문맥 (context)
[청구항 1]
원기둥 형상의 본체부;
상기 본체부의 일면에 형성되며, 반도체 성막을 위한 웨이퍼를 안착하기 위한 제1 깊이를 갖는 제1 홈부
상기 제1 홈부와 동일면에 형성되며, 상기 제1 깊이와 상기 웨이퍼의 두께의 차에 해당하는 제2 깊이를 갖는 제2 홈부
를 포함하는 기상 증착 테스트용 서셉터
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 제1 홈부 및 상기 제2 홈부는 실질적으로 동일한형상의평면갖는것을특징으로 하는기상 증착 테스트용 서셉터.
[청구항 3]
제1항에 있어서,상기 제1 홈부 및 상기 제2 홈부는동일원주상형성되는것을특징으로 하는기상 증착 테스트용 서셉터.
[청구항 4]
제1항에 있어서,체부는 그라파이트로 이루어지며, 상기 본체부, 상기 제1 홈부 및 상기 제2 홈부의 노출면은 그 표면이 sic박막코팅된것을특징으로 하는기상 증착 테스트용 서셉터.
[청구항 5]
밀폐 가능한 내부 공간을 갖는 반응 챔버
상기 반응 챔버의 내부 공간으로 반응 가스를 공급하는 가스 공급부
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항의 기상 증착 테스트용 서셉터; 및
상기 서셉터의 하부에 배치되어 서셉터 를 가열하는 히터
를 포함하는 기상 증착 장치
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
기상 증착 테스트용 서셉터의 제1 홈부와 제2 홈부의 깊이 차이는 무엇에 의해 결정되는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation기상 증착 테스트용 서셉터의 제1 홈부와 제2 홈부 사이의 깊이 차이를 결정하는 요인을 찾는 것이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 1에서 제1 홈부의 깊이와 제2 홈부의 깊이에 관한 정의를 추출한다.
- 상기 제1 깊이와 상기 웨이퍼의 두께의 차에 해당하는 제2 깊이를 갖는 제2 홈부
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3근거 선택
evidence_selection제2 홈부의 깊이가 제1 깊이와 웨이퍼 두께의 차로 정의됨을 확인하는 구절을 선택한다.
- 상기 제1 깊이와 상기 웨이퍼의 두께의 차에 해당하는 제2 깊이
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4논리 통합
logical_integration제2 홈부의 깊이가 (제1 깊이 - 웨이퍼 두께)로 설정되어 있으므로, 두 홈부의 깊이 차이는 웨이퍼의 두께와 관련이 있음을 도출한다.
- 상기 제1 깊이와 상기 웨이퍼의 두께의 차에 해당하는 제2 깊이
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5결론 도출
conclusion_formulation제1 홈부의 깊이(제1 깊이)와 제2 홈부의 깊이(제2 깊이)의 차이는 웨이퍼의 두께에 의해 결정된다.
- 상기 제1 깊이와 상기 웨이퍼의 두께의 차에 해당하는 제2 깊이
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6답변 생성
answer_generation질문에 대해 웨이퍼의 두께임을 명시하여 답변을 생성한다.
- 상기 웨이퍼의 두께의 차에 해당하는 제2 깊이
최종 답변 (final_answer)
웨이퍼의 두께
핵심 해석 (core_interpretation)
본 발명은 제1 홈부의 깊이와 웨이퍼 두께의 차이를 이용하여 제2 홈부의 깊이를 설정함으로써, 서셉터 구조를 설계하는 기술을 포함한다.