문맥 (context)
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 챔버의 저면에 구비되며, 상기 제1 로봇암 및 상기 제2 로봇암의 위치에 따라 상기 웨이퍼들의 이송이 용이하도록 상기 슬롯 유닛을 수평 이동 및 회전 이동시키기 위한이동유닛더포함하는것을특징으로 하는웨이퍼 버퍼 장치.
[청구항 3]
제2항에 있어서,상기 이동 유닛은 상기 챔버의 저면에 상기 제1 이에프이엠과 상기 제2 이에프이엠 사이를 가로지르는 제1 방향을 따라 수평 이동 가능하도록 배치되는 제1 플레이트; 및상기 제1 플레이트의 상면에 상기 제1 방향과 수직하는 제2 방향을 따라 수평 이동 가능하도록 배치되며, 상기 슬롯 유닛이 회전 가능하도록 지지하는제2플레이트포함하는것을특징으로 하는웨이퍼 버퍼 장치.
[청구항 4]
제3항에 있어서,상기 챔버, 상기 슬롯 유닛 및 상기 이동 유닛에 구비되며, 상기 슬롯 유닛의 제1 방향 위치, 상기 제2 방향 위치 및 회전 각도를 표시하는눈금유닛더포함하는것을특징으로 하는웨이퍼 버퍼 장치.
[청구항 5]
제1항에 있어서,상기 슬롯 유닛은 상기 챔버 저면에 배치되는 하부 몸체;상기 하부 몸체의 양단으로부터 상방으로 각각 연장하는 한 쌍의 측면 몸체들; 및상기 측면 몸체들 상에 각각 적층되며, 상기 웨이퍼들의 일측 하부면을 지지하는 다수의 슬롯 플레이트들을 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 버퍼 장치.제5항에 있어서, 상기 각 슬롯 플레이트는 상하를 관통하도록 구비되며 상기 슬롯 플레이트들의 레벨을 조절하기 위한 세트 스크류를 포함하며, 상기 세트 스크류들의 간섭을 방지하기 위해 상하로 인접하는 슬롯 플레이트들에서 상기 세트 스크류들은 서로 다른위치배치되는것을특징으로 하는웨이퍼 버퍼 장치.
[청구항 6]
제5항에 있어서,슬롯 플레이트는 상면에 상기 슬롯 플레이트들을 적층하기 위한 핀과 하면에 상기 핀을 수용하기 위한핀홀갖는것을특징으로 하는웨이퍼 버퍼 장치.
[청구항 7]
제6항에 있어서,슬롯 플레이트는 상하를 관통하도록 구비되며 상기 적층되는 슬롯 플레이트들의 레벨을 조절하기 위한 세트 스크류를 포함하며, 상기 세트 스크류들의 간섭을 방지하기 위해 상하로 인접하는 슬롯 플레이트들에서 상기 세트 스크류들은 서로 다른위치배치되는것을특징으로 하는웨이퍼 버퍼 장치.
[청구항 8]
제5항에 있어서,상기 슬롯 유닛은 상하로 인접하는 두 개의 슬롯 플레이트들을 조립하기 위한 체결 나사들을 포함하고, 상기 체결 나사들 사이의 간섭을 방지하기 위해상기체결나사들체결되는것을특징으로 하는웨이퍼 버퍼 장치.
[청구항 9]
제8항에 있어서,슬롯 플레이트들은 상기 체결 나사의 헤드부가 결합되는 제1 체결홀 및 상기 체결 나사의 몸체부가 결합되는 제2 체결홀을 가지며, 상기 제1 체결홀은 서로 마주보는 슬롯 플레이트들 사이의 간격을 조절할 수 있도록 서로 마주보는 방향을 따라연장하는것을특징으로 하는웨이퍼 버퍼 장치.
[청구항 10]
제5항에 있어서,슬롯 플레이트는 상면 일측에 상기 웨이퍼의 하부면과 접촉하며 상기 웨이퍼에서의 정전기 발생을 방지하는절연재질의패드포함하는것을특징으로 하는웨이퍼 버퍼 장치.
