처리 장치 document_id 1020110063044

[청구항 2] 제1항에 있어서,상기 덮개 배치 영역은,상기개구부인접하고있는것을특징으로 하는처리 장치. [청구항 3] 제2항에 있어서,상기 개구부는, 상기 천장부의 중앙에 마련되고, 상기 개구부의 폭은,상기천장부의폭3이하인것을특징으로 하는처리 장치. [청구항 4] 제3항에 있어서,상기 덮개 배치 영역에는, 상기 덮개를 지지하는복수의지지대구비한것을특징으로 하는처리 장치. [청구항 5] 제4항에 있어서,상기 지지대는, 적어도 상기 덮개와의접촉면을수지재로구성한것을특징으로 하는처리 장치. [청구항 6] 제5항에 있어서,상기 덮개는, 그 상면에 안전 펜스를 착탈 가능하게 장착하는 펜스 장착부를 마련하고,상기 덮개에 상기 안전 펜스를 장착한 상태로 상기 덮개 배치 영역에 배치하였을 때에, 상기 덮개 위의 안전 펜스가 상기 개구부의 가장자리를 따르도록, 상기 펜스 장착부를배치한것을특징으로 하는처리 장치. [청구항 8] 제7항에 있어서,상기 제1 덮개 배치 영역을 구비하는 상기 수용실은, 상기 수용실의 덮개를 배치하는제2덮개배치영역갖는것을특징으로 하는처리 장치. [청구항 9] 제8항에 있어서,상기 제2 덮개 배치 영역을 갖는 상기 수용실의 개구부는, 천장부의 중앙에 마련되고, 상기 제2 덮개 배치 영역이 상기 개구부에 인접하여마련된것을특징으로 하는처리 장치. [청구항 10] 제9항에 있어서,상기 제1 덮개 배치 영역과 상기 제2 덮개 배치 영역은, 중첩되도록배치된것을특징으로 하는처리 장치. [청구항 11] 제10항에 있어서,상기 제1 덮개 배치 영역과 상기 제2 덮개 배치 영역은, 상기 개구부를 폐색하였을때의상기덮개의상면배치된것을특징으로 하는처리 장치. [청구항 12] 제7항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서,상기 복수의 수용실은,진공압 분위기에서 피처리체에 처리를 실시하는 처리실과,대기압 분위기와 상기 처리실과의 사이에서 상기 피처리체를 반송할 때에 일시적으로 상기 피처리체를 수용하여, 내부를 대기압 분위기 또는 진공압 분위기로 전환하는 로드록실과,상기 로드록실과 상기 처리실에 기밀하게 접속되며, 상기 로드록실과 상기 처리실 사이에서 상기 피처리체를 반송하는 반송 장치를 내부에 구비한반송실포함하는것을특징으로 하는처리 장치. [청구항 13] 제12항에 있어서,상기 수용실의 내부에는, 상기 피처리체를 유지부에 실어 반송하는 반송 장치를 마련하고, 상기 유지부는, 상기 개구부의 폭의 사이즈에 맞추어 분해 가능하게구성된것을특징으로 하는처리 장치.