캐리어분해장치 및 캐리어분해방법 document_id 1020110042350

[청구항 2] 청구항 1에 있어서,상기 시험용캐리어의 상기 커버부재와 상기 베이스부재의 사이에 있어서, 상기 전자부품이 수용되어 있는 수용공간이외기와비교감압되어있는것을특징으로 하는캐리어분해장치. [청구항 3] 청구항 1에 있어서,상기 제1밀폐수단은,상기 전자부품보다 큰 제1 개구가 형성된 바닥이 있는 통 형상을 가지며,상기 제2밀폐수단은 상기 전자부품보다 큰 제2 개구가 형성된 오목형상을 가지고,상기 제1 개구를 상기 커버부재로 덮는 것에 의해 상기 제1의 밀폐공간이 형성되고,상기 제2 개구를 상기 베이스부재로 덮는 것에 의해 상기 제2의밀폐공간형성되어있는것을특징으로 하는캐리어분해장치. [청구항 4] 청구항 3에 있어서,상기 제2밀폐수단의 상기 오목형상의 가운데에 설치되고, 상기 베이스부재를 통해서 상기 전자부품을 지지하는지지수단더구비하는것을특징으로 하는캐리어분해장치. [청구항 5] 청구항 1에 있어서,상기 분리수단은 감압된 상기 제1의 밀폐공간과, 감압된 상기 제2의 밀폐공간의 사이에 삽입된상기시험용캐리어의상기커버부재와상기베이스부재분리시키는것을특징으로 하는캐리어분해장치. [청구항 6] 청구항 1에 있어서,상기 분리수단은 상기 홀드헤드를 상기 제1홀드대에 대해서 상대적으로 회전시키는회전수단가지는것을특징으로 하는캐리어분해장치. [청구항 7] 청구항 1에 있어서,상기 커버부재는,제1 강판을 가지며,상기 베이스부재는,중앙개구를 가지는 제2강판과,가요성을 가지고 상기 제2 강판의 상기 중앙개구를 포함하는 부분에 접합된 필름상부재를 가지며,상기 캐리어분해장치는 상기 중앙개구를 통해서 상기 제1강판을 가압하는가압수단더구비하는것을특징으로 하는캐리어분해장치. [청구항 8] 청구항 7에 있어서,상기 가압수단은,상기 필름상부재에 있어서 상기 중앙개구로부터 노출된 노출부분과 면접촉하는 접촉평면을 가지는 접촉부재와,상기 접촉부재를 상기 필름상부재에 대하여 상대적으로 진퇴시키는진퇴수단가지는것을특징으로 하는캐리어분해장치. [청구항 9] 청구항 7에 있어서,상기 가압수단은,상기 필름상부재에 있어서 상기 중앙개구로부터 노출된 노출부분과 선접촉 또는 점접촉하는 접촉부재를 가지는 접촉부재와,상기 접촉부재를 상기 필름상부재에 대해서 상대적으로 진퇴시키는진퇴수단가지는것을특징으로 하는캐리어분해장치. [청구항 10] 청구항 7에 있어서,상기 가압수단은,상기 필름상부재에 있어서 상기 중앙개구로부터 노출된 노출부분과 접착된 접착부재와,상기 접착부재를 상기 필름상부재를 향하도록 힘을 가하는 가압수단을 구비하고,상기 시험용캐리어를 상기 제1홀드대에 재치하는 때에, 상기 접착부재는 상기 중앙개구를 통해서상기필름상부재접착시키는것을특징으로 하는캐리어분해장치. [청구항 11] 청구항 1 내지 청구항 10 중 어느 한 항에 있어서,상기 제1밀폐수단은 상기 커버부재와 접착되는 선단부를 가지며,상기 선단부에는 상기 제1감압수단과 연통하는흡착공형성되어있는것을특징으로 하는캐리어분해장치. [청구항 12] 청구항 1 내지 청구항 10 중 어느 한 항에 있어서,상기 제1홀드대는 상기 베이스부재를 수용하는 수용부를 가지며,상기 수용부의 저면에는 상기 제2감압수단과 연통하는흡착공형성되어있는것을특징으로 하는캐리어분해장치. [청구항 13] 청구항 1 내지 청구항 10 중 어느 한 항에 있어서,상기 제1홀드대는 상기 베이스부재를 수용하는 수용부를 가지며,상기 캐리어분해장치는,상기 수용부의 주위에 배치된 흡인구를 가지는집진장치더구비하는것을특징으로 하는캐리어분해장치. [청구항 14] 청구항 1 내지 청구항 10 중 어느 한 항에 있어서,인구와, 상기 흡인구에 연통된 집진커버를 구비하는집진장치더구비하는것을특징으로 하는캐리어분해장치. [청구항 15] 청구항 1 내지 청구항 10 중 어느 한 항에 있어서,상기 커버부재와 상기 베이스부재의 사이에 판상부재를 삽입하는 삽입수단과,상기 베이스부재를 지지하는제2홀드대더구비하는것을특징으로 하는캐리어분해장치. [청구항 16] 청구항 15에 있어서,상기 제1홀드대와 상기 제2홀드대가 동일한받침대인것을특징으로 하는캐리어분해장치.