문맥 (context)
[청구항 1]
내부에서 제1기판 및 제2기판을 접합하는 작업공간이 형성된 접합챔버
상기 제1기판의 하부에 배치되어 상기 제1기판이 놓이는 안착부
상기 제2기판의 상부에 배치되어 상기 제2기판을 가압하는 프레스판과, 상기 프레스판에 가압력을 공급하는 프레스기를 포함하는 프레스부
상기 제1기판 및 상기 제2기판의 접합량을 감지하는 접합감지부; 및
상기 접합감지부의 신호에 따라 상기 프레스기의 가압력을 제어하는 구동제어부
를 포함하되,
상기 프레스부의 상기 프레스판은 상기 제2기판을 가압하는 위치가 상이한 내측프레스판 및 외측프레스판을 포함하는 것으로, 상기 내측프레스판은 제2기판의 중심지점부터 일지점까지 가압하고, 상기 외측프레스판은 상기 제2기판의 일지점부터 외주면 형성지점까지 가압하는 것을 특징으로 하는 압력분할 기판 접합장치
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 프레스기는 상기 내측프레스판과 상기 외측프레스판에 가해지는 가압력을 개별적으로 전달할 수 있도록, 상기 내측프레스판에 가압력을 전달하는 내측 가압프레스기 및 상기 외측프레스판의 가압력을 전달하는외측가압프레스기포함하는것을특징으로 하는압력분할 기판 접합장치.
[청구항 3]
제1항에 있어서,상기 접합감지부는, 상기 내측프레스판과 상기 안착부, 및 상기 외측프레스판과 상기 안착부 사이의 거리를 측정함으로써상기제1기판및제2기판의접합량감지하는것을특징으로 하는압력분할 기판 접합장치.
[청구항 4]
제1항에 있어서,상기 구동제어부는,상기 제1기판 및 상기 제2기판의 접합 시작점부터 일정 접합점까지 상기 프레스기의 가압력을 서서히 증가시키고, 상기 일정 접합점 이후에는 가압력을 일정하게 유지시키도록가압력제어하는것을특징으로 하는압력분할 기판 접합장치.
[청구항 5]
제1항에 있어서,상기 제1기판 및 상기 제2기판을 가열시키는히터더포함하는것을특징으로 하는압력분할 기판 접합장치.
[청구항 6]
제5항에 있어서,상기 히터는상기안착부및상기프레스판내장되어있는것을특징으로 하는압력분할 기판 접합장치.
[청구항 7]
제6항에 있어서,상기 히터는 상기 프레스판의 상기 내측프레스판과 외측프레스판에 각각 내장되고,상기 구동제어부는 상기 내측프레스판에 내장된 히터와 상기 외측프레스판에 내장된히터의온도각각조절하는것을특징으로 하는압력분할 기판 접합장치.
[청구항 8]
제1항에 있어서,상기 제1기판 및 상기 제2기판을 상기 작업챔버 내부에서 정렬시키는 위치정렬구를 더 포함하고, 상기 위치정렬구는 상기 제1기판과 상기 제2기판 사이에 위치하여 상기 제1기판 및 상기 제2기판을 서로 이격시키는 스페이서와, 상기 제1기판 및 제2기판의 측면을 가압하면서 정렬시키는얼라이너포함하는것을특징으로 하는압력분할 기판 접합장치.
[청구항 9]
제1항에 있어서,상기 접합챔버에는 상기 작업공간에 진공을 형성시키는진공형성수단연결되어있는것을특징으로 하는압력분할 기판 접합장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
압력분할 기판 접합장치에서 제2기판의 가압을 담당하는 프레스판의 구성과, 각 프레스판이 제2기판의 어느 영역을 가압하는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation압력분할 기판 접합장치에서 제2기판을 가압하는 프레스판의 구성 요소와 각 프레스판이 담당하는 가압 영역을 추출해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 1에서 프레스판은 내측프레스판과 외측프레스판으로 구성됨을 확인하고, 각 판의 가압 영역에 대한 설명을 추출한다.
- 상기 프레스부의 상기 프레스판은 상기 제2기판을 가압하는 위치가 상이한 내측프레스판 및 외측프레스판을 포함하는 것으로, 상기 내측프레스판은 제2기판의 중심지점부터 일지점까지 가압하고, 상기 외측프레스판은 상기 제2기판의 일지점부터 외주면 형성지점까지 가압하는 것
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3근거 선택
evidence_selection프레스판의 구성(내측/외측)과 각 영역(중심지점~일지점, 일지점~외주면)을 명시한 구절을 선택한다.
- 상기 프레스부의 상기 프레스판은 상기 제2기판을 가압하는 위치가 상이한 내측프레스판 및 외측프레스판을 포함하는 것으로, 상기 내측프레스판은 제2기판의 중심지점부터 일지점까지 가압하고, 상기 외측프레스판은 상기 제2기판의 일지점부터 외주면 형성지점까지 가압하는 것
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4논리 통합
logical_integration프레스판은 내측프레스판과 외측프레스판으로 구성되며, 내측은 중심부에서 특정 지점까지, 외측은 그 지점부터 외주면까지를 가압한다는 논리를 결합한다.
- 상기 프레스부의 상기 프레스판은 상기 제2기판을 가압하는 위치가 상이한 내측프레스판 및 외측프레스판을 포함하는 것으로, 상기 내측프레스판은 제2기판의 중심지점부터 일지점까지 가압하고, 상기 외측프레스판은 상기 제2기판의 일지점부터 외주면 형성지점까지 가압하는 것
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에 따라 프레스판의 구성과 각 영역별 가압 범위를 정리하여 답변을 구성한다.
- 상기 프레스부의 상기 프레스판은 상기 제2기판을 가압하는 위치가 상이한 내측프레스판 및 외측프레스판을 포함하는 것으로, 상기 내측프레스판은 제2기판의 중심지점부터 일지점까지 가압하고, 상기 외측프레스판은 상기 제2기판의 일지점부터 외주면 형성지점까지 가압하는 것
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6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 최종 답변을 작성한다.
- 상기 프레스부의 상기 프레스판은 상기 제2기판을 가압하는 위치가 상이한 내측프레스판 및 외측프레스판을 포함하는 것으로, 상기 내측프레스판은 제2기판의 중심지점부터 일지점까지 가압하고, 상기 외측프레스판은 상기 제2기판의 일지점부터 외주면 형성지점까지 가압하는 것
최종 답변 (final_answer)
프레스판은 가압 위치가 상이한 내측프레스판 및 외측프레스판을 포함하며, 내측프레스판은 제2기판의 중심지점부터 일지점까지 가압하고, 외측프레스판은 상기 제2기판의 일지점부터 외주면 형성지점까지 가압한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
제2기판의 가압 영역을 중심부(내측)와 외곽부(외측)로 분할하여 관리할 수 있도록 내측프레스판과 외측프레스판으로 구성된 압력분할 가압 구조를 제공한다.