.