유기발광소자 제조용 증착장비 document_id 1020110002839

[청구항 2] 제 1항에 있어서,상기 열원 발생부는,상기증착챔버의내부또는외부설치되는것을특징으로 하는유기발광소자 제조용 증착장비. [청구항 3] 제 2항에 있어서,상기 열원 발생부가 상기 증착 챔버의 외부에 설치될 경우, 상기 열원 발생부에서 발생되는 열원이 증착 챔버를 통과할 수 있도록 상기 증착 챔버의 하부 일측에는투명창형성되는것을특징으로 하는유기발광소자 제조용 증착장비. [청구항 4] 제 1항에 있어서,상기 열원 발생부에서 발생되는 열원은, 레이저 또는 고주파 또는 e-beam 또는 ir beam heater 중, 선택된하나인것을특징으로 하는유기발광소자 제조용 증착장비. [청구항 5] 제 1항에 있어서,상기 트레이는, 상기 증착 챔버 내부에서 승강수단에 의해 상하로승강이루어지는것을특징으로 하는유기발광소자 제조용 증착장비. [청구항 6] 제 5항에 있어서,상기 승강수단은, 유압실린더 또는 공압실린더 또는 모터와 볼 스크류의 구성 중, 선택된하나인것을특징으로 하는유기발광소자 제조용 증착장비. [청구항 7] 제 1항 내지 제 6항 중, 어느 한 항에 있어서,상기 트레이는, 증착물질이 동일한 높이로 균일하게 도포되기 위하여 그 내면에일정높이의패턴형성된것을특징으로 하는유기발광소자 제조용 증착장비. [청구항 8] 제 7항에 있어서,상기 패턴은, 그 중심을 기준으로 일정높이의 격벽이 방사상으로 형성되되, 외곽 테두리를 향할수록 점차적으로 길이가 긴 격벽이방사상형성되는것을특징으로 하는유기발광소자 제조용 증착장비. [청구항 9] 제 7항에 있어서,상기 패턴은, 일정높이의 격벽에 의해 평면상에서 바라볼 때 원 형 또는 삼각형상 이상의 다각형상이 정렬되게다수개형성되는것을특징으로 하는유기발광소자 제조용 증착장비. [청구항 10] 제 1항 내지 제 4항 중, 어느 한 항에 있어서,상기 트레이는, 2종 이상의 증착물질을 별개로 도포하도록, 구획벽에 의해적어도2개이상의증착물질수용부형성되는것을특징으로 하는유기발광소자 제조용 증착장비. [청구항 11] 제 10항에 있어서,상기 트레이의 각 증착물질 수용부에는, 각각의 증착물질이 동일한 높이로 균일하게 도포되기 위하여 그 내면에각각일정높이의패턴형성된것을특징으로 하는유기발광소자 제조용 증착장비. [청구항 12] 제 10항에 있어서,상기 패턴은, 그 중심을 기준으로 일정높이의 격벽이 방사상으로 형성되되, 외곽 테두리를 향할수록 점차적으로 길이가 긴 격벽이방사상형성되는것을특징으로 하는유기발광소자 제조용 증착장비. [청구항 13] 제 10항에 있어서,상기 패턴은, 일정높이의 격벽에 의해 평면상에서 바라볼 때 원 형 또는 삼각형상 이상의 다각형상이 정렬되게다수개형성되는것을특징으로 하는유기발광소자 제조용 증착장비. [청구항 14] 제 10항에 있어서,상기 트레이의 각 수용부 개수와 대응되는 동일한 개수의 열원 발생부가 구비되어, 각각의 열원 발생부가 대응되는 해당 수용부에 도포된증착물질증발시키는것을특징으로 하는유기발광소자 제조용 증착장비. [청구항 15] 제 10항에 있어서,상기 트레이를 x축 및 y축으로 수평이동시켜서, 상기 트레이에 도포된 2종 이상의 증착물질 중, 어느 하나의 증착물질에 열원 발생부가 선택적으로 열원을 가하여 증발시킬 수 있도록 하는얼라인장치더포함하는것을특징으로 하는유기발광소자 제조용 증착장비. [청구항 16] 제 15항에 있어서,상기 얼라인 장치는,상기 트레이가 지지,설치되며, 그 중앙부위에 열원 통과공이 형성된 제1프레임과;상기 제1프레임이 x축 방향으로 수평이동 가능하게 지지,설치되는 제2프레임과;상기 제2프레임이 y축 방향으로 수평이동 가능하게 지지,설치되는가이드레일포함하는것을특징으로 하는유기발광소자 제조용 증착장비. [청구항 17] 제 16항에 있어서,상기 제1프레임의 대향되는 양쪽 상면부에는 구동모터가 설치되고, 상기 구동모터들의 축에는 피니언 기어가 설치되며, 상기 제2프레임의 양쪽 상면부에는 상기 피니언 기어와 대응되는 랙 기어가 형성되어, 상기 구동모터들의 정,역회전에 따라 상기 제1프레임이 제2프레임에 대하여 x축 방향으로수평되는것을특징으로 하는유기발광소자 제조용 증착장비. [청구항 18] 제 16항 또는 제 17항에 있어서,상기 제2프레임에서 랙 기어가 형성된 부분과 직각을 이루는 부분의 양쪽 상면부에는 구동모터가 설치되고, 상기 구동모터들의 축에는 피니언 기어가 설치되며, 상기 가이드 레일의 양쪽 상면부에는 상기 피니언 기어와 대응되는 랙 기어가 형성되어, 상기 구동모터들의 정,역회전에 따라 상기 제2프레임이 가이드 레일에 대하여 y축 방향으로수평되는것을특징으로 하는유기발광소자 제조용 증착장비. [청구항 19] 제 16항에 있어서,상기 트레이는, 상기 제1프레임에 대하여 승강 실린더에 의해 지지,설치되어, 상기 제1프레임에 대하여승강이루어지는것을특징으로 하는유기발광소자 제조용 증착장비. [청구항 20] 제 15항에 있어서,상기 수평이동되는 트레이와 수직방향으로 정렬되도록 피처리 기판을 수평이동시키거나, 간격을 조절하기 위하여 승강시키는기판정렬장치더포함하는것을특징으로 하는유기발광소자 제조용 증착장비.