문맥 (context)
[청구항 2]
제 1 항에 있어서,상기 리세스 영역은 상기 상부층과 상기 식각정지층의 계면형성된hemt.
[청구항 3]
제 1 항에 있어서,상기 채널공급층은 상기 채널층 측으로부터 순차로 적층된 algan층 및 alinn층을 포함하고, 상기 algan층은 상기 식각정지층이고, 상기 alinn층은 상기 상부층인hemt.
[청구항 4]
제 1 항에 있어서,상기 채널공급층은 상기 채널층 측으로부터 순차로 적층된 alinn층 및 algan층을 포함하고, 상기 alinn층은 상기 식각정지층이고, 상기 algan층은 상기 상부층인hemt.
[청구항 5]
제 1 항에 있어서,상기 채널공급층은 상기 채널층과 상기 식각정지층 사이에 구비된 하부층더 포함하는hemt.
[청구항 6]
제 5 항에 있어서,상기 채널공급층은 상기 채널층 측으로부터 순차로 적층된 제1 algan층, alinn층 및 제2 algan층을 포함하고, 상기 제1 algan층은 상기 하부층이고, 상기 alinn층은 상기 식각정지층이며, 상기 제2 algan층은 상기 상부층인hemt.
[청구항 7]
제 5 항에 있어서,상기 채널공급층은 상기 채널층 측으로부터 순차로 적층된 제1 alinn층, algan층 및 제2 alinn층을 포함하고, 상기 제1 alinn층은 상기 하부층이고, 상기 algan층은 상기 식각정지층이며, 상기 제2 alinn층은 상기 상부층인hemt.
[청구항 8]
제 1 항에 있어서,상기 식각정지층과 상기 상부층 중 하나는 algan층이고, 다른 하나인hemt.
[청구항 9]
제 8 항에 있어서,상기 채널공급층은 상기 채널층과 상기 식각정지층 사이에 구비된 하부층을 더 포함하고, 상기 하부층인hemt.
[청구항 10]
제 8 항 또는 제 9 항에 있어서,상기 채널공급층은 aln층 및 alingan층 중 적어도 하나더 포함하는hemt.
[청구항 11]
제 1 항에 있어서,상기 리세스 영역에서 상기 채널공급층의 두께인hemt.
[청구항 12]
제 1 항에 있어서,상기 채널공급층과 상기 게이트전극 사이에 게이트절연층더 구비된hemt.
[청구항 13]
제 1 항에 있어서,상기 채널공급층과 상기 게이트전극 사이에 디플리션층더 구비된hemt.
[청구항 14]
제 13 항에 있어서,상기 디플리션층은 p형 반도체층 또는 유전층인hemt.
[청구항 15]
제 13 항에 있어서,상기 디플리션층은 p-도핑층인hemt.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
청구항 6에 따른 채널공급층의 구성 요소들을 채널층 측에서부터 순차적인 적층 순서에 따라 나열하는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
-
1과제 해석
task_interpretation청구항 6을 바탕으로 채널층 측에서부터의 채널공급층 구성 요소 적층 순서를 나열하는 과업을 수행한다.
-
2정보 추출
information_extraction청구항 6에서 채널공급층의 구성 요소인 제1 algan층, alinn층, 제2 algan층을 추출한다.
- 상기 채널공급층은 상기 채널층 측으로부터 순차로 적층된 제1 algan층, alinn층 및 제2 algan층을 포함하고
-
3근거 선택
evidence_selection채널층 측으로부터의 순차적 적층 순서를 명시한 구절을 선택한다.
- 상기 채널공급층은 상기 채널층 측으로부터 순차로 적층된 제1 algan층, alinn층 및 제2 algan층을 포함하고
-
4논리 통합
logical_integration추출된 구성 요소들을 채널층 측에서부터의 순서대로 정렬한다.
-
5결론 도출
conclusion_formulation적층 순서는 제1 algan층, alinn층, 제2 algan층임을 도출한다.
- 제1 algan층, alinn층 및 제2 algan층
-
6답변 생성
answer_generation질문에 따라 리스트 형식으로 최종 답변을 생성한다.
- 제1 algan층, alinn층 및 제2 algan층
최종 답변 (final_answer)
제1 algan층, alinn층, 제2 algan층
핵심 해석 (core_interpretation)
청구항 6은 채널층으로부터 상부층 방향으로 제1 algan층(하부층), alinn층(식각정지층), 제2 algan층(상부층)이 순차적으로 적층된 채널공급층의 구조를 정의한다.