문맥 (context)
[청구항 9]
반도체 기판상에 구비된 제 1 절연막
상기 제 1 절연막 상에 서로 이격되도록 구비된 제 1 배선
상기 제 1 배선 및 상기 제 1 절연막 상부에 구비된 제 2 절연막
상기 제 2 절연막 내에 구비되며, 상기 제 1 배선과 연결된 제 1 콘택 플러그
상기 제 2 절연막 상에 구비되며, 상기 제 1 콘택 플러그와 연결되고 서로 이격된 퓨즈 패턴
상기 퓨즈 패턴 및 상기 제 2 절연막 상부 표면에 구비된 제 3 절연막
상기 제 3 절연막 상부에 구비된 제 4 절연막
상기 이격된 퓨즈 패턴 사이의 상기 제 4 절연막 내에 구비된 제 2 콘택플러그; 및
상기 제 2 콘택플러그 상부에 구비된 제 2 배선
을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자
[청구항 10]
청구항 9에 있어서,상기 퓨즈 패턴은 구리(cu)또는알루미늄포함하는것을특징으로 하는반도체 소자.
[청구항 11]
청구항 9에 있어서,상기 제 1 배선nan은금속포함하는것을특징으로 하는반도체 소자.
[청구항 12]
청구항 11에 있어서,상기 금속은 알루미늄, 텅스텐, 코발트, 티타늄, 텅스텐실리사이드,코발트실리사이드또는티타늄실리사이드포함하는것을특징으로 하는반도체 소자.
[청구항 13]
청구항 9에 있어서,상기 제 3 절연막nan은질화막포함하는것을특징으로 하는반도체 소자.
[청구항 14]
청구항 9에 있어서,상기 제 2 배선은 상기 퓨즈 패턴의 수직한 방향으로 구비되되, 라인(line)타입형성된것을특징으로 하는반도체 소자.
[청구항 15]
청구항 9에 있어서,결함 셀의 경우, 상기 퓨즈 패턴과 상기 제 2 배선 간의 전기적 바이어스 차이에 의하여 상기 제 3 절연막이 파괴되어 상기 퓨즈 패턴이상기제2콘택플러그연결되는것을특징으로 하는반도체 소자.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
청구항 9의 반도체 소자 구성에서 결함 셀이 발생했을 때, 제 3 절연막이 파괴됨으로써 최종적으로 연결되는 구성 요소들은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation청구항 9의 구성 요소 중 결함 셀 발생 시 제 3 절연막 파괴로 인해 최종적으로 연결되는 구성 요소들을 찾는 것이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 15에서 결함 셀 발생 시의 동작 메커니즘과 연결되는 구성 요소를 추출한다.
- 결함 셀의 경우, 상기 퓨즈 패턴과 상기 제 2 배선 간의 전기적 바이어스 차이에 의하여 상기 제 3 절연막이 파괴되어 상기 퓨즈 패턴이상기제2콘택플러그연결되는것을특징으로 하는반도체 소자
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3근거 선택
evidence_selection제 3 절연막 파괴 후 연결되는 대상인 '퓨즈 패턴'과 '제 2 콘택플러그'를 근거로 선택한다.
- 상기 퓨즈 패턴이상기제2콘택플러그연결되는것
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4논리 통합
logical_integration결함 셀 발생 시 전기적 바이어스 차이로 제 3 절연막이 파괴되면, 퓨즈 패턴과 제 2 콘택플러그가 연결된다는 인과관계를 파악한다.
- 상기 제 3 절연막이 파괴되어 상기 퓨즈 패턴이상기제2콘택플러그연결되는것
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에서 요구하는 최종 연결 구성 요소는 퓨즈 패턴과 제 2 콘택플러그이다.
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6답변 생성
answer_generation추출된 구성 요소를 바탕으로 답변을 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
퓨즈 패턴, 제 2 콘택플러그
핵심 해석 (core_interpretation)
결함 셀 발생 시 전기적 바이어스 차이를 이용해 제 3 절연막을 파괴함으로써 퓨즈 패턴과 제 2 콘택플러그를 전기적으로 연결하는 메커니즘을 설명하고 있다.