도포 방법 및 도포 장치 document_id 1020110058782

[청구항 10] 기판을 보유 지지하여 회전시키는 스핀 척과, 상기 스핀 척에 의해 보유 지지된 기판의 표면에 도포액을 공급하는 적어도 하나의 도포액 노즐과, 상기 스핀 척에 의해 보유 지지된 기판의 표면에 프리웨트액을 공급하는 적어도 하나의 프리웨트 노즐과, 상기 도포액 노즐에 도포액을 공급하는 도포액 공급 기구와, 상기 프리웨트 노즐에 프리웨트액을 공급하는 프리웨트액 공급 기구를 구비하고, 상기 프리웨트액 공급 기구는, 도포막 성분을 용해할 수 있는 용제의 공급원과 상기 용제보다도 표면 장력이 높은 고표면 장력 액체의 공급원에 접속되고, 상기 용제와 상기 고표면 장력 액체를 혼합하여 상기 프리웨트 노즐에 공급하는 프리웨트액 공급 제어부를 갖고 있고, 상기 프리웨트액 공급 제어부는 상기 용제와 상기 고표면 장력 액체의 혼합비를 가변으로 조정할 수 있도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는, 도포 장치 [청구항 11] 제10항에 있어서,상기 도포 장치는, 상기 적어도 하나의 프리웨트 노즐로서, 제1 프리웨트 노즐 및 제2 프리웨트 노즐을 갖고 있고,상기 프리웨트액 공급 기구는,일단부가 상기 용제의 공급원에 접속되는 동시에 타단부가 상기 제1 프리웨트 노즐에 접속된 제1 라인과,일단부가 상기 고표면 장력 액체의 공급원에 접속되는 동시에 타단부가 상기 제2 프리웨트 노즐에 접속된 제2 라인과,상기 제2 라인과 상기 제1 라인을 접속하는 접속 라인과,상기 프리웨트액 공급 제어부는, 상기 제1 프리웨트 노즐로부터 상기 용제만으로 이루어지는 프리웨트액이 공급되는 제1 상태와, 상기 제2 프리웨트 노즐로부터 상기 용제와 상기 고표면 장력 액체의 혼합 액체로 이루어지는 프리웨트액이 공급되는 제2 상태를 선택적으로 실현할 수 있고, 또한 상기 제2 상태에 있어서 상기 용제와 상기 고표면 장력 액체의 혼합비를 가변으로 조정할 수구성되어있는것을특징으로 하는,도포 장치. [청구항 12] 제11항에 있어서,상기 프리웨트액 공급 제어부는, 상기 제1 라인에 설치된 제1 유량 조정 밸브, 상기 제2 라인에 설치된 제2 유량 조정 밸브 및 상기 접속 라인에 설치된제3유량조정밸브갖는것을특징으로 하는,도포 장치. [청구항 13] 제10항 내지 제12항에 있어서,상기 도포액 공급 기구는, 상기 적어도 하나의 도포액 노즐을 통해, 서로 표면 장력이 다른 적어도 2종류의 도포액을 상기 스핀 척에 의해 보유 지지된 기판의 표면에 공급할 수구성되어있는것을특징으로 하는,도포 장치. [청구항 14] 제10항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서,상기 고표면 장력 액체가 gbl(γ-부틸락톤인것을특징으로 하는,도포 장치. [청구항 15] 제10항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서,상기 고표면 장력 액체가순수인것을특징으로 하는,도포 장치. [청구항 16] 제10항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서,상기 용제가 pgme(프로필렌글리콜모노메틸에테르)와 pgmea(프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트혼합물인것을특징으로 하는,도포 장치. [청구항 17] 제10항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서,상기 용제가 chn(시클로헥사논인것을특징으로 하는,도포 장치.