[청구항 11]
제1항에 있어서,상기 챔버 내부에 구비되며, 상기 제1 로봇암 및 상기 제2 로봇암이 상기 웨이퍼들을 이송할 때 이물질이 상기 챔버 내부로 유입되는 것을 차단하기 위해 가스를 분사하는가스분사유닛더포함하는것을특징으로 하는웨이퍼 버퍼 장치.
[청구항 13]
제12항에 있어서,상기 웨이퍼 버퍼 장치는 상기 웨이퍼 버퍼 장치의 챔버와 상기 이에프이엠들 사이에 배치되며, 상기 웨이퍼 버퍼 장치의 챔버와 상기 이에프이엠들 사이의 간격을 조절하며 이물질의 유입을 방지하는 삽입 부재들; 및 상기 이에프이엠들의 측면과 상기 웨이퍼 버퍼 장치의 챔버 하부면과 동시에 접촉하는 브래킷들 및 상기 브래킷들을 상기 이에프이엠들 및 웨이퍼 버퍼 장치의 챔버에 고정하는 체결 나사들로 이루어지는체결부재더포함하는것을특징으로 하는웨이퍼 가공 시스템.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
웨이퍼 버퍼 장치의 이동 유닛은 슬롯 유닛의 수평 및 회전 이동을 위해 어떠한 구성 요소들로 이루어져 있으며, 각 구성 요소의 이동 방향과 역할은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation웨이퍼 버퍼 장치의 이동 유닛을 구성하는 요소들과 각 요소의 이동 방향 및 역할을 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 3에서 이동 유닛의 구성 요소인 제1 플레이트와 제2 플레이트를 추출한다.
- 상기 이동 유닛은 상기 챔버의 저면에 상기 제1 이에프이엠과 상기 제2 이에프이엠 사이를 가로지르는 제1 방향을 따라 수평 이동 가능하도록 배치되는 제1 플레이트; 및상기 제1 플레이트의 상면에 상기 제1 방향과 수직하는 제2 방향을 따라 수평 이동 가능하도록 배치되며, 상기 슬롯 유닛이 회전 가능하도록 지지하는제2플레이트포함하는것을특징으로 하는웨이퍼 버퍼 장치
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3근거 선택
evidence_selection제1 플레이트의 이동 방향(제1 방향 수평 이동)과 제2 플레이트의 이동 방향(제2 방향 수평 이동) 및 역할(슬롯 유닛 회전 지지)을 포함하는 구절을 선택한다.
- 제1 방향을 따라 수평 이동 가능하도록 배치되는 제1 플레이트; 및상기 제1 플레이트의 상면에 상기 제1 방향과 수직하는 제2 방향을 따라 수평 이동 가능하도록 배치되며, 상기 슬롯 유닛이 회전 가능하도록 지지하는제2플레이트
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4논리 통합
logical_integration제1 플레이트는 제1 방향으로 수평 이동하고, 제2 플레이트는 제1 방향과 수직인 제2 방향으로 수평 이동하며 슬롯 유닛을 회전 지지함을 통합한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation이동 유닛은 제1 플레이트와 제2 플레이트로 구성되며, 각각의 이동 방향과 슬롯 유닛에 대한 역할을 정리한다.
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6답변 생성
answer_generation질문에 대한 답변을 구조화된 형식으로 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
웨이퍼 버퍼 장치의 이동 유닛은 다음과 같은 구성 요소로 이루어져 있다.
1. 제1 플레이트: 제1 방향(제1 이에프이엠과 제2 이에프이엠 사이를 가로지르는 방향)을 따라 수평 이동한다.
2. 제2 플레이트: 제1 플레이트의 상면에 배치되며, 제1 방향과 수직하는 제2 방향을 따라 수평 이동하고 슬롯 유닛이 회전 가능하도록 지지한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
이동 유닛은 제1 플레이트와 제2 플레이트의 직교하는 수평 이동 및 제2 플레이트를 통한 회전 지지 기능을 통해 슬롯 유닛의 다각도 이동을 구현한다.