웨이퍼 이송 장치를 실시간 모니터링하는 비전 시스템을 구비하는 반도체 제조 설비 document_id 1020110041544

[청구항 1] 웨이퍼가 로딩 또는 언로딩되는 웨이퍼 로더부 상기 웨이퍼를 처리하는 웨이퍼 처리부 상기 웨이퍼 로더부와 웨이퍼 처리부간에 상기 웨이퍼를 이송하기 위하여 로봇암 어셈블리를 구비하는 웨이퍼 이송 장치; 및 상기 웨이퍼 이송 장치가 상기 웨이퍼를 상기 웨이퍼 로더부나 상기 웨이퍼 처리부로 로딩 또는 언로딩할 때 상기 로봇암 어셈블리의 정렬 위치를 실시간 모니터링하는 비전 시스템을 구비하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 설비 [청구항 2] 제1항에 있어서,상기 로봇암 어셈블리는 다관절을 갖는 로봇암과,상기 로봇암에 연결되고 상기 웨이퍼가 탑재되는 핸드부와, 상기 핸드부와 로봇암의 연결 부분에 상기 웨이퍼가 핸드부에 탑재되었을 때 상기 웨이퍼를 지지하는 스톱퍼를 구비하고, 상기 비전 시스템은 상기 웨이퍼가 상기 핸드부에 탑재되고 상기 로봇암 어셈블리가 최대로 연장되었을 때 상기 스톱퍼의 모양을 매칭하여상기로봇암 어셈블리의정렬위치를실시간모니터링하는것을특징으로 하는반도체 제조 설비. [청구항 3] 제2항에 있어서,상기 스톱퍼의 표면에는 탐지부가 더 설치되어 있고, 상기 비전 시스템은 탐지부를 감지하여 상기 로롯암 어셈블리의정렬위치를실시간모니터링하는것을특징으로 하는반도체 제조 설비. [청구항 4] 제3항에 있어서,상기 비전 시스템은 상기 스톱퍼의 모양이나 탐지부를 감지하는 촬상 부재와, 상기 촬상 부재가 감지한 스토퍼의 모양이나 탐지부에 관한 영상 데이터와 미리 저장된 상기 스토퍼의 모양이나 상기 탐지부의 좌표에 관한 영상 데이터의 차이를 각각 비교하여 상기 웨이퍼 이송 장치를 제어하는제어부포함하여이루어지는것을특징으로 하는반도체 제조 설비. [청구항 5] 제1항에 있어서,상기 비전 시스템은 상기 웨이퍼 이송 장치가 상기 웨이퍼를 웨이퍼 로더부로 로딩 또는 언로딩할 때 상기 로봇암 어셈블리의 정렬 위치를 감지하는 제1 촬상 부재와, 상기 웨이퍼 이송 장치가 상기 웨이퍼를 상기 웨이퍼 처리부로 로딩 또는 언로딩할 때 상기 로봇암 어셈블리의 정렬 위치를 감지하는 제2 촬상부재포함하여이루어지는것을특징으로 하는반도체 제조 설비. [청구항 6] 웨이퍼가 로딩 또는 언로딩되는 웨이퍼 로더부 상기 웨이퍼를 처리하는 웨이퍼 처리부 상기 웨이퍼 로더부와 웨이퍼 처리부간에 전후, 좌우, 상하 또는 회전 방향으로 이동하여 상기 웨이퍼를 이송할 수 있고, 상기 웨이퍼가 탑재되는 핸드부와 상기 탑재된 웨이퍼를 지지하는 스톱퍼를 구비하는 로봇암 어셈블리를 구비하는 웨이퍼 이송 장치; 및 상기 웨이퍼 이송 장치가 상기 웨이퍼를 상기 웨이퍼 로더부나 상기 웨이퍼 처리부로 로딩 또는 언로딩할 때 상기 스톱퍼의 영상을 탐지하여 상기 로롯암 어셈블리가 상기 웨이퍼 로더부에 대해 전후, 좌우, 상하 또는 회전 방향으로 틀어진 위치를 실시간 모니터링하는 비전 시스템을 구비하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 설비 [청구항 7] 제6항에 있어서,상기 스톱퍼의 표면에는 탐지부가 더 형성되어 있고, 상기 비전 시스템은 상기 웨이퍼가 상기 핸드부에 탑재되고 상기 로봇암 어셈블리가 최대로 연장되었을 때 상기 스톱퍼의 모양이나 상기 탐지부의 좌표에 관한 영상으로상기로봇암 어셈블리를실시간모니터링하는것을특징으로 하는반도체 제조 설비.